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질화물계 반도체 나노와이어들을 포함하는 발광 다이오드 및 그 제조 방법

  • 기술번호 : KST2015002720
  • 담당센터 : 광주기술혁신센터
  • 전화번호 : 062-360-4654
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 동종접합 구조의 질화물계 반도체 나노와이어를 이용한 발광 다이오드 및 그 제조 방법이 제공된다. 발광 다이오드는, 기판 상에 형성된 제 1 도전형의 질화물계 반도체층을 포함한다. 제 1 전극은 질화물계 반도체층 상에 형성된다. 제 2 전극은 질화물계 반도체층 상에 절연층을 개재하여 형성되고, 제 1 전극과 이격된다. 하나 또는 복수의 질화물계 반도체 나노와이어들은 제 1 도전형과 반대인 제 2 도전형을 갖고, 질화물계 반도체층 및 제 2 전극을 연결하도록 배치된다. 그리고, 질화물계 반도체층 및 질화물계 반도체 나노와이어들은 동종접합을 형성한다.
Int. CL H01L 33/02 (2010.01.01) H01L 33/62 (2010.01.01) H01L 33/38 (2010.01.01) H01L 33/12 (2010.01.01)
CPC H01L 33/02(2013.01) H01L 33/02(2013.01) H01L 33/02(2013.01) H01L 33/02(2013.01) H01L 33/02(2013.01) H01L 33/02(2013.01) H01L 33/02(2013.01) H01L 33/02(2013.01)
출원번호/일자 1020060094987 (2006.09.28)
출원인 전북대학교산학협력단
등록번호/일자 10-0810146-0000 (2008.02.27)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20080306) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2006.09.28)
심사청구항수 10

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 전북대학교산학협력단 대한민국 전라북도 전주시 덕진구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이상권 대한민국 전북 전주시 덕진구
2 김태홍 대한민국 경기 시흥시
3 이승용 대한민국 전북 전주시 완산구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 리앤목특허법인 대한민국 서울 강남구 언주로 **길 **, *층, **층, **층, **층(도곡동, 대림아크로텔)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 전북대학교산학협력단 대한민국 전라북도 전주시 덕진구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application
2006.09.28 수리 (Accepted) 1-1-2006-0710455-79
2 전자문서첨부서류제출서
Submission of Attachment to Electronic Document
2006.09.29 수리 (Accepted) 1-1-2006-5076865-18
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2007.06.07 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2007.07.12 수리 (Accepted) 9-1-2007-0043526-43
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2007.08.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2007-0470155-05
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2007.10.30 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2007-0778689-51
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2007.10.30 수리 (Accepted) 1-1-2007-0778688-16
8 등록결정서
Decision to grant
2007.11.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2007-0651974-16
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2010.12.28 수리 (Accepted) 4-1-2010-5245806-20
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2012.10.04 수리 (Accepted) 4-1-2012-5206243-46
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2016.01.29 수리 (Accepted) 4-1-2016-5013206-34
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.02.27 수리 (Accepted) 4-1-2019-5038917-11
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.07.23 수리 (Accepted) 4-1-2019-5146986-17
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.07.23 수리 (Accepted) 4-1-2019-5146985-61
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.10.22 수리 (Accepted) 4-1-2019-5219602-91
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.07.06 수리 (Accepted) 4-1-2020-5149086-79
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
기판;상기 기판 상에 형성된, 제 1 도전형의 질화물계 반도체층;상기 질화물계 반도체층 상에 형성된 제 1 전극;상기 질화물계 반도체층 상에 절연층을 개재하여 형성되고, 상기 제 1 전극과 이격된 제 2 전극; 및상기 질화물계 반도체층 및 상기 제 2 전극을 연결하도록 배치되고, 하나 또는 복수의 상기 제 1 도전형과 반대인 제 2 도전형의 질화물계 반도체 나노와이어들을 포함하고,상기 질화물계 반도체층과 상기 질화물계 반도체 나노와이어들은 동종접합을 형성하는 것을 특징으로 하는 발광 다이오드
2 2
제 1 항에 있어서, 상기 제 2 전극은 도넛 형상을 갖고, 상기 제 1 전극은 상기 제 2 전극의 도넛 내부 공간에 형성된 것을 특징으로 하는 발광 다이오드
3 3
제 1 항에 있어서, 상기 질화물계 반도체 나노와이어들은 상기 제 2 전극을 따라서 정렬된 어레이 구조를 갖는 것을 특징으로 하는 발광 다이오드
4 4
제 1 항에 있어서, 상기 기판 및 상기 질화물계 반도체층 사이의 버퍼층을 더 포함하고, 상기 버퍼층은 GaN층을 포함하는 것을 특징으로 하는 발광 다이오드
5 5
제 1 항 내지 제 4 항의 어느 한 항에 있어서, 상기 질화물계 반도체층은 GaN층을 포함하고, 상기 질화물계 반도체 나노와이어들은 GaN 나노와이어를 포함하는 것을 특징으로 하는 발광 다이오드
6 6
기판 상에 제 1 도전형의 질화물계 반도체층을 형성하는 단계;상기 질화물계 반도체층의 일부분 상에 절연층을 형성하는 단계;상기 절연층으로부터 노출된 상기 질화물계 반도체층 부분 상에 제 1 전극을 형성하는 단계;상기 절연층 상에 제 2 전극을 형성하는 단계; 및하나 또는 복수의 상기 제 1 도전형과 반대인 제 2 도전형의 질화물계 반도체 나노와이어들을, 상기 질화물계 반도체층 및 상기 제 2 전극을 서로 연결하고 상기 질화물계 반도체층과 동종접합을 형성하도록 정렬하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 발광 다이오드의 제조 방법
7 7
제 6 항에 있어서, 상기 질화물계 반도체 나노와이어들을 정렬하는 단계는, 상기 제 2 전극에 전원을 인가한 상태에서 상기 질화물계 반도체 나노와이어들을 담고 있는 액체를 상기 기판 상에 뿌려서 상기 질화물계 반도체 나노와이어들을 상기 제 2 전극 주위에 정렬하는 유전영동 증착법(DADD)을 이용한 것을 특징으로 하는 발광 다이오드의 제조 방법
8 8
제 6 항에 있어서, 상기 제 2 전극은 도넛 형상을 갖도록 형성하고, 상기 제 1 전극은 상기 제 2 전극의 도넛 내부 공간에 형성하는 것을 특징으로 하는 발광 다이오드의 제조 방법
9 9
제 6 항에 있어서, 상기 질화물계 반도체층을 형성하기 전에, 상기 기판 상에 버퍼층을 형성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 발광 다이오드의 제조 방법
10 10
제 6 항 내지 제 9 항의 어느 한 항에 있어서, 상기 질화물계 반도체층은 GaN층을 포함하고, 상기 질화물계 반도체 나노와이어들은 GaN 나노와이어를 포함하는 것을 특징으로 하는 발광 다이오드의 제조 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.