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후막저항체를 이용하여 면저항을 측정할 수 있는 면저항 인증표준물질의 제조방법에 있어서,목표저항치의 저항 페이스트준비(S10) 과정;상기 저항 페이스트를 인쇄할 기판 준비(S20) 과정;상기와 같이 준비된 기판에 저항 페이스트 인쇄(S30) 과정;상기 저항이 인쇄된 기판(10)에 열을 가하는 소성(S40); 과정 및 면저항 인증표준물질(CRM)을 완성(S50)하는 과정으로 구성되되,상기 저항 페이스트는 무패턴의 저항체인 것을 특징으로 하는 면저항 인증표준물질의 제조방법
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제 1항에 있어서,상기 저항 페이스트준비(S10) 과정에서 적용되는 후막 페이스트는 납루테늄 산화물이나 루테늄 옥사이드 중 1종류 또는 2종류의 페이스트를 혼합하여 준비하는 것을 특징으로 하는 면저항 인증표준물질의 제조방법
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제 2항에 있어서,상기 후막 페이스트에는 카본블랙분말이나 그라파이트분말 및 구리, 망간 니켈, 크롬 중 어느 하나 이상의 금속분말을 더 혼합할 수 있는 것을 특징으로 하는 면저항 인증표준물질의 제조방법
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제 1항에 있어서,상기 저항 페이스트를 인쇄할 기판 준비(S20) 과정은 원형 형상의 세라믹판의 표면을 세척하여 준비하는 것을 특징으로 하는 면저항 인증표준물질의 제조방법
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제 1항에 있어서,상기 저항이 인쇄된 기판(10)에 열을 가하는 소성(S40) 과정은 기판상에 인쇄된 저항을 굳히기 위해 800~900℃의 온도로 30분 내지 60분간 가열하여 소성시키는 것을 특징으로 하는 면저항 인증표준물질의 제조방법
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제 1항 내지 제 5항중 어느 한 항에 있어서,상기 면저항인증표준물질(CRM)을 완성(S50)하는 과정은 소성(S40) 과정을 거쳐 1차완성된 면저항물질을 측정기를 통하여 구현하고자 하는 면저항값을 측정하여 측정된 값에 의해 합격유무를 판단하여 면저항인증표준물질(CRM)을 완성하는 것을 특징으로 하는 면저항 인증표준물질의 제조방법
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후막저항체를 이용하여 제조되어 면저항을 측정할 수 있는 면저항 인증표준물질에 있어서,상기 청구항 제 6항의 제조방법에 의해 제조되는 것을 특징으로 하는 면저항 인증표준물질
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제 7항에 있어서, 세라믹 재질로 형성되는 기판(10)과상기 기판(10)상에 인쇄된 후 소성된 무패턴의 저항체(20)로 구성되는 것을 특징으로 하는 면저항 인증표준물질
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