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체내로 삽입되며, 중공 형상을 이루는 일정 길이의 가이드 니들;상기 가이드 니들과 연결되는 저장부;상기 체내의 조직을 일정량으로 채취하고, 상기 채취되는 조직을 상기 가이드 니들을 통해 상기 저장부로 이동시키는 조직 채취부; 및상기 저장부에 저장되는 조직에 대한 조직 검사를 실시하는 검사부를 포함하고,상기 가이드 니들에는 상기 조직에 대한 전기적 신호를 취득하기 위한 전극 및 상기 조직에 대한 광학적 신호를 취득하기 위한 광섬유 중 적어도 하나가 배치되는 것을 특징으로 하는 실시간 병변조직 진단용 체내 삽입용 프로브
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제 1항에 있어서,상기 가이드 니들은 금속으로 형성되고, 상기 체내로 삽입되는 상기 가이드 니들의 단부를 제외한 영역은 절연 피복되고,상기 가이드 니들의 내부에는 상기 가이드 니들의 내경 보다 작은 외경을 형성하는 막힘 방지용 침이 배치되고,상기 가이드 니들의 단부와 상기 막힘 방지용 침은 상기 조직에 대한 전기적 신호를 취득하는 서로 다른 전극인 것을 특징으로 하는 실시간 병변조직 진단용 체내 삽입용 프로브
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제 1항에 있어서,상기 가이드 니들은 금속으로 형성되고, 상기 체내로 삽입되는 상기 가이드 니들의 단부를 제외한 영역은 절연 피복되고,상기 가이드 니들의 내부에는 상기 가이드 니들의 내경 보다 작은 외경을 형성하는 막힘 방지용 침이 배치되고,상기 가이드 니들 또는 상기 막힘 방지용 침은, 다수의 서로 다른 전극들을 갖고, 상기 전극들은 상기 막힘 방지용 침의 표면에 배치되어 외부에 노출되고,상기 전극은 일정의 최소선폭으로 형성되어, 상기 조직에 대한 전기적 신호를 취득하는 것을 특징으로 하는 실시간 병변조직 진단용 체내 삽입용 프로브
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제 3항에 있어서,상기 전극들은 상기 가이드 니들 또는 상기 막힘 방지용 침의 표면으로부터 동일한 높이에 형성되거나 상기 표면으로부터 서로 상이한 높이에 형성되고,상기 전극들은 서로 이격되도록 배치되고,상기 전극들 표면의 일부분 또는 전체가 절연물질로 코팅되고,상기 전극들로의 전기적 신호의 인가 및 측정이 동시에 또는 개별적으로 실시되고, 상기 조직에 대한 전기적 신호를 취득하는 것을 특징으로 하는 실시간 병변조직 진단용 체내 삽입용 프로브
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제 1항에 있어서,상기 가이드 니들의 내부에는,상기 가이드 니들의 내경 보다 작은 외경을 갖는 내부 실린더가 배치되고,상기 내부 실린더는, 상기 조직에 대한 광학적 신호를 취득하는 광섬유로 형성되는 것을 특징으로 하는 실시간 병변조직 진단용 체내 삽입용 프로브
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제 1항에 있어서,상기 가이드 니들의 내부에는,상기 가이드 니들의 내경 보다 작은 외경을 갖는 내부 실린더가 배치되고,상기 내부 실린더의 둘레에는 상기 조직에 대한 전기적 신호를 취득하는 서로 다른 전극이 설치되는 것을 특징으로 하는 실시간 병변조직 진단용 체내 삽입용 프로브
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제 5항 또는 제 6항에 있어서,상기 가이드 니들 또는 상기 내부 실린더에는 다수의 서로 다른 전극들을 갖고, 상기 전극은 일정의 최소선폭으로 형성되어, 상기 조직에 대한 전기적 신호를 취득하는 것을 특징으로 하는 실시간 병변조직 진단용 체내 삽입용 프로브
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제 7항에 있어서,상기 전극들은 상기 가이드 니들 또는 상기 내부 실린더의 표면으로부터 동일한 높이에 형성되거나 상기 표면으로부터 서로 상이한 높이에 형성되고,상기 전극들은 서로 이격되도록 배치되고,상기 전극들 표면의 일부분 또는 전체가 절연물질로 코팅되고,상기 전극들로의 전기적 신호의 인가 및 측정이 동시에 또는 개별적으로 실시되고, 상기 조직에 대한 전기적 신호를 취득하는 것을 특징으로 하는 실시간 병변조직 진단용 체내 삽입용 프로브
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제 1항에 있어서,상기 조직 채취부는,상기 가이드 니들의 내부 공간과 상기 저장부를 연결하는 조직 이동 라인과,상기 가이드 니들의 내부 및 상기 조직 이동 라인의 내부에 배치되며, 일단에 상기 체내의 조직을 일정량으로 채취하는 조직 채취 부재가 설치되는 와이어와,상기 와이어의 타단에 연결되어 상기 와이어를 당기거나 풀어 상기 체내의 조직을 상기 저장부에 위치시키는 구동부를 구비하는 것을 특징으로 하는 실시간 병변조직 진단용 체내 삽입용 프로브
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제 1항에 있어서,상기 조직 채취부는
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제 1항에 있어서,상기 조직 채취부는
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제 1항에 있어서,상기 프로브는, 엑추에이터를 더 구비하되,상기 엑추에이터는, 일정을 공압을 사용하여 상기 저장부에 저장되는 조직을 고정하는 채널의 단면적을 가변시키는 것을 특징으로 하는 실시간 병변조직 진단용 체내 삽입용 프로브
