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전도성 나노 구조체를 포함하는 전도성 기판 및 그의 제조 방법

  • 기술번호 : KST2015003243
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 전도성 나노 구조체를 포함하는 전도성 기판 및 그의 제조 방법에 관한 것으로, 전도성 박막의 직접 에칭 없이 간단한 노광 방법을 이용하여 전도성 박막의 국부적 영역에서 전기전도도 차이를 형성하여 특정 패턴 형태로 전기가 흐를 수 있는 배선 패턴을 형성하기 위한 것이다. 본 발명은 기판 위에 전도성 박막이 형성된 전도성 기판을 제공한다. 전도성 박막은 기판 위에 형성되며, 전도성 나노 구조체와 감광성 물질을 포함하며 노광 및 세척에 의해 배선 패턴이 형성된다. 이때 전도성 박막은 기판 위에 균일하게 형성된 전도성 나노 구조체를 포함한다. 전도성 박막은 노광된 영역과 비노광된 영역을 포함하고, 노광된 영역 및 비노광된 영역 중 세척에 의한 용해도가 높은 영역이 배선 패턴을 형성한다.
Int. CL H01B 13/00 (2006.01) H01B 5/14 (2006.01)
CPC H01B 5/14(2013.01) H01B 5/14(2013.01) H01B 5/14(2013.01) H01B 5/14(2013.01)
출원번호/일자 1020130031600 (2013.03.25)
출원인 전자부품연구원
등록번호/일자 10-1447516-0000 (2014.09.29)
공개번호/일자 10-2014-0116703 (2014.10.06) 문서열기
공고번호/일자 (20141008) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2013.03.25)
심사청구항수 5

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자기술연구원 대한민국 경기도 성남시 분당구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 신권우 대한민국 경기도 화성

