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광학 현미경을 이용하여 촬상된 증착 박막의 표면에 대한 촬상 영상을 입력받되, 상기 광학 현미경에 인가되는 복수의 소스 파워 별로 상기 촬상 영상을 각각 입력받는 단계;상기 촬상 영상에서 각각의 그레이 스케일 값에 해당하는 픽셀들의 개수를 이용하여, 각 그레이 스케일 값에서의 누적 입자수를 나타내는 누적 입자수 분포를 획득하는 단계;상기 촬상 영상별로 획득된 누적 입자수 분포들 중에서, 적어도 두 개의 분포도에서 누적 입자수의 겹침이 최초로 발생하는 그레이 스케일 값의 바로 이전에 해당하는 그레이 스케일 값을 탐색하는 단계; 및상기 탐색된 그레이 스케일 값에서의 누적 입자수를 상기 촬상 영상별로 획득하여 상기 증착 박막의 표면 거칠기를 상기 촬상 영상별로 연산하는 단계를 포함하는 증착 박막의 표면 거칠기 측정방법
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청구항 1에 있어서,상기 누적 입자수는,상기 촬상 영상에서 최소 그레이 스케일 값인 0 부터 상기 각 그레이 스케일 값까지 누적된 입자수인 증착 박막의 표면 거칠기 측정방법
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청구항 1에 있어서,상기 증착 박막의 표면 거칠기를 연산하는 단계는,상기 누적 입자수에 스케일 인자를 곱하여 상기 증착 박막의 표면 거칠기를 연산하는 증착 박막의 표면 거칠기 측정방법
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청구항 1에 있어서,상기 광학 현미경은 레퍼런스 빔과 오브젝트 빔 중 오브젝트 빔만을 이용하여 상기 촬상 영상을 획득하는 증착 박막의 표면 거칠기 측정방법
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광학 현미경을 이용하여 촬상된 증착 박막의 표면에 대한 촬상 영상을 입력받는 단계; 및상기 촬상 영상을 구성하는 각 픽셀들의 그레이 스케일 값을 이용하여 상기 촬상 영상의 x축 또는 y축 방향에 대한 표면 거칠기의 프로파일을 획득하는 단계를 포함하며,상기 표면 거칠기의 프로파일을 획득하는 단계는,아래의 수학식을 이용하여 획득하는 증착 박막의 표면 거칠기 측정방법:여기서, Rj는 상기 촬상 영상에서 y축 방향으로의 j번째 픽셀층에 대한 표면 거칠기 값, 는 상기 j번째 픽셀층 상에 x축 방향으로 존재하는 m개의 픽셀들 중 i번째 픽셀에 대한 그레이 스케일 값, 는 의 최대 그레이 스케일 값(255)을 통해 수정된 그레이 스케일 값, 는 상기 j번째 픽셀층 상에 x축 방향으로 존재하는 m개의 픽셀에 대한 그레이 스케일 값의 평균을 의미한다
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광학 현미경을 이용하여 촬상된 증착 박막의 표면에 대한 촬상 영상을 입력받되, 상기 광학 현미경에 인가되는 복수의 소스 파워 별로 상기 촬상 영상을 각각 입력받는 영상 입력부;상기 촬상 영상에서 각각의 그레이 스케일 값에 해당하는 픽셀들의 개수를 이용하여, 각 그레이 스케일 값에서의 누적 입자수를 나타내는 누적 입자수 분포를 획득하는 입자수분포 획득부;상기 촬상 영상별로 획득된 누적 입자수 분포들 중에서, 적어도 두 개의 분포도에서 누적 입자수의 겹침이 최초로 발생하는 그레이 스케일 값의 바로 이전에 해당하는 그레이 스케일 값을 탐색하는 스케일값 선택부; 및상기 탐색된 그레이 스케일 값에서의 누적 입자수를 상기 촬상 영상별로 획득하여 상기 증착 박막의 표면 거칠기를 상기 촬영 영상별로 연산하는 표면거칠기 연산부를 포함하는 증착 박막의 표면 거칠기 측정장치
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청구항 7에 있어서,상기 누적 입자수는,상기 촬상 영상에서 최소 그레이 스케일 값인 0 부터 상기 각 그레이 스케일 값까지 누적된 입자수인 증착 박막의 표면 거칠기 측정장치
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청구항 7에 있어서,상기 표면거칠기 연산부는,상기 누적 입자수에 스케일 인자를 곱하여 상기 증착 박막의 표면 거칠기를 연산하는 증착 박막의 표면 거칠기 측정장치
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청구항 7에 있어서,상기 광학 현미경은 레퍼런스 빔과 오브젝트 빔 중 오브젝트 빔만을 이용하여 상기 촬상 영상을 획득하는 증착 박막의 표면 거칠기 측정장치
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광학 현미경을 이용하여 촬상된 증착 박막의 표면에 대한 촬상 영상을 입력받는 영상 입력부; 및상기 촬상 영상을 구성하는 각 픽셀들의 그레이 스케일 값을 이용하여 상기 촬상 영상의 x축 또는 y축 방향에 대한 표면 거칠기의 프로파일을 획득하는 프로파일 획득부를 포함하며,상기 프로파일 획득부는,아래의 수학식을 이용하여 획득하는 증착 박막의 표면 거칠기 측정장치:여기서, Rj는 상기 촬상 영상에서 y축 방향으로의 j번째 픽셀층에 대한 표면 거칠기 값, 는 상기 j번째 픽셀층 상에 x축 방향으로 존재하는 m개의 픽셀들 중 i번째 픽셀에 대한 그레이 스케일 값, 는 의 최대 그레이 스케일 값(255)을 통해 수정된 그레이 스케일 값, 는 상기 j번째 픽셀층 상에 x축 방향으로 존재하는 m개의 픽셀에 대한 그레이 스케일 값의 평균을 의미한다
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