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진공척용 이층 기공구조 다공성 세라믹 소재 및 이의 제조방법

  • 기술번호 : KST2015004064
  • 담당센터 : 부산기술혁신센터
  • 전화번호 : 051-606-6561
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 다공질 세라믹 소재를 이용한 진공척 소재에 관한 것으로서, 진공척 소재는 높은 통기성을 가지고 있어야 하며, 이는 조대한 열린 기공구조를 통하여 이룰 수 있다. 그러나 진공척의 정밀도 및 피흡착물의 변형을 억제하기 위해서는 진공척 소재의 기공구조 미세화가 필요하지만, 기공구조의 미세화는 통기도의 저하를 유발한다. 이와 같은 문제를 해결하기 위하여 본 발명에서는 미세구조를 기공 크기별로 조대한 부분과 미세한 부분으로 이층구조화 하였다. 특히 미세 기공 구조층을 셀룰라 기공 구조로 제조함으로써 통기도의 저하를 최소화할 수 있는 미세구조를 만들 수 있다. 즉 이층기공구조를 가지는 진공척용 다공성 세라믹 소재는, 다수 미세기공을 구비하여 셀룰라 기공구조를 가지는 흡착층과, 상기 흡착층보다 큰 조대기공을 갖는 서포터층을 포함하여 구성되며, 상기 미세기공과 조대기공은 서로 연통하는 것을 특징으로 한다.
Int. CL C04B 38/00 (2006.01) C04B 35/505 (2006.01) C04B 35/565 (2006.01)
CPC C04B 38/06(2013.01) C04B 38/06(2013.01) C04B 38/06(2013.01) C04B 38/06(2013.01)
출원번호/일자 1020100052677 (2010.06.04)
출원인 한국기계연구원
등록번호/일자 10-1149350-0000 (2012.05.17)
공개번호/일자 10-2011-0133120 (2011.12.12) 문서열기
공고번호/일자 (20120530) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2010.06.04)
심사청구항수 12

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 송인혁 대한민국 경상남도 창원시 성산구
2 김해두 대한민국 경상남도 창원시
3 김영욱 대한민국 서울특별시 도봉구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김기문 대한민국 서울시 강남구 역삼로 *** *층 (역삼동 현죽빌딩)(한미르특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2010.06.04 수리 (Accepted) 1-1-2010-0358918-76
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2011.04.08 수리 (Accepted) 4-1-2011-5069914-14
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2011.04.08 수리 (Accepted) 4-1-2011-5069919-31
4 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2011.10.25 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
5 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2011.11.14 수리 (Accepted) 9-1-2011-0087914-03
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2011.11.23 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0683153-71
7 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)		 2012.01.20 수리 (Accepted) 1-1-2012-0054303-35
8 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)		 2012.02.23 수리 (Accepted) 1-1-2012-0148338-59
9 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2012.03.13 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2012-0200539-39
10 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2012.03.13 수리 (Accepted) 1-1-2012-0200535-57
11 등록결정서
Decision to grant		 2012.05.04 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0265631-35
