맞춤기술찾기

이전대상기술

유기금속 화학 증착기용 세정기

  • 기술번호 : KST2015011482
  • 담당센터 :
  • 전화번호 :
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 반도체화합물을 베이킹(열처리)으로 세정하는 베이킹퍼니스가 구비되는 유기금속 화학 증착기용 세정기에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 반도체화합물을 성장시킬 웨이퍼가 수납되는 웨이퍼캐리어를 운송하는 운송로봇을 중심으로, 복수의 스테이지 포트가 방사상으로 배열되는 트랜스퍼와, 상기 트랜스퍼의 전방 스테이지 포트에 연결되어, 상기 웨이퍼캐리어를 외부 또는 상기 트랜스퍼 내로 인출하는 로드록와, 상기 트랜스퍼의 좌,우측방 스테이지 포트에 각각 연결되고, 상기 트랜스퍼의 운송로봇으로 인계받은 상기 웨이퍼캐리어에 수납된 웨이퍼에 반도체화합물을 증착하는 복수의 그로스챔버가 포함되는데, 상기 트랜스퍼의 후방 스테이지 포트에 연결되어, 반도체화합물 증착공정을 마친 상기 웨이퍼캐리어 또는 서셉터(susceptor)를 상기 트랜스퍼의 운송로봇으로 인계받아 상기 웨이퍼캐리어 또는 서셉터(susceptor)를 고온으로 열처리해 웨이퍼캐리어 또는 서셉터(susceptor)에 증착된 반도체화합물을 세정하는 베이킹퍼니스를 더 포함하여, 유기금속 화학 증착공정 중에 웨이퍼캐리어 또는 서셉터(susceptor)에 증착된 반도체화합물을 베이킹(열처리)으로 세정하여 웨이퍼캐리어 또는 서셉터(susceptor)를 재사용하도록 하는 유기금속 화학 증착기용 세정기를 제공한다.
Int. CL H01L 21/205 (2006.01)
CPC C23C 16/4401(2013.01) C23C 16/4401(2013.01) C23C 16/4401(2013.01)
출원번호/일자 1020130059744 (2013.05.27)
출원인 영남대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1463343-0000 (2014.11.12)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20141119) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2013.05.27)
심사청구항수 3

출원인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 출원인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 영남대학교 산학협력단 대한민국 경상북도 경산시

발명자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 발명자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 장자순 대한민국 대구광역시 수성구
2 정길호 대한민국 대구 동구
3 이상준 대한민국 경상북도 경산시

대리인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 대리인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 특허법인태백 대한민국 서울 금천구 가산디지털*로 *** 이노플렉스 *차 ***호

최종권리자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 최종권리자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 주식회사 유브로닉스 충청남도 아산시
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2013.05.27 수리 (Accepted) 1-1-2013-0467235-38
2 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2013.06.05 수리 (Accepted) 1-1-2013-0501971-12
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.03.10 수리 (Accepted) 4-1-2014-5029868-88
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.03.26 수리 (Accepted) 4-1-2014-5037590-23
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2014.06.16 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0406836-86
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2014.08.18 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2014-0778970-18
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2014.08.18 수리 (Accepted) 1-1-2014-0778971-64
8 등록결정서
Decision to grant
2014.11.07 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0763372-21
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.11.03 수리 (Accepted) 4-1-2017-5175631-14
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.10.23 수리 (Accepted) 4-1-2019-5220555-67
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
반도체화합물을 성장시킬 웨이퍼가 수납되는 웨이퍼캐리어를 운송하는 운송로봇을 중심으로, 복수의 스테이지 포트가 방사상으로 배열되는 트랜스퍼와, 상기 트랜스퍼의 전방 스테이지 포트에 연결되어, 상기 웨이퍼캐리어를 외부 또는 상기 트랜스퍼 내로 인출하는 로드록과, 상기 트랜스퍼의 좌,우측방 스테이지 포트에 각각 연결되고, 상기 트랜스퍼의 운송로봇으로 인계받은 상기 웨이퍼캐리어에 수납된 웨이퍼에 반도체화합물을 증착하는 복수의 그로스챔버가 포함되는 유기금속 화학 증착기를 구성함에 있어서,상기 트랜스퍼의 후방 스테이지 포트에 연결되고, 내부에는 금속재(Metal) 재질로 이루어진 단열재 및 금속재(metal) 재질로 이루어진 히팅부재를 포함하는 베이킹퍼니스를 구비하여, 상기 그로스챔버에서 반도체화합물 증착공정을 끝낸 상기 웨이퍼캐리어 또는 서셉터(susceptor)를 상기 트랜스퍼의 운송로봇으로 인계받아 상기 웨이퍼캐리어 또는 서셉터(susceptor)를 고온의 열처리로 웨이퍼캐리어 또는 서셉터(susceptor)에 증착된 반도체화합물을 세정하는 유기금속 화학 증착기용 세정기
2 2
삭제
3 3
청구항 1에 있어서,상기 베이킹퍼니스는 복수가 수직으로 적층된 상태로 상기 트랜스퍼의 후방 스테이지 포트에 연결되는 것과; 복수가 수직으로 적층된 베이킹퍼니스들을 상측 또는 하측으로 승강시켜, 선택적으로 상기 웨이퍼캐리어 또는 서셉터(susceptor)를 인계 받도록 하는 승강수단을 포함하는 유기금속 화학 증착기용 세정기
4 4
삭제
5 5
청구항 1에 있어서,상기 베이킹퍼니스와 상기 트랜스퍼 사이에 구비되어,상기 트랜스퍼에서 반출되는 상기 웨이퍼캐리어 또는 서셉터(susceptor)를 상기 베이킹퍼니스로 이송하는 이송수단을 더 포함하는 유기금속 화학 증착기용 세정기
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 지식경제부 영남대학교 산학협력단 지식경제 기술혁신사업(산업융합기반구축사업) LED-IT융합산업화연구센터 지원사업