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산화 니켈과 산화 망간을 포함하는 전구체 용액과 부틸아세테이트(butyl acetate)를 혼합하여 혼합 용액을 제조하는 단계;상기 혼합 용액을 기판에 코팅하여 코팅층을 형성하는 단계;상기 코팅층을 베이킹하여 시드층을 형성하는 단계; 및상기 시드층을 410℃ 내지 510℃의 온도에서 결정화시켜, 니켈-망간 산화물(NiMn2O4)을 포함하는 금속 산화물 박막을 형성하는 단계를 포함하는 스피넬 구조를 갖는 금속 산화물 박막의 제조 방법
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제1항에 있어서, 상기 시드층을 형성하는 단계는7℃/분 내지 13℃/분의 속도로 온도를 상승시키는 것을 특징으로 하는 스피넬 구조를 갖는 금속 산화물 박막의 제조 방법
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제3항에 있어서, 상기 시드층을 형성하는 단계의 승온 속도는 10℃/분인 것을 특징으로 하는 스피넬 구조를 갖는 금속 산화물 박막의 제조 방법
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제3항에 있어서, 상기 시드층을 형성하는 단계는380℃ 내지 420℃까지 승온되는 것을 특징으로 하는 스피넬 구조를 갖는 금속 산화물 박막의 제조 방법
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제1항에 있어서,상기 전구체 용액에서, 산화 니켈의 니켈과 산소의 원자비는 1:1이고, 산화 망간의 산소와 망간의 원자비는 1:1
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제1항에 있어서, 상기 금속 산화물 박막을 형성하는 단계 전에, 상기 시드층 상에 상기 혼합 용액을 이용하여 코팅층을 형성하는 단계; 및상기 시드층 상의 코팅층을 베이킹하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 스피넬 구조를 갖는 금속 산화물 박막의 제조 방법
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제1항에 있어서, 상기 전구체 용액은 산화 구리(CuO)를 더 포함하고,상기 금속 산화물 박막은 구리를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 스피넬 구조를 갖는 금속 산화물 박막의 제조 방법
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제9항에 있어서,상기 구리를 더 포함하는 금속 산화물 박막은(1-x)NiMn2O4-(x)CuO로 나타내는 니켈-망간-구리 산화물(여기서, 0
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