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전도성을 띤 나노 크기의 입자를 분산시킨 잉크 형태의 나노잉크를 생성하는 장치로서,상기 나노 크기의 입자를 제조하는 나노입자제조기, 상기 나노입자제조기로부터 유입되어온 나노입자를 과포화 증기에 노출시켜 입자 표면 위에 과포화 증기를 응축시키는 나노입자 과포화 응축기, 상기 나노입자 과포화 응축기에서 성장된 나노입자를 충돌 및 수집하는 입자 충돌 및 수집기,상기 입자 충돌 및 수집기의 입자 충돌 수집판에 충돌한 나노입자를 콜로이드상으로 수집하기 위한 입자 수집 수단을 포함하고,상기 입자 수집 수단은 상기 입자 충돌 수집판의 상부에 장착되는 초순수 공급관 및 상기 초순수에 의해 입자 충돌 수집판에 충돌한 나노잉크를 수집하도록 입자 충돌 수집판의 하부에 마련된 나노잉크 배출관을 구비하는 것을 특징으로 하는 나노잉크 생성장치
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제1항에 있어서,상기 나노입자 과포화 응축기에서 나노입자의 크기 성장을 위해 증기를 발생하는 증기 발생기 및 상기 입자 충돌 및 수집기를 통해 수집된 콜로이드상 입자를 농축시키는 농축기를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 나노잉크 생성장치
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제1항에 있어서,상기 나노입자제조기는 기체상에서 연속적으로 나노입자를 발생하고,상기 나노잉크 생성장치는 연속식으로 나노잉크를 생성하는 것을 특징으로 하는 나노잉크 생성장치
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제2항에 있어서,상기 증기 발생기는 상기 나노입자 과포화 응축기로 초순수(Ultrapure Water)로 형성된 수증기인 용매 증기를 공급하는 것을 특징으로 하는 나노잉크 생성장치
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제4항에 있어서,상기 증기 발생기는 상기 초순수의 증기 온도 조절용 열선 및 온도 모니터링 수단, 용기의 하부 내에 장착되어 초순수의 액적을 발생시키는 초음파 진동자, 상기 초음파 진동자에 의해 발생된 액적을 이송하기 위한 송풍기, 상기 송풍기에 의해 유입되는 공기의 유량을 조절하는 레귤레이터, 상기 레귤레이터에서 공급된 공기를 정화하는 필터를 구비하는 것을 특징으로 하는 나노잉크 생성장치
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제1항에 있어서,상기 나노입자 과포화 응축기는 나노입자를 과포화 상태로 형성하기 위한 챔버, 상기 챔버의 외주부에 장착되어 나노입자의 크기 성장을 제어하는 냉각수단 및 상기 챔버에서 과포화 응축된 나노입자의 배출압력을 조절하는 압력 조절수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 연속식 나노잉크 생성장치
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제6항에 있어서,상기 냉각수단은 펠티에 효과에 의한 흡열 또는 발열을 이용한 열전소자 및 온도 모니터링 기능을 구비한 것을 특징으로 하는 나노잉크 생성장치
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제6항에 있어서,상기 압력 조절수단은 상기 나노입자 과포화 응축기와 입자 충돌 및 수집기 사이에서 입자 충돌을 위한 임계 오리피스인 것을 특징으로 하는 나노잉크 생성장치
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제8항에 있어서,상기 입자 충돌 및 수집기의 외부는 단열재로 도포되고,상기 입자 충돌 수집판은 상기 입자 충돌 및 수집기의 공간에는 나노입자가 배출되는 상기 압력조절수단의 배출구에 대응하는 위치에 장착된 것을 특징으로 하는 나노잉크 생성장치
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제9항에 있어서,상기 입자 충돌 수집판은 친수성 물질인 석영기판인 것을 특징으로 하는 나노잉크 생성장치
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제1항에 있어서,상기 입자 충돌 및 수집기의 공간을 상압보다 낮은 저압 상태로 유지시키는 저압 발생수단과 배기관의 유량을 조절하는 유량조절수단을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 나노잉크 생성장치
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제13항에 있어서,상기 저압 발생수단은 진공 펌프이고, 상기 유량조절수단은 유량의 개구 면적을 변화시킬 수 있는 유량조절 밸브인 것을 특징으로 하는 나노잉크 생성장치
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제1항에 있어서,상기 나노입자제조기는 상압, 상압보다 높은 고압 또는 상압보다 낮은 저압의 나노입자제조기인 것을 특징으로 하는 나노잉크 생성장치
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제15항에 있어서,상기 저압의 나노입자제조기에서 생성되는 나노입자를 상기 나노입자 과포화 응축기로 공급하기 위해 상기 저압의 나노입자제조기와 나노입자 과포화 응축기 사이에 마련된 압력 제어수단을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 나노잉크 생성장치
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제16항에 있어서,상기 저압의 나노입자제조기를 사용할 경우, 상기 압력 제어수단은 고압 발생기와 이젝터를 구비하고,상기 고압 발생기는 압축기, 압축기에서 공급되는 압축 공기의 양을 조절하는 조절기, 조절기를 통과한 공기를 정화하는 여과기를 구비하는 것을 특징으로 하는 나노잉크 생성장치
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