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각 공정으로부터 VOC를 가진 가스가 유입되어 상기 VOC가 흡착되는 적어도 하나 이상의 흡착탑; 및 상기 흡착탑으로부터 유입되는 상기 VOC를 연소 및 촉매에 의해 VOC환원시키고, 연소된 가스를 열교환시키는 HTO(Hybrid Thermal Oxidation : 하이브리드 열적 산화);를 포함하고, 상기 HTO로부터 배출되는 고온의 연소된 가스가 상기 흡착탑에 유입되어 흡착된 상기 VOC를 탈착시켜 탈착된 상기 VOC가 상기 HTO로 유입되도록 구성되며,상기 HTO는, 본체; 상기 본체 내에 구성되며, 유입되는 가스 내의 VOC를 연소시키는 연소실; 및 상기 연소실과 연통되도록 상기 본체에 구성되고, 상기 흡착탑의 유입부 및 배출부와 각각 연결된 열교환기;를 포함하고, 상기 연소실로부터의 연소된 가스가 상기 열교환기로 유동되어 열교환된 후 배출되어 상기 흡착탑으로 유입되고, 상기 흡착탑에서 탈착된 상기 VOC가 상기 열교환기로 유동되어 열교환된 후 상기 연소실로 유입되어 연소되도록 구성되며,상기 HTO는, 상기 연소실과 상기 열교환기 사이에 배치된 두 개의 세라믹 축열재; 및 두 개의 상기 세라믹 축열재 사이에 배치된 세라믹 촉매;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 고농도 VOC 안전처리장치
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제2항에 있어서,상기 흡착탑에서 탈착되어 배출되는 VOC가 연소된 가스와 혼합되어 상기 VOC의 농도가 조절된 후 상기 HTO에 유입되도록 구성되는 것을 특징으로 하는 고농도 VOC 안전처리장치
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제2항에 있어서,상기 연소실 내에 보조버너가 장착된 것을 특징으로 하는 고농도 VOC 안전처리장치
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각 공정으로부터 VOC를 가진 가스가 유입되어 상기 VOC가 흡착되는 적어도 하나 이상의 흡착탑; 및 상기 흡착탑으로부터 유입되는 상기 VOC를 연소 및 촉매에 의해 VOC환원시키고, 연소된 가스를 열교환시키는 HTO(Hybrid Thermal Oxidation : 하이브리드 열적 산화);를 포함하고, 상기 HTO로부터 배출되는 고온의 연소된 가스가 상기 흡착탑에 유입되어 흡착된 상기 VOC를 탈착시켜 탈착된 상기 VOC가 상기 HTO로 유입되도록 구성되고, 상기 HTO에 유입 및 배출되는 상기 VOC의 유량을 조절하도록 구성되며,상기 HTO는, 본체; 상기 본체 내에 구성되며, 유입되는 가스 내의 VOC를 연소시키는 연소실; 및 상기 연소실과 연통되도록 상기 본체에 구성되고, 상기 흡착탑의 유입부 및 배출부와 각각 연결된 열교환기;를 포함하며, 상기 연소실로부터의 연소된 가스가 상기 열교환기로 유동되어 열교환된 후 배출되어 상기 흡착탑으로 유입되고, 상기 흡착탑에서 탈착된 상기 VOC가 상기 열교환기로 유동되어 열교환된 후 상기 연소실로 유입되어 연소되도록 구성되며,상기 HTO는, 상기 연소실과 상기 열교환기 사이에 배치된 두 개의 세라믹 축열재; 및 두 개의 상기 세라믹 축열재 사이에 배치된 세라믹 촉매;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 고농도 VOC 안전처리장치
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제7항에 있어서,상기 연소실 내에 보조버너가 장착된 것을 특징으로 하는 고농도 VOC 안전처리장치
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제7항에 있어서,열교환된 가스가 상기 흡착탑에 유입되도록, 상기 HTO의 열교환기로부터 상기 흡착탑의 유입부로 연결된 흡착탑유입라인;탈착된 상기 VOC가 상기 HTO의 열교환기에 유입되도록, 상기 흡착탑의 배출부로부터 상기 열교환기로 연결된 열교환기유입라인; 및열교환된 상기 VOC와 외부로부터 유입되는 공기와 함께 상기 연소실로 유입되도록, 상기 HTO의 열교환기로부터 상기 연소실로 연결된 연소실유입라인;을 포함하는 것을 특징으로 하는 고농도 VOC 안전처리장치
