| 1 |
1
규소와 상기 규소로부터 질화규소 소결체를 제조하기 위한 소결 조제를 포함하는 원료를 과립화하는 단계; 및상기 과립화한 원료를 불활성 분위기에서 가소결하는 단계를 포함하는 반응소결질화규소용 다공성 가소결 과립 분말의 제조 방법
|
| 2 |
2
제1항에 있어서, 상기 소결 조제는 이트리아 및 알루미나를 포함하는 것을 특징으로 하는 반응소결질화규소용 다공성 가소결 과립 분말의 제조 방법
|
| 3 |
3
제2항에 있어서, 상기 소결 조제로 최소한 1종의 알칼리 토금속 산화물을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 반응소결질화규소용 다공성 가소결 과립 분말의 제조 방법
|
| 4 |
4
제1항에 있어서,상기 가소결 단계는 1150~1350℃의 온도에서 수행되는 것을 특징으로 하는 반응소결질화규소용 다공성 가소결 과립 분말의 제조 방법
|
| 5 |
5
제1항에 있어서,상기 소결 조제의 함량은 상기 규소의 완전 질화를 기준으로 2~6 중량% 포함되는 것을 특징으로 하는 반응소결질화규소용 다공성 가소결 과립 분말의 제조 방법
|
| 6 |
6
제1항에 있어서,상기 과립 분말은 최대 중량 빈도가 30 ~ 150 미크론 범위에 있는 것을 특징으로 하는 다공성 가소결 과립 분말의 제조 방법
|
| 7 |
7
제1항에 있어서,상기 과립 분말의 항복 강도는 1 ~ 20 MPa인 것을 특징으로 하는 다공성 가소결 과립 분말의 제조방법
|
| 8 |
8
제1항에 있어서,상기 과립 분말은 유동도가 0
|
| 9 |
9
규소와, 상기 규소의 질화 후 고온 액상 소결 시 소결 조제로 이트리아와 알루미나 및 이들의 화합물로 구성되며, 개기공을 갖는 구형의 다공성 과립 분말로서, 상기 과립 분말은 항복 강도가 1 ~ 20 MPa인 것을 특징으로 하는 반응소결질화규소용 가소결 과립 분말
|
| 10 |
10
제9항에 있어서,상기 항복 강도는 5 MPa 이상인 것을 특징으로 하는 반응소결질화규소용 가소결 과립 분말
|
| 11 |
11
제9항에 있어서,상기 과립 분말은 유동도가 0
|
| 12 |
12
제9항에 있어서,상기 과립 분말은 알칼리 토금속의 화합물을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 반응소결질화규소용 가소결 과립 분말
|
| 13 |
13
규소와 상기 규소의 질화 후 고온 액상 소결 시 소결 조제로 이트리아와 알루미나 및 이들의 화합물로 구성되는 미세 기공 채널을 갖는 구형의 다공성 과립들의 성형체로서, 상기 다공성 과립은 최대 중량 빈도가 30~150 미크론 사이에 존재하고, 상기 성형체는 상기 다공성 과립 내부의 미세 기공 채널과 상기 다공성 과립 사이의 조대 기공 채널로 구성되는 기공 구조를 구비하는 것을 특징으로 하는 반응소결질화규소용 성형체
|
| 14 |
14
제13항에 있어서,상기 조대 기공 채널은 1 미크론 이상의 조대 기공을 포함하는 것을 특징으로 하는 반응소결질화규소용 성형체
|