12 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)		 2012.07.09 수리 (Accepted) 1-1-2012-0547450-68
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.11.28 수리 (Accepted) 4-1-2017-5193093-72
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
흡착층 제조용 원료분말과 구형 기공형성제를 포함하는 슬러리를 소성하여 흡착층 제조용 원료분말 사이에 형성된 미세기공과 구형 기공형성제가 제거되어 형성된 구형의 미세기공이 서로 연통하는 이층기공구조를 가지는 흡착층과,상기 흡착층 제조용 원료분말보다 큰 평균입경을 가지는 서포터 제조용 원료분말을 포함하는 슬러리를 소성하여 조대기공이 형성된 서포터층을 포함하여 구성되며,상기 흡착층 제조용 원료분말 사이에 형성된 미세기공과 구형의 미세기공 및 조대기공은 서로 연통하는 것을 특징으로 하는 이층기공구조를 가지는 진공척용 다공성 세라믹 소재
2 2
제 1 항에 있어서, 상기 진공척용 다공성 세라믹 소재는,20 ~ 50%의 기공율을 갖는 것을 특징으로 하는 이층기공구조를 가지는 진공척용 다공성 세라믹 소재
3 3
제 2 항에 있어서, 상기 흡착층은 서포터층의 일면에 스핀코팅(spin-coating), 가압캐스팅(pressure casting), 슬립캐스팅(slip casting), 딥코팅(dip-coating) 공정 중 어느 하나의 공정으로 형성됨을 특징으로 하는 이층기공구조를 가지는 진공척용 다공성 세라믹 소재
4 4
제 3 항에 있어서, 상기 흡착층은 0
5 5
제 4 항에 있어서, 상기 서포터 제조용 원료분말은 30 ~ 70㎛의 평균입경을 가지는 것을 특징으로 하는 이층기공구조를 가지는 진공척용 다공성 세라믹 소재
6 6
제 5 항에 있어서, 상기 진공척용 다공성 세라믹 소재는,50W/mK 이상의 열전도도를 갖는 것을 특징으로 하는 이층기공구조를 가지는 진공척용 다공성 세라믹 소재
7 7
제 6 항에 있어서, 상기 흡착층은 SiC, SiC-Si, SiC-Si-Co, SiC-Y2O3-Al2O3 중 어느 하나로 형성됨을 특징으로 하는 이층기공구조를 가지는 진공척용 다공성 세라믹 소재
8 8
제 7 항에 있어서, 상기 미세기공은 5 내지 50㎛ 의 내경을 갖는 것을 특징으로 하는 이층기공구조를 가지는 진공척용 다공성 세라믹 소재
9 9
흡착층과 서포터를 제조하기 위한 원료분말과 유기바인더를 준비하는 재료준비단계와, 상기 서포터 제조용 원료분말을 습식 혼합한 혼합물에 유기바인더를 첨가한 후 건조시켜 과립분말을 제조하는 분말제조단계와, 상기 과립분말을 냉간정수압(CIP)공정으로 가압하여 예비서포터를 제조하는 제1성형단계와, 상기 예비서포터를 가열하여 조대기공을 가지는 서포터층을 제조하는 서포터제조단계와, 상기 서포터층의 일면에 흡착층 제조용 원료분말과 구형 기공형성제를 포함하는 슬러리를 도포하는 슬러리도포단계와, 상기 슬러리를 가열하여 미세기공을 가지는 흡착층을 형성하는 제2성형단계로 이루어지며,상기 제2성형단계는,상기 흡착층 제조용 원료분말 사이에 형성된 미세기공과, 구형 기공형성제가 제거되어 형성된 구형의 미세기공을 서로 연통시켜 이층기공구조를 형성하는 과정임을 특징으로 하는 이층기공구조를 가지는 진공척용 다공성 세라믹 소재의 제조방법
10 10
제 9 항에 있어서, 상기 재료준비단계에서,서포터 제조용 원료분말과 흡착층 제조용 원료분말은 SiC, SiC-Si, SiC-Si-Co, SiC-Y2O3-Al2O3중 하나 이상을 포함하여 구성되며, 서로 상이한 입경을 갖는 것을 특징으로 하는 이층기공구조를 가지는 진공척용 다공성 세라믹 소재의 제조방법
11 11
제 10 항에 있어서, 상기 서포터제조단계는,상기 예비서포터를 가열하여 탈지하는 탈지과정과,탈지된 예비서포터를 소결하는 소결과정으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 이층기공구조를 가지는 진공척용 다공성 세라믹 소재의 제조방법
12 12
제 11 항에 있어서, 상기 슬러리도포단계는,스핀코팅(spin-coating), 가압캐스팅(pressure casting), 슬립캐스팅(slip casting), 딥코팅(dip-coating) 공정 중 어느 하나의 공정을 실시하여 상기 서포터층의 일면에 흡착층 제조용 원료분말과 구형 기공형성제를 포함하는 슬러리를 도포하는 과정임을 특징으로 하는 이층기공구조를 가지는 진공척용 다공성 세라믹 소재의 제조방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 지식경제부 한국기계연구원 부설 재료연구소 차세대 소재성형 기술 개발 사업 기공제어 기술개발 및 응용