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기체상 코어-쉘 나노입자를 제조하는 장치로서,상온 상압에서 작동 유체에 의해 쉘 물질 전구체를 발생시키는 쉘 물질 전구체 발생부, 작동 유체에 의한 코어 물질을 발생시키는 코어 물질 발생부, 상기 쉘 물질 전구체 발생부와 상기 코어 물질 발생부로부터 유입된 쉘 물질 전구체와 코어 물질로 코어-쉘 나노입자를 형성하는 입자코팅 반응부, 상기 입자코팅 반응부로부터 생성된 코어-쉘 나노입자를 포집하는 입자 포집기 및상기 입자코팅 반응부에 전자빔을 조사하는 전자빔 조사장치를 포함하는 것을 특징으로 하는 코어-쉘 나노입자 제조장치
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제1항에 있어서,상기 쉘 물질 전구체 발생기는 기포발생기(Bubbler) 또는 증발기(Evaporator)인 것을 특징으로 하는 코어-쉘 나노입자 제조장치
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제2항에 있어서,상기 쉘 물질 전구체는 액상인 트리메틸알루미늄(Trimethylaluminum)인 것을 특징으로 하는 코어-쉘 나노입자 제조장치
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제2항에 있어서,상기 쉘 물질 전구체는 액상인 지르코늄(IV) T 부톡사이드(Zirconium(IV) tert-butoxide)인 것을 특징으로 하는 코어-쉘 나노입자 제조장치
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제2항에 있어서,상기 쉘 물질 전구체는 바나듐(V) 옥시트리이소프로폭사이드(Vanadium(V) oxytriisopropoxide), 바나듐(V) 옥시트리에톡사이드(Vanadium(V) oxytriethoxide), 바나듐(V) 옥시트리프로폭사이드(Vanadium(V) oxytripropoxide) 중의 어느 하나인 것을 특징으로 하는 코어-쉘 나노입자 제조장치
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제2항에 있어서,상기 쉘 물질 전구체는 액상인 트리에틸갈륨(Triethylgallium) 또는 트리메틸갈륨(Trimethylgallium)인 것을 특징으로 하는 코어-쉘 나노입자 제조장치
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제1항에 있어서, 상기 코어 물질은 나노 분말(nano-powder) 형태 또는 전구체 용액과 반응을 일으키지 않고 혼합될 수 있는 콜로이드상의 나노입자 용액인 것을 특징으로 하는 코어-쉘 나노입자 제조장치
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(a) 작동 유체에 의한 쉘 물질 전구체 발생기에서 전구체 증기를 발생시키는 단계,(b) 작동 유체에 의한 코어 물질 발생기에서 코어 나노입자를 발생시키는 단계, (c) 입자 코팅 반응기에서 쉘 물질 전구체를 분리하여 코어-쉘 나노입자를 형성하는 단계를 포함하고,상기 (c) 단계는 전자빔 조사장치에서 공급되는 전자빔에 의해 실행되고, 상기 (a) 내지 (c) 단계는 상온 상압에서 실행되고, 상기 코어 물질 발생기에서의 코어 나노입자 발생은 증발응축법 또는 분무 방식으로 실행되는 것을 특징으로 하는 코어-쉘 나노입자 제조방법
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제8항에 있어서,상기 쉘 물질 전구체는 액상인 트리메틸알루미늄(Trimethylaluminum)인 것을 특징으로 하는 코어-쉘 나노입자 제조방법
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제8항에 있어서,상기 쉘 물질 전구체는 액상인 지르코늄(IV) T 부톡사이드(Zirconium(IV) tert-butoxide)인 것을 특징으로 하는 코어-쉘 나노입자 제조방법
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제8항에 있어서,상기 쉘 물질 전구체는 바나듐(V) 옥시트리이소프로폭사이드(Vanadium(V) oxytriisopropoxide), 바나듐(V) 옥시트리에톡사이드(Vanadium(V) oxytriethoxide), 바나듐(V) 옥시트리프로폭사이드(Vanadium(V) oxytripropoxide) 중의 어느 하나인 것을 특징으로 하는 코어-쉘 나노입자 제조방법
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제8항에 있어서,상기 쉘 물질 전구체는 액상인 트리에틸갈륨(Triethylgallium) 또는 트리메틸갈륨(Trimethylgallium)인 것을 특징으로 하는 코어-쉘 나노입자 제조방법
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제8항에 있어서,상기 (b) 단계에서의 코어 나노입자는 나노 분말(nano-powder) 형태 또는 전구체 용액과 반응을 일으키지 않고 혼합될 수 있는 콜로이드상의 나노입자 용액인 것을 특징으로 하는 코어-쉘 나노입자 제조방법
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