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내부에 공간을 가지며 일측에 개구가 형성된 하우징;
상기 개구에 설치되며 광투과성 물질로 이루어진 투명창;
상기 하우징 내에 설치되며 입사된 광에 반응하여 전류를 흘리는 감응소자를 포함하고,
상기 감응소자는
상기 하우징 내에 설치된 기판;
상기 기판 위에 설치되며 나노 크기를 갖는 나노 감응체;
상기 나노 감응체와 전기적으로 연결된 전극;
상기 전극과 전기적으로 연결된 전원;
상기 전원과 상기 전극 사이에 설치된 전류계;
를 포함하고
상기 나노 감응체와 상기 전극은 쇼트키 접합된 파장 검출 장치
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제1항에 있어서,
상기 기판 상에는 절연층이 형성되고, 상기 절연층 위에 상기 전극들이 형성된 파장 검출 장치
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제1항에 있어서,
상기 나노 감응체는 설정된 범위의 파장에 반응하는 물질로 이루어진 파장 검출 장치
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제1항에 있어서,
상기 파장 검출 장치는 복수 개의 감응소자를 포함하고,
상기 감응소자들의 밴드 갭은 서로 상이한 파장 검출 장치
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제1항에 있어서,
상기 감응소자들과 연결되어 상기 감응소자들에서 발생된 신호를 증폭하는 증폭기를 포함하는 파장 검출 장치
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제1항에 있어서,
상기 나노 감응체는 이종 구조의 나노 물질들이 결합된 복합체로 이루어진 파장 검출 장치
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8
제1항에 있어서,
상기 나노 감응체는 4족 진성 반도체, 4-4족 화합물 반도체, 3-5족 화합물 반도체, 2-6족 화합물 반도체, 4-6족 화합물 반도체로 이루어진 군에서 선택되는 어느 하나의 물질로 이루어진 파장 검출 장치
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제1항에 있어서,
상기 나노 감응체는 양자점으로 이루어진 파장 검출 장치
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10
제9항에 있어서,
상기 나노 감응체는 복수의 층으로 이루어진 파장 검출 장치
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기판을 준비하는 단계;
나노 감응체의 밴드 갭을 조절하는 밴드 갭 조절 단계;
상기 기판 상에 상기 나노 감응체를 설치하는 나노 감응체 설치 단계;
상기 나노 감응체에 전극을 쇼트키 접합하는 전극 연결 단계;
상기 전극에 전원을 전기적으로 연결하는 전원 연결 단계; 및
상기 전극과 상기 전원 사이에 전류계를 설치하는 전류계 설치 단계;
를 포함하는 파장 검출 장치의 제조 방법
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제11항에 있어서,
상기 밴드 갭 조절 단계에 있어서,
상기 나노 감응체의 크기를 조절하여 밴드 갭을 조절하는 파장 검출 장치의 제조 방법
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제11항에 있어서,
상기 밴드 갭 조절 단계에 있어서,
나노튜브, 나노 와이어에 양자점 또는 나노 파티클(nano particle)을 결합하여 밴드 갭을 조절하는 파장 검출 장치의 제조 방법
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