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전도성 탐침부; 및상기 전도성 탐침부의 표면에 적층 형성되어 측정하고자 하는 시료에 접촉하도록 하는 유전 박막층;을 포함하고,상기 유전 박막층은,실리콘 산화막 보다 큰 유전율을 가지는 유전체로 형성되되, 하프늄(Hf) 또는 하프늄(Hf)을 포함하는 화합물이 산소와 반응하여 형성된 산화막으로 이루어지는 주사 정전용량 현미경용 탐침
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제1항에서, 상기 전도성 탐침부는,피라미드 형상의 뾰족한 단부를 가지는 주사 정전용량 현미경용 탐침
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제1항에서, 상기 전도성 탐침부는, 저항(Resistance, 抵抗) 또는 비저항(Specific Resistance, 比抵抗)이 낮은 물질로 이루어지는 주사 정전용량 현미경용 탐침
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제3항에서,상기 전도성 탐침부는,금(Au), 은(Ag), 팔라듐(Pd), 백금(Pt), 류세늄(Ru), 마그네슘(Mg), 니켈(Ni), 타이타늄(Ti), 탄탈늄(TA), 크롬(Cr), 바나듐(V), 지르코늄(Zr), 몰리브데늄(Mo), 텅스텐(W), 납(Pb), 세슘(Cs), 하프늄(Hf), 레늄(Re), 벨릴늄(Be), 실리콘(Si), 게르마늄(Ge), 탄소나노튜브(Carbon Nanotube) 및 그라핀(Graphene)으로 이루어진 군에서 선택된 하나 이상의 물질로 구성되는 주사 정전용량 현미경용 탐침
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제3항에서, 상기 전도성 탐침부는,인듐 주석 산화물 (ITO(Indium-Tin Oxide)), 산화주석(SnO2), 산화아연(ZnO), 이산화 타이타늄(TiO2), 질화갈륨(GaN), 폴리아닐린(polyaniline), 폴리피롤(polypyrole), 폴리아세틸렌(polyacetylene), 폴리티오펜(polythiophene), 폴리설퍼니트리드(polysulfonitride), 폴리파라페닐렌(Polyparaphenylene), 폴리디엔니렌(Polydienylene), 폴리페닐렌비닐렌(Polyphenylene vinylene) 및 폴리에틸렌 디옥시씨오펜(PEDOT, poly(3,4-ethylene dioxythiophene))으로 이루어지는 군에서 선택된 하나 이상의 물질로 구성되는 주사 정전용량 현미경용 탐침
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비전도성 탐침부; 상기 비전도성 탐침부 표면를 덮으며 박막 형태로 적층 형성되는 전류를 인가할 수 있도록 하는 전도성 박막층; 및상기 전도성 박막층을 덮으며 적층 형성되어 측정하고자 하는 시료에 접촉하도록 하는 유전 박막층;을 포함하고,상기 유전 박막층은,실리콘 산화막 보다 큰 유전율을 가지는 유전체로 형성되되,하프늄(Hf) 또는 하프늄(Hf)을 포함하는 화합물이 산소와 반응하여 형성된 산화막으로 이루어지는 주사 정전용량 현미경용 탐침
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제8항에서, 상기 비전도성 탐침부는,피라미드 형상의 뾰족한 단부를 가지는 주사 정전용량 현미경용 탐침
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제9항에서,상기 비전도성 탐침부는,실리콘, 게르마늄, 실리콘 산화물, 게르마늄 산화물, 질화실리콘, 질화갈륨 및 산화아연으로 이루어지는 군에서 선택된 하나 이상의 물질로 구성되는 주사 정전용량 현미경용 탐침
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제8항에서,상기 전도성 박막층은,저항(Resistance, 抵抗) 또는 비저항(Specific Resistance, 比抵抗)이 낮은 물질로 이루어지는 주사 정전용량 현미경용 탐침
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제11항에서,상기 전도성 박막층은, 금(Au), 은(Ag), 팔라듐(Pd), 백금(Pt), 류세늄(Ru), 마그네슘(Mg), 니켈(Ni), 타이타늄(Ti), 탄탈늄(TA), 크롬(Cr), 바나듐(V), 지르코늄(Zr), 몰리브데늄(Mo), 텅스텐(W), 납(Pb), 세슘(Cs), 하프늄(Hf), 레늄(Re), 벨릴늄(Be), 실리콘(Si), 게르마늄(Ge), 탄소나노튜브(Carbon Nanotube) 및 그라핀(Graphene)으로 이루어지는 군에서 선택된 하나 이상의 물질로 구성되는 주사 정전용량 현미경용 탐침
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제11항에서, 상기 전도성 박막층은, 인듐 주석 산화물 (ITO(Indium-Tin Oxide)), 산화주석(SnO2), 산화아연(ZnO), 이산화 타이타늄(TiO2), 질화갈륨(GaN), 폴리아닐린(polyaniline), 폴리피롤(polypyrole), 폴리아세틸렌(polyacetylene), 폴리티오펜(polythiophene), 폴리설퍼니트리드(polysulfonitride), 폴리파라페닐렌(Polyparaphenylene), 폴리디엔니렌(Polydienylene), 폴리페닐렌비닐렌(Polyphenylene vinylene) 및 폴리에틸렌 디옥시씨오펜(PEDOT, poly(3,4-ethylene dioxythiophene))으로 이루어지는 군에서 선택된 하나 이상의 물질로 구성되는 주사 정전용량 현미경용 탐침
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