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 박종한 대한민국 서울특별시 구로구 디지털로**길 * (구로동, 에이스하이엔드타워*차) ***호(한림특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자기술연구원 경기도 성남시 분당구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2013.03.25 수리 (Accepted) 1-1-2013-0256554-05
2 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment		 2013.04.01 수리 (Accepted) 1-1-2013-0279727-80
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.04.17 수리 (Accepted) 4-1-2013-0013766-37
4 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2014.01.08 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
5 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2014.02.11 수리 (Accepted) 9-1-2014-0011361-54
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2014.04.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0286985-98
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2014.05.22 수리 (Accepted) 1-1-2014-0481226-91
8 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2014.05.22 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2014-0481225-45
9 거절결정서
Decision to Refuse a Patent		 2014.07.18 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0489233-33
10 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2014.08.14 수리 (Accepted) 1-1-2014-0769821-13
11 [명세서등 보정]보정서(재심사)
Amendment to Description, etc(Reexamination)		 2014.08.14 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2014-0769822-69
12 등록결정서
Decision to Grant Registration		 2014.09.24 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0649348-94
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.08.24 수리 (Accepted) 4-1-2020-5189497-57
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
기판;상기 기판 위에 형성되며, 전도성 나노 구조체와 감광성 물질을 포함하며 노광 및 세척에 의해 형성된 배선 패턴이 형성된 전도성 박막;을 포함하며,상기 전도성 나노 구조체는 금속나노와이어 또는 나노탄소이고,상기 감광성 물질은 poly(vinyl alcohol), N-methyl-4(4'-formylstyryl)pyridinium methosulfate acetal의 수용성 감광 물질이고,상기 전도성 박막은 노광 및 세척에 의해 상기 기판 위에 형성된 노광된 영역과 비노광된 영역을 포함하고, 상기 노광된 영역과 비노광된 영역은 서로 동등한 두께를 갖고,상기 노광된 영역과 비노광된 영역에 균일하게 상기 전도성 나노 구조체가 분포하고,노광에 의해 상기 감광성 물질이 경화되어 상기 전도성 나노 구조체와 함께 상기 노광된 영역을 형성하고, 상기 노광된 영역 및 비노광된 영역 중 세척에 의한 용해도가 낮은 상기 노광된 영역에는 감광성 물질이 잔류하여 상기 노광된 영역의 표면 저항이 10,000 Ω/sq 이상이고,상기 노광된 영역 및 비노광된 영역 중 세척에 의한 용해도가 높은 상기 비노광된 영역에서는 감광성 물질이 제거되어 상기 비노광된 영역의 표면 저항이 2,000 Ω/sq 이하이고, 상기 비노광된 영역이 상기 배선 패턴으로 형성되는 것을 특징으로 하는 전도성 기판
2 2
삭제
3 3
제1항에 있어서,상기 전도성 박막의 노광된 영역은 자외선 조사에 의해 노광되는 것을 특징으로 하는 전도성 기판
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제3항에 있어서, 상기 전도성 박막은,전도성 나노 구조체와 감광성 물질을 포함하여 하나의 층으로 형성되거나, 전도성 나노 구조체층 위에 감광성 물질층이 형성된 구조를 갖는 것을 특징으로 하는 전도성 기판
5 5
삭제
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기판 위에 전도성 나노 구조체와 감광성 물질을 포함하는 감광성 박막을 형성하는 단계;상기 감광성 박막의 일부 영역을 노광하되, 노광되는 일부 영역의 감광성 물질은 경화되어 상기 전도성 나노 구조체와 함께 노광된 영역을 형성하고, 상기 일부 영역 이 외 영역을 비노광영역으로 형성하는 단계;노광된 상기 감광성 박막을 용매로 세척하여 상기 노광된 영역과 상기 비노광된 영역 간의 전기전도도 차이를 발생시켜 배선 패턴을 갖는 전도성 박막을 형성하는 단계;를 포함하며,상기 감광성 박막을 형성하는 단계에서,상기 전도성 나노 구조체는 금속나노와이어 또는 나노탄소이고,상기 감광성 물질은 poly(vinyl alcohol), N-methyl-4(4'-formylstyryl)pyridinium methosulfate acetal의 수용성 감광 물질이고,상기 전도성 박막을 형성하는 단계에서,상기 노광된 영역과 비노광된 영역은 서로 동등한 두께를 갖고,상기 노광된 영역과 비노광된 영역에 균일하게 상기 전도성 나노 구조체가 분포하고,상기 노광된 영역 및 비노광된 영역 중 세척에 의한 용해도가 낮은 상기 노광된 영역에는 감광성 물질이 잔류하여 상기 노광된 영역의 표면 저항이 10,000 Ω/sq 이상이고,상기 노광된 영역 및 비노광된 영역 중 세척에 의한 용해도가 높은 상기 비노광된 영역에서는 감광성 물질이 제거되어 상기 비노광된 영역의 표면 저항이 2,000 Ω/sq 이하이고, 상기 비노광된 영역이 상기 배선 패턴으로 형성되는 것을 특징으로 하는 전도성 기판의 제조 방법
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제6항에 있어서, 상기 감광성 박막을 형성하는 단계는,전도성 나노 구조체와 감광성 물질을 포함하여 하나의 층으로 상기 감광성 박막을 형성하는 단계; 및상기 기판 위에 전도성 나노 구조체층을 형성한 후, 상기 전도성 나노 구조체층 위에 감광성 물질층을 형성하여 상기 감광성 박막을 형성하는 단계;중에 하나인 것을 특징으로 하는 전도성 기판의 제조 방법
지정국 정보가 없습니다
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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 CN105073912 CN 중국 FAMILY
2 KR101468496 KR 대한민국 FAMILY
3 KR101498187 KR 대한민국 FAMILY
4 KR101589546 KR 대한민국 FAMILY
5 KR101620037 KR 대한민국 FAMILY
6 KR101621282 KR 대한민국 FAMILY
7 US09977327 US 미국 FAMILY
8 US20150355540 US 미국 FAMILY
9 WO2014157856 WO 세계지적재산권기구(WIPO) FAMILY

DOCDB 패밀리 정보

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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 CN105073912 CN 중국 DOCDBFAMILY
2 CN105073912 CN 중국 DOCDBFAMILY
국가 R&D 정보가 없습니다.