요약 | 본 발명은 유도결합플라즈마 화학기상증착법을 이용한 태양전지 제조 방법에 관한 것이다. 본 발명에 의하면, 제1전극, P형층, 진성층, N형층 및 제2전극을 포함하는 태양전지를 제조함에 있어서, 수소(H2) 가스 및 실란(SiH4) 가스를 포함하는 혼합 가스를 사용하는 유도결합플라즈마 화학기상 증착 장치를 이용하여 수소화 비정질 실리콘 박막으로 이루어진 상기 진성층을 형성하는 진성층 형성 단계를 포함하되, 상기 혼합 가스는 상기 수소 가스 및 실란 가스의 수소 가스 대 실란 가스 비(H2/SiH4 ratio)가 8 내지 10인 것을 특징으로 하는 태양전지 제조 방법이 제공된다. |
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Int. CL | H01L 31/18 (2014.01) C23C 16/513 (2014.01) H01L 31/042 (2014.01) |
CPC | |
출원번호/일자 | 1020110135801 (2011.12.15) |
출원인 | 한국생산기술연구원 |
등록번호/일자 | 10-1122656-0000 (2012.02.24) |
공개번호/일자 | 10-2012-0002961 (2012.01.09) 문서열기 |
공고번호/일자 | (20120612) 문서열기 |
국제출원번호/일자 | |
국제공개번호/일자 | |
우선권정보 |
대한민국 | 1020090013059 | 2009.02.17
대한민국 | 1020090013195 | 2009.02.18 대한민국 | 1020090013204 | 2009.02.18 |
법적상태 | 등록 |
심사진행상태 | 수리 |
심판사항 | |
구분 | 신규 |
원출원번호/일자 | 10-2009-0101304 (2009.10.23) |
관련 출원번호 | 1020090101304 |
심사청구여부/일자 | Y (2011.12.15) |
심사청구항수 | 6 |