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태양 전지 제조 장치

  • 기술번호 : KST2015011462
  • 담당센터 : 대구기술혁신센터
  • 전화번호 : 053-550-1450
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 칼코겐 물질을 포함하는 태양 전지를 연속으로 제조할 수 있는 태양 전지 제조 장치에 관한 것으로서, 내부에 대상물을 수용할 수 있는 챔버; 상기 챔버 내부에 설치되고, 상기 대상물에 칼코겐 성분이 균일하게 분산된 기체 상태로 도포될 수 있도록 미세기공이 형성될 수 있고, 유동 상태의 칼코겐 소스를 수용하는 칼코겐 수용 공간이 형성되는 미세 기공체 용기; 및 상기 챔버 외부에 설치되고, 상기 미세 기공체 용기에 유동 상태의 칼코겐 소스를 연속적으로 공급할 수 있는 칼코겐 연속 공급장치;를 포함할 수 있다.
Int. CL H01L 31/18 (2006.01) H01L 31/04 (2014.01)
CPC H01L 31/18(2013.01) H01L 31/18(2013.01)
출원번호/일자 1020130085351 (2013.07.19)
출원인 영남대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1470550-0000 (2014.12.02)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20141212) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2013.07.19)
심사청구항수 15

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 영남대학교 산학협력단 대한민국 경상북도 경산시

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 전찬욱 대한민국 서울특별시 중랑구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김남식 대한민국 서울특별시 서초구 남부순환로***길 *-*, *층 (양재동, 가람빌딩)(율민국제특허법률사무소)
2 한윤호 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로**길 **(삼성동) 명지빌딩, *층(선정국제특허법률사무소)
3 양기혁 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로**길 **(삼성동) 명지빌딩, *층(선정국제특허법률사무소)
4 이인행 대한민국 서울특별시 서초구 남부순환로***길 *-*, *층 (양재동, 가람빌딩)(율민국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 영남대학교 산학협력단 대한민국 경상북도 경산시
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2013.07.19 수리 (Accepted) 1-1-2013-0652896-82
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.03.10 수리 (Accepted) 4-1-2014-5029868-88
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.03.26 수리 (Accepted) 4-1-2014-5037590-23
4 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2014.04.30 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
5 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2014.06.11 수리 (Accepted) 9-1-2014-0047369-06
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2014.07.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0491971-13
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2014.09.11 수리 (Accepted) 1-1-2014-0859875-12
8 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2014.09.11 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2014-0859876-57
9 등록결정서
Decision to grant		 2014.09.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0670781-33
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.11.03 수리 (Accepted) 4-1-2017-5175631-14
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.10.23 수리 (Accepted) 4-1-2019-5220555-67
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
