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온도측정장치로부터 센서구동신호를 수신하도록 되어 있는 안테나; 상기 수신한 센서구동신호를 통해 표면탄성파를 발생시키는 IDT; 상기 발생된 표면탄성파를 전파시키는 압전기판; 상기 전파된 표면탄성파를 반사시켜 상기 IDT로 다시 전파하도록 되어 있는 음향 반사판; 및상기 표면탄성파와 반사된 반사파를 전파하기 위한 지연선을 포함하며,상기 IDT는 단일전극 형태이고, 상기 음향 반사판은 빗살형 구조인 것을 특징으로 하는,무전원 비접촉 표면탄성파 온도센서
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제1항에 있어서,상기 온도측정장치는, 안테나; 및 처리부를 포함하며,상기 처리부는,서로 다른 중심주파수를 갖는 복수 개의 센서구동신호를 표면탄성파 온도센서에게 상기 안테나를 통해 순차적으로 송신하고, 상기 표면탄성파 온도센서로부터 반사된 상기 복수 개의 센서구동신호에 대한 복수 개의 반사신호를 상기 안테나를 통해 수신하도록 되어 있고, 상기 복수 개의 반사신호 중 가장 큰 최대 반사신호를 기초로 온도를 결정하도록 되어 있는 것을 특징으로 하는,무전원 비접촉 표면탄성파 온도센서
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서로 다른 중심주파수를 갖는 복수 개의 센서구동신호를 표면탄성파 온도센서에게 송신하고, 상기 표면탄성파 온도센서로부터 반사된 상기 복수 개의 센서구동신호에 대한 복수 개의 반사신호를 수신하는 송수신 단계; 및상기 복수 개의 반사신호 중 가장 큰 최대 반사신호를 기초로 온도를 결정하는 단계를 포함하는,온도측정방법
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제3항에 있어서, 상기 송수신 단계는, 상기 센서구동신호의 주파수를 제1 주파수에서부터 제2 주파수까지 스윕하는 단계를 포함하며,상기 결정하는 단계는, 상기 복수 개의 반사신호 각각의 크기에 관한 값을 측정하는 단계; 상기 복수 개의 반사신호 중 가장 큰 상기 최대 반사신호의 중심주파수를 상기 표면탄성파 온도센서의 공진주파수로 결정하는 단계; 및 상기 결정된 공진주파수에 대응하는 온도를 결정하는 단계를 포함하는,온도측정방법
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제3항에 있어서, 상기 표면탄성파 온도센서는, 안테나; IDT; 압전기판; 음향 반사판; 및 지연선을 포함하며,상기 IDT는 단일전극 형태이고, 상기 음향 반사판은 빗살형 구조인 것을 특징으로 하는,온도측정방법
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안테나; 및 처리부를 포함하며,상기 처리부는,서로 다른 중심주파수를 갖는 복수 개의 센서구동신호를 표면탄성파 온도센서에게 상기 안테나를 통해 순차적으로 송신하고, 상기 표면탄성파 온도센서로부터 반사된 상기 복수 개의 센서구동신호에 대한 복수 개의 반사신호를 상기 안테나를 통해 수신하도록 되어 있고,상기 복수 개의 반사신호 중 가장 큰 최대 반사신호를 기초로 온도를 결정하도록 되어 있는,온도측정장치
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제6항에 있어서, 상기 처리부는, 상기 센서구동신호의 주파수를 제1 주파수에서부터 제2 주파수까지 스윕하도록 되어 있고, 상기 복수 개의 반사신호 각각의 크기에 관한 값을 측정하도록 되어 있으며,상기 복수 개의 반사신호 중 가장 큰 상기 최대 반사신호의 중심주파수를 상기 표면탄성파 온도센서의 공진주파수로 결정하도록 되어 있고,상기 결정된 공진주파수에 대응하는 온도를 측정온도인 것으로 결정하도록 되어 있는,온도측정장치
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제7항에 있어서, 상기 복수 개의 반사신호 각각의 크기는, 상기 복수 개의 반사신호 각각의 시간 축에서의 최대값을 기초로 결정되는, 온도측정장치
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제8항에 있어서, 상기 시간 축에서의 최대값은 피크-앤-홀드(peak-and-hold) 방법을 이용하여 측정되는, 온도측정장치
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제7항에 있어서, 상기 복수 개의 반사신호 각각의 크기는, 상기 복수 개의 반사신호 각각의 에너지의 크기인, 온도측정장치
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제6항에 있어서, 상기 표면탄성파 온도센서의 공진주파수는 상기 표면탄성파 온도센서의 온도에 따라 결정되는 것을 특징으로 하는, 온도측정장치
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제7항에 있어서,상기 처리부는, 상기 복수 개의 센서구동신호가 400MHz 내지 440MHz의 중심주파수를 갖는, 온도측정장치
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제6항에 있어서, 상기 표면탄성파 온도센서는, 안테나; IDT; 압전기판; 음향 반사판; 및 지연선을 포함하며,상기 IDT는 단일전극 형태이고, 상기 음향 반사판은 빗살형 구조인 것을 특징으로 하는,온도측정장치
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