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정밀 이송 스테이지 유니트

기술번호 : KST2015011512
담당센터 : 서울동부기술혁신센터
전화번호 : 02-2155-3662

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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약	본 발명은, 기계 장비에 구비되는 정밀 이송 스테이지 유니트로서, 기계 장비에 장착되어 위치 고정되는 스테이지 베이스부와, 상기 스테이지 베이스부에 상대 가동 가능하게 연결되는 스테이지 무빙부와, 상기 스테이지 무빙부를 구동시키는 스테이지 구동부를 구비하고, 상기 스테이지 무빙부는: 상기 스테이지 베이스부의 일면이 이루는 평면 상에서 가동 가능하도록 상기 스테이지 베이스부에 형성되는 베이스 관통구의 내측에 연결되는 플레인 무빙 블록과, 상기 스테이지 베이스부의 일면이 이루는 평면에 대하여 상기 플레인 무빙 블록과 상대 이동되지 않도록 상기 플레인 무빙 블록의 일면 상에 장착되고, 일면 상에 배치되는 시편이 상기 스테이지 베이스부의 일면이 이루는 평면에 수직 가동 가능하게 형성되는 버티컬 무빙 블록을 포함하는 것을 특징으로 하는 정밀 이송 스테이지 유니트를 제공한다.
Int. CL	B23Q 3/18 (2006.01) G12B 5/00 (2006.01) B23Q 1/25 (2006.01) H01L 21/68 (2006.01)
CPC	B23Q 3/186(2013.01) B23Q 3/186(2013.01) B23Q 3/186(2013.01) B23Q 3/186(2013.01) B23Q 3/186(2013.01) B23Q 3/186(2013.01)
출원번호/일자	1020120067012 (2012.06.21)
출원인	고려대학교 산학협력단
등록번호/일자	10-1399830-0000 (2014.05.20)
공개번호/일자	10-2014-0011512 (2014.01.29) 문서열기
공고번호/일자	(20140527) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태	등록
심사진행상태	수리
심판사항
구분	신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자	Y (2012.06.21)
심사청구항수	9

출원인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 출원인 표입니다.
번호	이름	국적	주소
1	고려대학교 산학협력단	대한민국	서울특별시 성북구

발명자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 발명자 표입니다.
번호	이름	국적	주소
1	정재화	대한민국	경기도 용인시 기흥구
2	최영만	대한민국	경기도 구리시
3	안다훈	대한민국	대전광역시 유성구
4	우시웅	대한민국	대전광역시 유성구

대리인

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번호	이름	국적	주소
1	홍동우	대한민국	서울특별시 강남구 강남대로 **, 층 (역삼동, 혜천빌딩)(지혜안국제특허법률사무소)

최종권리자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 최종권리자 표입니다.
번호	이름	국적	주소
1	고려대학교 세종산학협력단		세종특별자치시

번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호	서류명	접수/발송일자	처리상태	접수/발송번호
1	[특허출원]특허출원서 [Patent Application] Patent Application	2012.06.21	수리 (Accepted)	1-1-2012-0496530-37
2	보정요구서 Request for Amendment	2012.07.04	발송처리완료 (Completion of Transmission)	1-5-2012-0084614-60
3	[출원서등 보정]보정서 [Amendment to Patent Application, etc.] Amendment	2012.07.11	수리 (Accepted)	1-1-2012-0555491-62
4	선행기술조사의뢰서 Request for Prior Art Search	2013.05.31	수리 (Accepted)	9-1-9999-9999999-89
5	선행기술조사보고서 Report of Prior Art Search	2013.07.02	수리 (Accepted)	9-1-2013-0050440-87
6	의견제출통지서 Notification of reason for refusal	2013.10.19	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2013-0718024-79
7	[지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서 [Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)	2013.12.19	수리 (Accepted)	1-1-2013-1163528-93
8	[지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서 [Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)	2014.01.20	수리 (Accepted)	1-1-2014-0056088-28
9	출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information	2014.02.11	수리 (Accepted)	4-1-2014-5018243-16
10	[명세서등 보정]보정서 [Amendment to Description, etc.] Amendment	2014.02.19	보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment)	1-1-2014-0161366-57
11	[거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 [Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)	2014.02.19	수리 (Accepted)	1-1-2014-0161367-03
12	출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information	2014.04.22	수리 (Accepted)	4-1-2014-5049934-62
13	등록결정서 Decision to grant	2014.05.13	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2014-0323039-34
14	출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information	2019.10.10	수리 (Accepted)	4-1-2019-5210941-09

