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연속상유체와 자성유체를 각각 미세유체 칩 내의 연속상 유체 이동 미세유로 채널 및 자성 유체 이동 미세 유로 채널에 주입시키는 단계(단계1); 상기 단계 1에서 주입된 연속상유체와 자성유체가 만나서 초상자성 나노입자 액적을 형성하는 단계(단계2); 및상기 단계 2에서 형성된 초상자성 나노입자 액적이 평면 홀 저항 센서의 활성접합부 상부를 통과할 때 상기 액적 내에 존재하는 초상자성 나노입자 액적의 자화율을 측정하는 단계(단계3);를 포함하는 초상자성 나노입자 액적의 자화율의 측정방법으로써,상기 측정방법은,하부 기판으로부터 돌출되고, 양단에 전류전극을 갖는 제1암 및 양단에 전압전극을 갖는 제2암이 상호 교차되는 부분으로서, 초상자성 나노입자 액적을 센싱하는 활성접합부를 포함하되, 상기 제1암의 길이가 조절된 평면 홀 저항센서 및 상기 평면 홀 저항센서의 활성접합부 상부를 가로지르는 미세유로 채널을 포함하는 초상자성 나노입자 액적의 자화율 측정용 미세유체 칩을 이용하여 수행되며,상기 초상자성 나노입자 액적이 T자형 미세유로 채널의 교차점을 통과하여 평면 홀 저항 센서의 활성 접합부 상부를 지나갈 때 하기 수학식 1에 나타난 조건을 만족시키도록 평면 저항 센서 내에 구비되어 있는 제 1암의 길이를 조절하는 것을 특징으로 하는 초상자성 나노입자 액적의 자화율 측정방법;003c#수학식1003e#(상기 식에서 Heff는 센서에서의 유효자기장이고, Happ는 인가된 외부자기장이고, Hstray는 자화된 자기 비드로부터 발생하는 표유자기장이다)
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제1항에 있어서, 상기 평면 홀 저항센서의 제1암 및 제2암은 하부기판 위에 적층되는 하지층;상기 하지층 상부에 적층되는 제1강자성층;상기 제1강자성층 상부에 적층되는 스페이서층;상기 스페이서층 상부에 적층되는 제2강자성층;상기 제2강자성층 상부에 적층되는 반강자성층; 및상기 반강자성층 상부에 적층되는 상지층;을 포함하는 스핀 밸브형 센서 박막 구조인 것을 특징으로 하는 초상자성 나노입자 액적의 자화율 측정방법
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제2항에 있어서, 상기 하지층은 탄탈륨(Ta) 또는 티타늄(Ti), 제1강자성층은 니켈철(NiFe) 또는 코발트철(CoFe), 스페이서층은 Cu, Ta, 루비듐(Ru), Pd로 이루어지는 군에서 선택되는 어느 하나, 제2강자성층은 니켈철(NiFe) 또는 코발트철(CoFe), 반강자성층은 IrMn, NiO, FeMn, PtMn으로 이루어지는 군에서 선택되는 어느 하나, 상지층은 탄탈륨(Ta)또는 티타늄(Ti)으로 구성되는 것을 특징으로 하는 초상자성 나노입자 액적의 자화율 측정방법
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제1항에 있어서, 상기 평면 홀 저항센서의 제1암의 양단의 전류 전극 또는 상기 제2암의 전압전극은 탄탈륨(Ta)층, 탄탈륨층 상부에 적층된 Au, Cu, Ag로 이루어지는 군에서 선택되는 어느 하나로 구성되는 것을 특징으로 하는 초상자성 나노입자 액적의 자화율 측정방법
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제1항에 있어서, 상기 미세유로 채널은 연속상유체 및 상기 연속상유체가 이동하는 미세유로 채널;자성유체 및 상기 자성유체가 이동하는 미세유로 채널; 및상기 두 채널이 만나는 지점에서 형성되는 초상자성 나노입자 액적 및 형성된 상기 액적이 이동하는 미세유로 채널로 구성되는 T자형 미세유로 채널인 것을 특징으로 하는 초상자성 나노입자 액적의 자화율 측정방법
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제1항에 있어서, 상기 미세유로 채널은 연속상유체가 이동하는 미세유로 채널에 연속상유체를 주입시키는 제1주입구, 자성유체가 이동하는 미세유로 채널에 자성유체를 주입시키는 제2주입구, 연속상유체와 자성유체 액적이 활성접합부 상부를 통과한 후 칩 외부로 배출되는 배출구를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 초상자성 나노입자 액적의 자화율 측정방법
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제5항에 있어서, 상기 연속상 유체는 폴리에틸렌글리콜(polyethylene glycol) 및 소듐도데실설파이트(Sodium dodecylsulfate)의 혼합용액인 것을 특징으로 하는 초상자성 나노입자 액적의 자화율 측정방법
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제5항에 있어서, 상기 자성유체는 유기용매에 초상자성 나노 비드를 분산시킨 것을 특징으로 하는 초상자성 나노입자 액적의 자화율 측정방법
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제8항에 있어서, 상기 유기용매는 헥사데칸인 것을 특징으로 하는 초상자성 나노입자 액적의 자화율 측정방법
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제5항에 있어서, 상기 미세유로 채널의 연속상유체 및 자성유체는 공기압을 조절하여 T자형 교차지점에서 자성유체 액적의 크기를 조절할 수 있는 것을 특징으로 하는 초상자성 나노입자 액적의 자화율 측정방법
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