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회전식 플라즈마 반응기에 의한 유전체 장벽 방전-광촉매 복합공정용 이산화티탄/산화규소 이중 박막 복합체 및 이의 제조방법

  • 기술번호 : KST2015009209
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 회전식 플라즈마 방전식을 이용하여 광촉매인 산화규소/이산화티탄을 유전체에 이중막의 형태로 증착시키고, 각 산화규소 및 이산화탄소의 증착 두께를 조절하는 방법에 관한 것이다.이중막의 형태로 된 유전체는 종래 이산화티탄 단일막이 코팅된 유전체보다 오염 물질을 동시 제거 할 수 있으며, 높은 제거 효율을 가지고. 상온상압과 같은 조건에서 공정이 가능하다. 또한 유리구(glass beads)에 TiO2/SiOX 이중박막으로 균일하게 코팅하여 이를 광분해 반응에 의한 기체오염물을 효율적으로 제거할 수 있으며, 본 실험에서 사용하는 TiO2 광촉매는 산화력이 커서 향균, 살균 작용 및 악취제거에도 탁월한 기능을 가지고 있으며, 매우 안정한 물질로 인체 및 환경에도 무해한 장점을 가지고 있다.
Int. CL B01D 53/60 (2006.01) B01J 37/02 (2006.01) B01D 53/86 (2006.01) B01J 21/06 (2006.01)
CPC B01D 53/60(2013.01) B01D 53/60(2013.01) B01D 53/60(2013.01) B01D 53/60(2013.01)
출원번호/일자 1020120121384 (2012.10.30)
출원인 강원대학교산학협력단
등록번호/일자 10-1424100-0000 (2014.07.22)
공개번호/일자 10-2014-0055073 (2014.05.09) 문서열기
공고번호/일자 (20140801) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2012.10.30)
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 강원대학교산학협력단 대한민국 강원도 춘천시

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김교선 대한민국 강원도 춘천시 행촌로 ** (
2 정현선 대한민국 경기도 의정부시 용민로 **
3 팜 훙 크엉 베트남 강원도 춘천시 강원대학길 *

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 한라특허법인(유한) 대한민국 서울시 서초구 강남대로 ***(서초동, 남강빌딩 *층)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 강원대학교산학협력단 강원도 춘천시
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2012.10.30 수리 (Accepted) 1-1-2012-0889016-98
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2013.06.04 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2013.07.08 수리 (Accepted) 9-1-2013-0052069-97
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2014.01.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0042112-12
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2014.03.20 수리 (Accepted) 1-1-2014-0266535-51
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2014.03.20 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2014-0266533-60
7 등록결정서
Decision to grant		 2014.05.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0371163-57
8 대리인선임신고서
Report on Appointment of Agent		 2015.12.23 수리 (Accepted) 1-1-2015-5033520-42
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.11.05 수리 (Accepted) 4-1-2019-5230938-29
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
유전체에 340-400 nm 두께 범위로 산화규소(SiOx)를 코팅시키고, 산화규소(SiOx)가 코팅된 유전체에 250-320 nm 두께 범위로 이산화티탄(TiO2) 광촉매를 추가적으로 코팅시킨 이산화티탄/산화규소 이중막 유전체 장벽 방전-광촉매 복합 NOx 및 SOx 제거용 비드
2 2
청구항 1에 있어서, 상기 산화규소를 코팅시키는 단계는 압력 600-1000 mtorr, 이산화티탄을 코팅시키는 단계는 압력 500-1000 mtorr에서 반응시켜 제조하는 것을 특징으로 하는 비드
3 3
청구항 1에 있어서, 상기 유전체는 유리구인 것을 특징으로 하는 비드
4 4
삭제
5 5
(i) 유전체가 포함된 회전식 플라즈마 반응기에 600-1000 mtorr의 압력 조건에서 산소와 산화규소 전구체를 공급하여 유전체에 산화규소(SiOx)를 코팅시키는 단계;(ii) 상기 회전식 플라즈마 반응기의 공정 시간을 조절하여 코팅되는 산화규소의 두께를 340-400 nm로 조절하는 단계;(ii) 상기 산화규소가 코팅된 유전체가 포함된 회전식 플라즈마 반응기에 산소와 질소를 공급하면서 이산화티탄의 전구체를 반응기에 공급하는 단계;(iii) 상기 반응기는 압력 조건이 500-1000 mtorr이고, 반응기를 회전시키며 이산화티탄의 전구체 및 산소가 반응하여 이산화티탄이 생성되고, 생성된 상기 이산화티탄이 상기 산화규소가 코팅된 유전체에 코팅되어 이중막을 형성시키는 단계; 및(iv) 상기 회전식 플라즈마 반응기의 공정 시간을 조절하여 상기 단계 (iii)의 유전체에 코팅되는 이산화티탄의 두께를 250-320 nm로 조절하는 단계;를 포함하는 유전체 장벽 방전-광촉매 복합 NOx 및 SOx 제거용 산화규소/이산화티탄 이중막 코팅 비드의 제조 방법
6 6
청구항 5에서, 상기 산화 규소 전구체는 TEOS(tetraethoxysilane)이고, 이산화티탄의 전구체는 TTIP(Ti(OC3H7)4)인 것을 특징으로 하는 제조 방법
7 7
청구항 5에 있어서, 상기 유전체는 유리구인 것을 특징으로 하는 제조 방법
8 8
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9 9
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10 10
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11 11
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패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.