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진공 상태에서 플라즈마 챔버 내의 입자들에 대한 제1 촬상 영상을 입력받는 단계;상기 플라즈마 챔버 내에 가스가 주입되고 파워가 인가된 상태에서 상기 플라즈마 챔버 내에 존재하는 입자들에 대한 제2 촬상 영상을 입력받는 단계;상기 제1 촬상 영상 및 제2 촬상 영상에서 각각의 쉬스(sheath) 영역을 구성하는 픽셀들의 그레이 스케일 값을 이용하여, 상기 그레이 스케일 값에 따른 제1 입자수 분포 및 제2 입자수 분포를 각각 획득하는 단계;상기 그레이 스케일 값에 따른 제2 입자수 분포에 대해 상기 제1 입자수 분포를 차감하여 보정된 제2 입자수 분포를 획득하는 단계; 및상기 보정된 제2 입자수 분포를 이용하여 상기 쉬스 영역에 대한 이온 분포를 감시하는 단계를 포함하며,상기 진공 상태에 대한 제1 촬상 영상 내의 쉬스 영역은 플라즈마 상태에 의한 상기 제2 촬상 영상 내의 쉬스 영역과 대응하는 부분인 플라즈마 쉬스 내의 이온 분포 모니터링 방법
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청구항 1에 있어서,상기 보정된 제2 입자수 분포를 획득하는 단계는,상기 차감된 입자수 결과에 오프셋을 부가하는 플라즈마 쉬스 내의 이온 분포 모니터링 방법
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청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,상기 쉬스 영역에 대한 이온 분포를 감시하는 단계는,임의의 그레이 스케일 범위 내의 입자수를 이용하여 상기 쉬스 영역에 대한 이온의 분포를 감시하는 플라즈마 쉬스 내의 이온 분포 모니터링 방법
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청구항 3에 있어서,상기 임의의 그레이 스케일 범위는 아래의 수학식으로 정의되는 플라즈마 쉬스 내의 이온 분포 모니터링 방법:T1 ≤ 임의의 그레일 스케일 범위 ≤ T2여기서, T1 및 T2는 각각 상기 촬상 영상에 대한 최대 그레이 스케일 값의 17~23% 및 55~60%에 해당되는 값을 나타낸다
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청구항 1에 있어서,상기 제1 및 제2 촬상 영상은,상기 플라즈마 챔버 내의 상기 쉬스 영역을 포함하는 임의 공간에서 복원된 2차원 영상인 플라즈마 쉬스 내의 이온 분포 모니터링 방법
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진공 상태에서 플라즈마 챔버 내의 입자들에 대한 제1 촬상 영상과, 상기 플라즈마 챔버 내에 가스가 주입되고 파워가 인가된 상태에서 상기 플라즈마 챔버 내에 존재하는 입자들에 대한 제2 촬상 영상을 각각 입력받는 영상 입력부;상기 제1 촬상 영상 및 제2 촬상 영상에서 각각의 쉬스(sheath) 영역을 구성하는 픽셀들의 그레이 스케일 값을 이용하여, 상기 그레이 스케일 값에 따른 제1 입자수 분포 및 제2 입자수 분포를 각각 획득하는 입자수 분포 획득부;상기 그레이 스케일 값에 따른 제2 입자수 분포에 대해 상기 제1 입자수 분포를 차감하여 보정된 제2 입자수 분포를 획득하는 입자수 분포 보정부; 및상기 보정된 제2 입자수 분포를 이용하여 상기 쉬스 영역에 대한 이온 분포를 감시하는 이온 분포 감시부를 포함하며,상기 진공 상태에 대한 제1 촬상 영상 내의 쉬스 영역은 플라즈마 상태에 의한 상기 제2 촬상 영상 내의 쉬스 영역과 대응하는 부분인 플라즈마 쉬스 내의 이온 분포 모니터링 장치
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청구항 6에 있어서,상기 입자수 분포 보정부는,상기 차감된 입자수 결과에 오프셋을 부가하는 플라즈마 쉬스 내의 이온 분포 모니터링 장치
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청구항 6 또는 청구항 7에 있어서,상기 이온 분포 감시부는,임의의 그레이 스케일 범위 내의 입자수를 이용하여 상기 쉬스 영역에 대한 이온의 분포를 감시하는 플라즈마 쉬스 내의 이온 분포 모니터링 장치
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청구항 8에 있어서,상기 임의의 그레이 스케일 범위는 아래의 수학식으로 정의되는 플라즈마 쉬스 내의 이온 분포 모니터링 장치:T1 ≤ 임의의 그레일 스케일 범위 ≤ T2여기서, T1 및 T2는 각각 상기 촬상 영상에 대한 최대 그레이 스케일 값의 17~23% 및 55~60%에 해당되는 값을 나타낸다
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청구항 6에 있어서,상기 제1 및 제2 촬상 영상은,상기 플라즈마 챔버 내의 상기 쉬스 영역을 포함하는 임의 공간에서 복원된 2차원 영상인 플라즈마 쉬스 내의 이온 분포 모니터링 장치
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