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산화아연 나노시트 생성방법

  • 기술번호 : KST2015008060
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 산소 플라즈마에 아연 필름을 직접적으로 노출시킴으로써 상기 아연 필름을 산화아연 나노시트로 변환하는 산화아연 나노시트의 생성방법에 관한 것이다. 약 500nm 두께의 아연 필름은 240℃, 280℃ 및 380℃에서 30분 동안 N2O 가스를 사용한 PECVD에 의해 생성된 산소 플라즈마에 노출된다. 잘 정제된 단결정 산화아연 나노시트는 약 280℃ 이상에서 생성된다. 전자현미경 및 X레이 회절 스펙트럼 분석법을 사용하여 관찰하면, 상기 산화아연 나노시트는 [10-10] 면을 따라 성장한 육방정계 우르차이트(wurtzite) 구조를 가진다. 상기 산화아연 나노시트는 또한 380 nm 및 520 nm에서 각각 중앙 피크점을 갖는 자외선영역 및 녹색발광영역을 드러낸다. 본 발명의 산화아연 나노시트 형성물은 상기 아연 필름에 이온화된 산소가 직접 접촉하여 산화됨으로써 형성된다.
Int. CL H01L 21/205 (2006.01) C23C 16/40 (2006.01) C23C 16/50 (2006.01) C23C 16/458 (2006.01)
CPC C23C 16/505(2013.01) C23C 16/505(2013.01) C23C 16/505(2013.01) C23C 16/505(2013.01) C23C 16/505(2013.01) C23C 16/505(2013.01) C23C 16/505(2013.01)
출원번호/일자 1020110045190 (2011.05.13)
출원인 강원대학교산학협력단
등록번호/일자 10-1384404-0000 (2014.04.04)
공개번호/일자 10-2012-0127001 (2012.11.21) 문서열기
공고번호/일자 (20140410) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2011.05.13)
심사청구항수 2

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 강원대학교산학협력단 대한민국 강원도 춘천시

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 윤종환 대한민국 강원도 춘천시 공지로***번길 **-

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인태동 대한민국 서울특별시 구로구 가마산로 ***, ***호(구로동, 대림오피스밸리)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 강원대학교산학협력단 강원도 춘천시
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2011.05.13 수리 (Accepted) 1-1-2011-0355646-72
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.12.13 수리 (Accepted) 4-1-2011-5249875-98
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2012.02.06 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2012.03.08 수리 (Accepted) 4-1-2012-5049179-27
5 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2012.03.21 수리 (Accepted) 9-1-2012-0018532-04
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2013.03.04 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0147678-70
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2013.05.06 수리 (Accepted) 1-1-2013-0395976-29
8 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2013.05.06 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2013-0395977-75
9 최후의견제출통지서
Notification of reason for final refusal
2013.09.02 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0611446-02
10 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2013.11.04 수리 (Accepted) 1-1-2013-0999641-40
11 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2013.12.02 수리 (Accepted) 1-1-2013-1098873-15
12 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2013.12.02 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2013-1098872-70
13 등록결정서
Decision to grant
2014.04.03 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0236426-82
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.11.05 수리 (Accepted) 4-1-2019-5230938-29
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
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반응기 내의 보트에 아연 와이어를 위치시키고, 상기 아연 와이어를 가열시켜 상기 반응기 내의 기판 상에 아연 필름을 증착함으로써, 아연 필름이 형성된 기판을 미리 마련하는 단계;진공 형성이 가능한 반응기, 플라즈마를 생성하는 플라즈마 발생장치, 상기 반응기 내로 N2O 가스를 공급하기 위한 가스 공급관, 상기 플라즈마 발생장치로부터 RF 전력을 입력받아 상기 N2O 가스를 이온화시켜 산소 플라즈마를 발생시키는 상부전극과 하부전극, 상기 아연 필름이 증착된 기판을 탑재하는 기판 홀더 및 상기 기판을 가열하는 온도 센서를 포함하는 플라즈마 화학기상증착장치의 상기 기판 홀더에 상기 아연 필름이 증착된 기판을 장착하는 단계;상기 아연 필름이 증착된 기판과 접해있는 상기 온도 센서가 상기 기판을 상기 반응기 내에서 가열하는 단계;상기 상부전극 및 하부전극이 상기 플라즈마 발생장치로부터 상기 RF 전력을 공급받아 상기 가스 공급관으로부터 유입된 상기 N2O 가스를 이온화시켜 산소 플라즈마를 생성하고, 생성된 산소 플라즈마를 상기 아연 필름에 직접적으로 노출시키는 단계; 및상기 노출 단계를 통해, 상기 증착된 아연 필름을 일정시간 산화시킴으로써 산화아연 나노시트를 생성하는 단계;를 포함하되,상기 기판을 가열하는 단계는, 상기 기판을 280℃ 이상 및 420℃ 이하로 가열하는 것을 특징으로 하는 산화아연 나노시트 생성방법
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삭제
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삭제
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제1항에 있어서,상기 산소 플라즈마 생성 단계에서, 상기 반응기 내의 상기 N2O 가스의 압력 및 유량은 1
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 교육과학기술부 강원대학교 기초연구지원사업(일반연구자 지원사업) SiOx박막에 기반한 실리카 나노선의 제조 및 기능화 : 저온 성장을 중심으로