내부에 대상물을 수용할 수 있는 챔버;상기 챔버에 설치되고, 상기 대상물에 칼코겐 성분이 균일하게 분산된 기체 상태로 도포될 수 있도록 미세기공이 형성될 수 있고, 유동 상태의 칼코겐 소스를 수용하는 칼코겐 수용 공간이 형성되는 미세 기공체 용기; 및상기 미세 기공체 용기에 유동 상태의 칼코겐 소스를 연속적으로 공급할 수 있는 칼코겐 연속 공급장치;를 포함하고,상기 대상물은, 태양 전지용 기판이고,상기 칼코겐 소스는, 셀레늄(Se) 또는 황(S)을 포함하며,상기 미세 기공체 용기는, 1
2 2
제 1 항에 있어서,상기 칼코겐 연속 공급장치는,상기 미세 기공체 용기 내부에 유동 상태의 칼코겐 소스를 공급할 수 있도록 상기 미세 기공체 용기에 설치되는 칼코겐 소스 공급관; 및상기 칼코겐 소스 공급관에 유동 상태의 칼코겐 소스를 공급할 수 있는 액상 칼코겐 저장소;를 포함하는, 태양 전지 제조 장치
3 3
제 1 항에 있어서,상기 칼코겐 연속 공급장치는,상기 미세 기공체 용기 내부에 액체 상태의 칼코겐 소스를 공급할 수 있도록 일단부가 상기 미세 기공체 용기의 수용된 액체 상태의 칼코겐 소스의 수용 수면 이상의 높이에 연결되어 설치되는 칼코겐 소스 액상 공급관;상기 칼코겐 소스 액상 공급관에 설치되고, 상기 칼코겐 소스가 액체 상태를 유지할 수 있도록 상기 칼코겐 소스 액상 공급관을 가열하는 공급관 히터;액체 상태의 상기 칼코겐 소스를 저장하고, 저장된 액체 상태의 상기 칼코겐 소스의 저장 수면 이하의 높이에 상기 칼코겐 소스 액상 공급관의 타단부가 설치되며, 상기 칼코겐 소스 액상 공급관에 액체 상태의 칼코겐 소스를 공급하는 액상 칼코겐 저장소; 및상기 액상 칼코겐 저장소에 설치되고, 상기 칼코겐 소스가 액체 상태를 유지할 수 있도록 상기 액상 칼코겐 저장소를 가열하는 저장소 히터;를 포함하는, 태양 전지 제조 장치
4 4
제 1 항에 있어서,상기 칼코겐 연속 공급장치는,상기 미세 기공체 용기 내부에 기체 상태의 칼코겐 소스를 공급할 수 있도록 일단부가 상기 미세 기공체 용기에 연결되어 설치되는 칼코겐 소스 기상 공급관;상기 칼코겐 소스 기상 공급관에 설치되고, 상기 칼코겐 소스가 기체 상태를 유지할 수 있도록 상기 칼코겐 소스 기상 공급관을 가열하는 공급관 히터;기체 상태의 상기 칼코겐 소스 및 액체 상태의 상기 칼코겐 소스를 저장하고, 저장된 액체 상태의 상기 칼코겐 소스의 저장 수면 이상의 높이에 상기 칼코겐 소스 기상 공급관의 타단부가 설치되며, 상기 칼코겐 소스 기상 공급관에 기체 상태의 칼코겐 소스를 공급하는 기상 칼코겐 저장소; 및상기 기상 칼코겐 저장소에 설치되고, 상기 칼코겐 소스가 기체 상태를 유지할 수 있도록 상기 기상 칼코겐 저장소를 가열하는 저장소 히터;를 포함하는, 태양 전지 제조 장치
5 5
제 1 항에 있어서,상기 미세 기공체 용기는, 평평한 형상의 수평 바닥면에 칼코겐 통과면이 형성되는 수평 박스형 용기인, 태양 전지 제조 장치
6 6
제 5 항에 있어서,상기 대상물을 수평한 상태로 이송할 수 있는 수평형 이송 로울러;를 더 포함하는, 태양 전지 제조 장치
7 7
제 1 항에 있어서,상기 미세 기공체 용기는, 대상물 대향 경사각을 갖는 적어도 하나의 측벽면에 칼코겐 통과면이 형성되는 수직 박스형 용기인, 태양 전지 제조 장치
8 8
제 7 항에 있어서,상기 대상물을 대향 경사각을 갖는 경사진 상태로 이송할 수 있는 경사형 이송 로울러;를 더 포함하는, 태양 전지 제조 장치
9 9
제 1 항에 있어서,상기 미세 기공체 용기는, 수평 회전축을 중심으로 회전될 수 있고, 그 내경면과 외경면에 칼코겐 통과면이 형성되는 수평 드럼형 용기인, 태양 전지 제조 장치
10 10
제 9 항에 있어서,상기 대상물을 수평한 상태로 이송할 수 있는 수평형 이송 로울러;를 더 포함하는, 태양 전지 제조 장치
11 11
제 1 항에 있어서,상기 미세 기공체 용기의 내부에 설치되어 유동 상태의 상기 칼코겐 소스를 가열하는 용기 히터;를 더 포함하는, 태양 전지 제조 장치
12 12
제 1 항에 있어서,상기 챔버 내부에 설치되고, 상기 대상물을 가열하는 대상물 히터;를 더 포함하는, 태양 전지 제조 장치
13 13
제 12 항에 있어서,상기 대상물 히터는,상기 대상물을 제 1 온도로 1차 가열하는 예열 히터; 및상기 대상물을 제 2 온도로 2차 가열하는 공정 히터;를 포함하는, 태양 전지 제조 장치
14 14
제 12 항에 있어서,상기 대상물 히터는,상기 대상물을 제 3 온도로 3차 가열하는 보열 히터;를 더 포함하는, 태양 전지 제조 장치
15 15
내부에 대상물을 수용할 수 있는 챔버;상기 챔버에 설치되고, 상기 대상물에 칼코겐 성분이 균일하게 분산된 기체 상태로 도포될 수 있도록 미세기공이 형성될 수 있고, 유동 상태의 칼코겐 소스를 수용하는 칼코겐 수용 공간이 형성되는 미세 기공체 용기; 및상기 미세 기공체 용기에 유동 상태의 칼코겐 소스를 연속적으로 공급할 수 있는 칼코겐 연속 공급장치;를 포함하고,상기 미세 기공체 용기는, 대상물 대향 경사각을 갖는 적어도 하나의 측벽면에 칼코겐 통과면이 형성되는 수직 박스형 용기이고,상기 대상물을 대향 경사각을 갖는 경사진 상태로 이송할 수 있는 경사형 이송 로울러;를 더 포함하는, 태양 전지 제조 장치
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17 17
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국가 R&D 정보가 없습니다.