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레이저 광원, 공진기 및 광 스위치를 포함하는 분광 장치에 있어서,상기 공진기에 입력 레이저를 제공하는 레이저 광원;복수의 거울들 중 특정 거울을 탑재한 피에조에 특정 파형의 전압이 인가되면, 상기 특정 거울을 이동시키면서 상기 공진기의 공명 주파수가 해당하는 상기 입력 레이저의 주파수를 추적하는 공진기; 및상기 공진기의 공명 주파수가 상기 입력 레이저의 주파수에 일치될 때 상기 입력 레이저를 차단하는 광 스위치를 포함하고,상기 특정 파형의 전압은 시간에 따라 진폭은 증가하고 주파수는 감소하도록 하는 특정 함수에 의한 전압과 상기 특정 파형의 전압이 인가되기 직전까지 상기 피에조에 인가된 전압의 합에 의해 결정되는 분광 장치
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제1항에 있어서,상기 입력 레이저를 차단함과 동시에 상기 공진기에서 발생하는 감쇠 신호를 획득하는 광 검출기를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 분광 장치
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제1항에 있어서, 상기 복수의 거울들은상기 입력 레이저 중 반사된 제1 반사광 및 제2 반사광을 공간적으로 분리시키는 것을 특징으로 하는 분광 장치
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제3항에 있어서, 제1 반사광은 상기 복수의 거울들 중 제1 거울에 의해 반사되어 상기 레이저 광원으로 되돌아가는 반사광이고, 상기 제2 반사광은 상기 제1 거울을 통과하여 상기 레이저 광원으로 되돌아가는 상기 공진기의 공명 주파수 중 일부인 것을 특징으로 하는 분광 장치
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제1항에 있어서, 상기 공진기는상기 복수의 거울들의 개수 및 종류 중 적어도 하나에 따라 선형 공진기 또는 V-형 공진기 중 적어도 하나의 공진기로 사용되는 것을 특징으로 하는 분광 장치
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제5항에 있어서, 상기 선형 공진기는광축을 중심으로 서로 다른 각도만큼 기울어진, 서로 마주보는 두 개의 거울들을 포함하는 것을 특징으로 하는 분광 장치
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제5항에 있어서, 상기 V-형 공진기는상기 공진기의 길이와 동일한 곡률반경을 가지는 두 개의 거울을 포함하는 것을 특징으로 하는 분광 장치
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제7항에 있어서, 상기 V-형 공진기는상기 광 스위치가 광음향 변조기인 경우 상기 제1 반사광을 상기 레이저 광원에 제공하기 위한 1 개의 평면 거울을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 분광 장치
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제1항에 있어서, 상기 피에조는상기 레이저 광원의 반파장 이상의 거리만큼 상기 특정 거울을 이동시키는 것을 특징으로 하는 분광 장치
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레이저 광원, 공진기 및 광 스위치를 포함하는 분광 장치에서 실행되는 극미량 가스 분석 방법에 있어서,복수의 거울들 중 특정 거울을 탑재한 피에조에 특정 파형의 전압이 인가되면, 상기 특정 거울을 이동시키면서 상기 공진기의 공명 주파수가 상기 레이저 광원에 의한 입력 레이저의 주파수를 추적하는 단계;상기 공진기의 공명 주파수와 상기 입력 레이저의 주파수에 일치될 때 상기 피에조에 인가되는 전압 값을 고정시키고, 상기 입력 레이저의 수신을 차단하는 단계; 및상기 입력 레이저의 수신을 차단함과 동시에 상기 공진기에서 발생하는 감쇠 신호를 획득하여 분석하는 단계를 포함하고,상기 특정 파형의 전압은시간에 따라 진폭은 증가하고 주파수는 감소하도록 하는 특정 함수에 의한 전압과 상기 특정 파형의 전압이 인가되기 직전까지 상기 피에조에 인가된 전압의 합에 의해 결정되는 극미량 가스 분석 방법
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제11항에 있어서, 상기 공진기의 공명 주파수가 상기 레이저 광원에 의한 입력 레이저의 주파수를 추적하는 단계는상기 레이저 광원의 반파장 이상의 거리만큼 상기 특정 거울을 이동시키는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 극미량 가스 분석 방법
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제11항에 있어서, 상기 복수의 거울들은 광축을 중심으로 서로 다른 각도만큼 기울어진 서로 마주보는 두 개의 거울들을 포함하는 것을 특징으로 하는 극미량 가스 분석 방법
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제13항에 있어서, 상기 복수의 거울들은상기 입력 레이저 중 반사된 제1 반사광 및 제2 반사광을 공간적으로 분리시키는 것을 특징으로 하는 극미량 가스 분석 방법
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제14항에 있어서, 제1 반사광은 상기 복수의 거울들 중 제1 거울에 의해 반사되어 상기 레이저 광원으로 되돌아가는 반사광이고, 상기 제2 반사광은 상기 제1 거울을 통과하여 상기 레이저 광원으로 되돌아가는 상기 공진기의 공명 주파수 중 일부인 것을 특징으로 하는 극미량 가스 분석 방법
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제13항에 있어서, 상기 복수의 거울들은광음향 변조기에 의해 광 스위칭이 수행되는 경우 상기 제1 반사광을 상기 레이저 광원에 제공하기 위한 1 개의 평면 거울을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 극미량 가스 분석 방법
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