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제 10항 또는 제 11항에 있어서,상기 조직 이동 라인에는,상기 조직을 세포 단위로 분해하는 약물이 일정량 투입되는 약물 투입 라인이 더 연결되는 것을 특징으로 하는 실시간 병변조직 진단용 체내 삽입용 프로브
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제 13항에 있어서,상기 조직 이동 라인 상에서, 상기 약물 투입 라인의 전단에는,상기 저장부에 저장되는 조직이 역류되는 것을 방지하기 위한 역류 방지 밸브가 더 설치되는 것을 특징으로 하는 실시간 병변조직 진단용 체내 삽입용 프로브
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제 1항에 있어서,상기 검사부는전기적 신호 검사부와, 광학적 신호 검사부를 구비하되,상기 전기적 신호 검사부는,상기 저장부의 둘레의 제 1위치에 설치되며 상기 저장부에 저장된 조직에 전기적 신호를 송신하는 전기적 신호 송신부와, 상기 저장부의 둘레의 제 2위치에 설치되며 상기 조직의 전기적 임피던스 및 전류를 포함하는 전기적 신호를 수신 받는 전기적 신호 수신부를 구비하고,상기 광학적 신호 검사부는,상기 저장부의 둘레의 제 3위치에 설치되며 상기 저장부에 저장된 조직에 광학적 신호를 송신하는 전기적 신호 송신부와, 상기 저장부의 둘레의 제 4위치에 설치되며 상기 조직의 굴절률 및 광량의 세기를 포함하는 광학적 신호를 수신 받는 광학적 신호 수신부를 구비하는 것을 특징으로 하는 실시간 병변조직 진단용 체내 삽입용 프로브
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중공 형상의 외부침;상기 외부침의 중공에 끼워져 배치되며 상기 외부침의 길이 방향을 따라 수평 이동이 가능하고, 끝단부가 뾰족하게 형성되는 내부침; 및상기 내부침에 형성되어 조직을 일정량으로 채취하는 조직 채취부를 포함하고,상기 내부침의 외측 둘레에는 하나 이상의 전극이 배치되는 것을 특징으로 하는 실시간 병변조직 진단용 체내 삽입용 프로브
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17
제 16항에 있어서,상기 조직 채취부는,상기 내부침의 둘레에 일정 깊이의 홈 형상으로 헝성되는 것을 특징으로 하는 실시간 병변조직 진단용 체내 삽입용 프로브
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제 16항에 있어서,상기 전극은 상기 외측 둘레와 상기 조직 채취부의 표면에 밀착되도록 배치되는 것을 특징으로 하는 실시간 병변조직 진단용 체내 삽입용 프로브
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a) 폴리머를 증착하여, 서로 다른 전극 패턴이 형성된 포토마스크(photomask)를 형성하는 단계b) 막힘 방지용 침 또는 내부 실린더를 고정하고, 상기 막힘 방지용 침 또는 내부 실린더에 포토레지스트(photoresist)를 코팅하는 단계; 및c) 포토레지스트(photoresist)가 코팅된 상기 막힘 방지용 침 또는 내부 실린더와 상기 포토마스크(photomask)를 이용하여 곡면 형태의 구조에 전극을 형성하는 단계를 포함하는 전극 제조방법
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제 20항에 있어서,상기 a) 단계는,실리콘 기판 위에 질화물을 증착하는 단계와,상기 질화물에 포토마스크(photomask)의 멤브레인 부분 패턴을 형성시키는 단계와,상기 실리콘 기판의 두께 방향에 대해 일정한 깊이만큼 에칭하는 단계와,상기 질화물과 상기 실리콘 기판 위에 제 1페릴린(Parylene)을 증착하는 단계와,상기 제 1페릴린(Parylene) 위에 크롬을 증착하고, 상기 서로 다른 전극의 패턴을 형성시키는 단계와,상기 크롬 위에 제 2페릴린(Parylene)을 증착하는 단계와,상기 멤브레인 부분의 상기 제 1페릴린(Parylene)과 상기 제 2페릴린(Parylene)을 에칭하는 단계와,상기 실리콘 기판의 두께 방향의 남은 깊이 전부를 에칭하는 단계; 및상기 질화물을 제거하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 전극 제조방법
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제 20항에 있어서,상기 b) 단계는,실리콘 기판 위에 질화물을 증착하고, 상기 질화물에 상기 막힘 방지용 침 또는 내부 실린더의 고정 몰드 패턴을 형성시키는 단계와,상기 실리콘 기판의 두께 방향에 대해 일정한 깊이만큼 에칭하여 상기 막힘 방지용 침 또는 내부 실린더의 고정 몰드를 형성시키는 단계와,상기 고정 몰드에 상기 막힘 방지용 침 또는 내부 실린더를 위치시켜 고정하는 단계와,상기 막힘 방지용 침 또는 내부 실린더에 포토레지스트(photoresist)를 코팅하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 전극 제조방법
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제 20항에 있어서,상기 c) 단계는,상기 고정 몰드에 고정된 상기 막힘 방지용 침 또는 내부 실린더와 상기 포토마스크(photomask)를 정렬시켜 접촉시키는 단계와,상기 포토마스크(photomask)를 통해 상기 포토레지스트(photoresist)에 빛을 조사하여, 상기 막힘 방지용 침 또는 내부 실린더의 곡면에서 원하는 위치에 상기 서로 다른 전극의 패턴을 형성하는 단계와,상기 패턴이 형성된 후 금속을 증착하고 상기 포토레지스트(photoresist)를 제거하여 상기 전극을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 전극 제조방법
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