| 1 |
1
베이스기판 상에 PMMA(Poly(methyl methacrylate))층을 형성하는 단계;상기 PMMA층에 관통 패턴을 형성하는 단계; 및상기 PMMA층을 상기 베이스기판으로부터 분리하는 단계;를 포함하는,PMMA 섀도우마스크 제조방법
|
| 2 |
2
제1항에 있어서,상기 베이스기판은 산화 실리콘 또는 실리콘을 포함하는, PMMA 섀도우마스크 제조방법
|
| 3 |
3
제2항에 있어서,상기 분리하는 단계는, 상기 산화 실리콘 또는 실리콘을 용해시킬 수 있는 액체에 상기 베이스기판을 침지하여 상기 PMMA층을 상기 베이스기판으로부터 분리하는 단계인, PMMA 섀도우마스크 제조방법
|
| 4 |
4
제3항에 있어서,상기 액체는 수산화칼륨 수용액, 수산화나트륨 수용액 또는 불산 수용액인, PMMA 섀도우마스크 제조방법
|
| 5 |
5
제3항에 있어서,상기 관통 패턴은 일 방향으로 연장된 관통 패턴이고, 상기 베이스기판을 상기 액체에 침지할 시, 상기 일 방향이 상기 액체 표면에 수직인 평면 내에 위치하도록 침지하는, PMMA 섀도우마스크 제조방법
|
| 6 |
6
제5항에 있어서,상기 PMMA층을 상기 액체에서 꺼낼 시, 상기 일 방향이 상기 액체 표면에 수직인 평면 내에 위치하도록 꺼내는, PMMA 섀도우마스크 제조방법
|
| 7 |
7
제3항에 있어서,상기 베이스기판으로부터 분리된 상기 PMMA층을 초순수에 침지하는 단계를 더 포함하는, PMMA 섀도우마스크 제조방법
|
| 8 |
8
제1항 내지 제7항 중 어느 한 항에 있어서,상기 관통 패턴을 형성하는 단계는, 전자 빔 리소그래피법을 이용하는 단계인, PMMA 섀도우마스크 제조방법
|
| 9 |
9
제1항 내지 제7항 중 어느 한 항에 있어서,상기 관통 패턴을 형성하는 단계와 상기 분리하는 단계 사이에, 상기 PMMA층의 상기 관통 패턴이 형성되지 않은 영역에 점착성 테이프를 부착하는 단계를 더 포함하는, PMMA 섀도우마스크 제조방법
|
| 10 |
10
제9항에 있어서,상기 점착성 테이프는 상기 PMMA층의 상기 관통 패턴이 상기 점착성 테이프로 덮이지 않도록 하는 개구를 갖는, PMMA 섀도우마스크 제조방법
|
| 11 |
11
제10항에 있어서,상기 관통 패턴은 일 방향으로 연장된 관통 패턴이고, 상기 개구는 장축과 단축을 갖는 직사각형 형상이며,상기 점착성 테이프를 부착하는 단계는, 상기 개구의 상기 장축이 상기 일 방향과 교차하도록 상기 PMMA층에 상기 점착성 테이프를 부착하는 단계인, PMMA 섀도우마스크 제조방법
|
| 12 |
12
제9항에 있어서,상기 점착성 테이프는 점착면의 적어도 일부가 상기 PMMA층의 외측까지 연장된, PMMA 섀도우마스크 제조방법
|
| 13 |
13
제1항 내지 제7항 중 어느 한 항의 제조방법으로 제조된 PMMA 섀도우마스크를 기판 상에 배치하는 단계;상기 기판의 상기 PMMA 섀도우마스크의 관통 패턴에 대응하는 부분 및 상기 PMMA 섀도우마스크 상에 금속층을 형성하는 단계; 및상기 PMMA 섀도우마스크를 상기 기판으로부터 이격시키는 단계;를 포함하는,금속 패턴 형성방법
|
| 14 |
14
관통 패턴을 갖는 PMMA층;상기 PMMA층의 상기 관통 패턴이 형성되지 않은 영역에서 상기 PMMA층과 컨택하는 점착성 테이프;를 구비하는,PMMA 섀도우마스크
|
| 15 |
15
제14항에 있어서,상기 PMMA층의 상기 점착성 테이프와 접촉하는 면의 반대면은, 상기 PMMA 섀도우마스크를 이용하여 패터닝된 금속층이 형성될 대상면에 분리 가능하도록 배치될 면인, PMMA 섀도우마스크
|
| 16 |
16
제14항에 있어서,상기 점착성 테이프는 상기 PMMA층의 상기 관통 패턴이 상기 점착성 테이프로 덮이지 않도록 하는 개구를 갖는, PMMA 섀도우마스크
|
| 17 |
17
제16항에 있어서,상기 관통 패턴은 일 방향으로 연장된 관통 패턴이고, 상기 개구는 장축과 단축을 갖는 직사각형 형상이며,상기 점착성 테이프는, 상기 개구의 상기 장축이 상기 일 방향과 교차하도록 상기 PMMA층에 컨택하는, PMMA 섀도우마스크
|
| 18 |
18
제16항에 있어서,상기 점착성 테이프는 점착면의 적어도 일부가 상기 PMMA층의 외측까지 연장된, PMMA 섀도우마스크
|
