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유체의 이동을 온도에 의해 조절할 수 있는 다공질 실리콘 박막 및 그 제조방법

  • 기술번호 : KST2015003150
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 물과 기체를 통과시키는 다수의 기공들을 포함한 다공질 실리콘 박막에서, 기공 입구 주위에 열변형 구조체를 설치하여 기공을 통과하는 물의 이동을 조절하는 것에 관한 것이다.구체적으로 물과 접촉하는 면에서 친수성 물질로 코팅된 박막 표면으로부터 기공의 주위에 설치되는 열변형 구조체는 표면에서의 온도 변화에 따라 기공의 크기를 조절함으로써 모세관압 차이에 의해 기공을 통과하는 물의 이동량을 조절할 수 있다. 실리콘 박막, 열변형율
Int. CL H01L 21/02 (2006.01.01) H01L 21/324 (2017.01.01)
CPC H01L 21/02203(2013.01) H01L 21/02203(2013.01) H01L 21/02203(2013.01) H01L 21/02203(2013.01)
출원번호/일자 1020060110929 (2006.11.10)
출원인 한국에너지기술연구원
등록번호/일자 10-0835703-0000 (2008.05.30)
공개번호/일자 10-2008-0042455 (2008.05.15) 문서열기
공고번호/일자 (20080605) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호 1020080002486;
심사청구여부/일자 Y (2006.11.10)
심사청구항수 7

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국에너지기술연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 유상필 대한민국 대전 중구
2 박제균 대한민국 대전 유성구
3 김창수 대한민국 인천 중구
4 이원용 대한민국 대전 유성구
5 윤영기 대한민국 대전 동구
6 양태현 대한민국 대전 유성구
7 박석희 대한민국 대전 유성구
8 엄석기 대한민국 대전 유성구
9 임성대 대한민국 대전 유성구
10 박구곤 대한민국 대전 유성구
11 김민진 대한민국 대전 유성구
12 박진수 대한민국 대전 유성구
13 조중원 대한민국 대전 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인(유)화우 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로***길 **, *층 (대치동, 삼호빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국에너지기술연구원 대한민국 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application
2006.11.10 수리 (Accepted) 1-1-2006-0823675-23
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2007.08.03 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2007.09.17 수리 (Accepted) 9-1-2007-0056754-40
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2007.11.13 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2007-0606381-18
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2008.01.09 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2008-0017450-09
6 [분할출원]특허출원서
[Divisional Application] Patent Application
2008.01.09 수리 (Accepted) 1-1-2008-0017455-26
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2008.01.09 수리 (Accepted) 1-1-2008-0017451-44
8 최후의견제출통지서
Notification of reason for final refusal
2008.02.13 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2008-0073774-24
9 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2008.04.14 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2008-0264321-44
10 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2008.04.14 수리 (Accepted) 1-1-2008-0264322-90
11 등록결정서
Decision to grant
2008.05.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2008-0287694-88
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2012.01.04 수리 (Accepted) 4-1-2012-5001923-88
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.01.07 수리 (Accepted) 4-1-2014-5003356-15
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.03.10 수리 (Accepted) 4-1-2015-0013224-83
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.01.19 수리 (Accepted) 4-1-2017-5010650-13
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.01.08 수리 (Accepted) 4-1-2019-5004978-55
17 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.08.21 수리 (Accepted) 4-1-2019-5166801-48
18 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.08.21 수리 (Accepted) 4-1-2019-5166803-39
19 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.09.01 수리 (Accepted) 4-1-2020-5197654-62
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
다수의 기공들을 포함하는 다공질 박막에 있어서, 상기 다수의 기공들 중 기체를 통과시키는 기공에는 소수성 물질이 코팅되어 있고, 상기 다수의 기공들 중 물을 통과시키는 기공에는 친수성 물질이 코팅되어 있으며, 상기 다수의 기공들 주위에는 열변형 구조체들이 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 유체의 이동을 온도에 의해 조절할 수 있는 다공질 실리콘 박막
2 2
제 1 항에 있어서,상기 열변형 구조체들은 상기 다수의 기공들의 입구 표면으로부터 50 마이크론 깊이까지 설치되는 것을 특징으로 하는 유체의 이동을 온도에 의해 조절할 수 있는 다공질 실리콘 박막
3 3
제 1 항에 있어서, 상기 다공질 박막은 실리콘 재질임을 특징으로 하는 유체의 이동을 온도에 의해 조절할 수 있는 다공질 실리콘 박막
4 4
제 3 항에 있어서,상기 실리콘 재질은 단결정실리콘, 다결정실리콘 또는 에피실리콘 중의 하나임을 특징으로 하는 유체의 이동을 온도에 의해 조절할 수 있는 다공질 실리콘 박막
5 5
제 3 항에 있어서,상기 친수성 물질은 SiO2임을 특징으로 하는 유체의 이동을 온도에 의해 조절할 수 있는 다공질 실리콘 박막
6 6
제 1 항에 있어서, 상기 열변형 구조체들은 SU-8, PDMS 또는 PMMA 중 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 유체의 이동을 온도에 의해 조절할 수 있는 다공질 실리콘 박막
7 7
제 1 항에 있어서, 상기 소수성 물질은 실란(Silane)임을 특징으로 하는 유체의 이동을 온도에 의해 조절할 수 있는 다공질 실리콘 박막
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