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제11항에 있어서,상기 열교환기유입라인은,상기 VOC가 상기 열교환기에 이송되도록 이송력을 제공하는 VOC이송용 송풍기;를 구비하는 것을 특징으로 하는 고농도 VOC 안전처리장치
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제11항에 있어서,상기 열교환기유입라인은,외부로부터 상기 VOC의 연소를 위한 상기 공기가 유입되도록 유입력을 제공하는 공기유입용 송풍기;를 구비하는 것을 특징으로 하는 고농도 VOC 안전처리장치
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제11항에 있어서,상기 흡착탑에서 상기 VOC가 흡착된 후 나온 깨끗한 공기가 외부로 배출되도록, 상기 흡착탑의 배출부로부터 외부로 배치되는 제1 배출라인;을 포함하는 것을 특징으로 하는 고농도 VOC 안전처리장치
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제14항에 있어서,상기 제1 배출라인은,탈착공정시 외부로부터 역류가능한 배가스를 차단하는 제1 배출밸브;를 구비하는 것을 특징으로 하는 고농도 VOC 안전처리장치
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제14항에 있어서,연소된 가스를 재순환하도록, 상기 제1 배출라인으로부터 상기 열교환기유입라인으로 연결된 재순환라인;을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 고농도 VOC 안전처리장치
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제16항에 있어서,상기 흡착탑유입라인은 제1 연소가스 조절밸브;를 구비하고,상기 재순환라인은 제2 연소가스 조절밸브;를 구비하여,상기 연소실의 온도를 조절하기 위해, 상기 제1 연소가스 조절밸브는 상기 HTO로부터 연소된 가스의 유출량을 조절하고 상기 제2 연소가스 조절밸브는 상기 제1 배출라인으로부터 상기 열교환기유입라인으로 유입되는 가스의 유입량을 조절하도록 구성되는 것을 특징으로 하는 고농도 VOC 안전처리장치
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제14항에 있어서,연소된 가스를 외부로 배출되도록, 상기 흡착탑유입라인으로부터 상기 제1 배출라인으로 연결된 제2 배출라인;을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 고농도 VOC 안전처리장치
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제18항에 있어서,상기 제2 배출라인은,외부로 배출되는 연소된 가스의 유량을 조절하는 제2 배출밸브;를 구비하는 것을 특징으로 하는 고농도 VOC 안전처리장치
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제18항에 있어서,상기 제2 배출라인은,연소된 가스가 외부로 이송되도록 이송력을 제공하는 VOC이송용 송풍기;를 구비하는 것을 특징으로 하는 고농도 VOC 안전처리장치
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제7항에 있어서,상기 VOC를 가진 가스가 상기 흡착탑으로 유입되도록, 각 공정으로부터 상기 흡착탑의 유입부로 연결된 흡착탑흡입라인;을 포함하는 것을 특징으로 하는 고농도 VOC 안전처리장치
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제21항에 있어서,상기 흡착탑흡입라인은,상기 VOC를 가진 가스가 상기 흡착탑에 흡입되도록 흡입력을 제공하는 적어도 하나 이상의 제1 흡입용 송풍기;를 구비하는 것을 특징으로 하는 고농도 VOC 안전처리장치
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제22항에 있어서,상기 흡착탑흡입라인은,상기 제1 흡입용 송풍기가 복수 개인 경우, 상기 제1 흡입용 송풍기들에 의해 이송된 상기 VOC들을 모아서 상기 흡착탑으로 유동시키도록 유동력을 제공하는 제2 흡입용 송풍기;를 구비하는 것을 특징으로 하는 고농도 VOC 안전처리장치
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