번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호	청구항
1	1 기계 장비에 구비되는 정밀 이송 스테이지 유니트로서, 기계 장비에 장착되어 위치 고정되는 스테이지 베이스부와, 상기 스테이지 베이스부에 상대 가동 가능하게 연결되는 스테이지 무빙부와, 상기 스테이지 무빙부를 구동시키는 스테이지 구동부를 구비하고, 상기 스테이지 무빙부는: 상기 스테이지 베이스부의 일면이 이루는 평면 상에서 가동 가능하도록 상기 스테이지 베이스부에 형성되는 베이스 관통구의 내측에 연결되는 플레인 무빙 블록과, 상기 스테이지 베이스부의 일면이 이루는 평면에 대하여 상기 플레인 무빙 블록과 상대 이동되지 않도록 상기 플레인 무빙 블록의 일면 상에 장착되고, 상기 스테이지 베이스부의 일면이 이루는 평면에 수직 가동 가능하도록 형성되는 버티컬 무빙 블록을 포함하고, 상기 버티컬 무빙 블록의 일면 상에는 시편이 배치되어 상기 버티컬 무빙 블록과 함게 수직 가동 가능하고, 상기 플레인 무빙 블록은: 상기 베이스 관통구에 배치되는 플레인 무빙 블록 바디와, 일단은 상기 플레인 무빙 블록 바디의 외측면에, 그리고 타단은 상기 베이스 관통구의 내측면에 연결되는 플레인 무빙 블록 브릿지를 구비하고, 상기 버티컬 무빙 블록은: 상기 스테이지 베이스부의 일면에 평행한 평면 상에서 볼 때, 상기 플레인 무빙 블록의 상부에 배치되는 버티컬 무빙 블록 바디와, 상기 버티컬 무빙 블록 바디의 양단에 배치되고, 상기 플레인 무빙 블록의 일면에 위치 고정되어 배치되는 버티컬 무빙 블록 장착부를 구비하고, 시편은 상기 버티컬 무빙 블록의 상기 버티컬 무빙 블록 바디의 일면에 안착되는 것을 특징으로 하는 정밀 이송 스테이지 유니트
2	2 삭제
3	3 제 1항에 있어서, 상기 플레인 무빙 블록 브릿지는 크랩 레그 타입인 것을 특징으로 하는 정밀 이송 스테이지 유니트
4	4 삭제
5	5 제 1항에 있어서, 상기 스테이지 베이스부의 일면에 수직한 평면 상에서 볼 때,상기 버티컬 무빙 블록은 상기 스테이지 베이스부의 일면에 수직한 방향으로 가동을 가능하도록 복수 층 구조를 형성하는 것을 특징으로 하는 정밀 이송 스테이지 유니트
6	6 제 1항에 있어서,상기 스테이지 구동부는 보이스 코일 구조인 것을 특징으로 하는 정밀 이송 스테이지 유니트
7	7 제 6항에 있어서,상기 스테이지 구동부는:상기 스테이지 무빙부의 외측과 연결되고, 상기 스테이지 무빙부를 상기 스테이지 베이스부의 일면이 이루는 평면 상에서 가동시키는 플레인 구동부와,상기 스테이지 무빙부의 하면과 연결되고, 상기 스테이지 무빙부를 상기 스테이지 베이스부의 일면이 이루는 평면에 수직하게 가동시키는 버티컬 구동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 정밀 이송 스테이지 유니트
8	8 제 7항에 있어서, 상기 플레인 구동부는:상기 스테이지 베이스부의 일면이 이루는 평면 상에서 제 1 축 방향으로 상기 스테이지 무빙부를 가동 가능하게 상기 스테이지 무빙부 및 상기 스테이지 베이스부에 배치되는 제 1 축 구동부와,상기 스테이지 베이스부의 일면이 이루는 평면 상에서 상기 제 1 축 방향에 수직한 제 2 축 방향으로 상기 스테이지 무빙부를 가동 가능하게 상기 스테이지 무빙부 및 상기 스테이지 베이스부에 배치되는 제 2 축 구동부를 구비하는 것을 특징으로 하는 정밀 이송 스테이지 유니트
9	9 제 8항에 있어서,상기 제 1 축 구동부는:일단이 상기 스테이지 무빙부에 연결되고, 외주에 외부로부터의 전기적 신호를 입력받는 제 1 축 구동 코일이 권취되는 제 1 축 구동 코일부와,상기 스테이지 베이스부에 대하여 위치 고정되어 배치되는 제 1 축 구동 마그넷을 구비하고,상기 제 2 축 구동부는:일단이 상기 스테이지 무빙부에 연결되고, 외주에 외부로부터의 전기적 신호를 입력받는 제 2 축 구동 코일이 권취되는 제 2 축 구동 코일부와,상기 스테이지 베이스부에 대하여 위치 고정되어 배치되는 제 2 축 구동 마그넷을 구비하는 것을 특징으로 하는 것을 특징으로 하는 정밀 이송 스테이지 유니트
10	10 제 9항에 있어서,상기 제 1 축 구동부 및 상기 제 2 축 구동부는, 각각 상기 제 1 축 및 상기 제 2 축에 교차되는 측면에 하나 이상이 배치되는 것을 특징으로 하는 정밀 이송 스테이지 유니트
11	11 제 7항에 있어서, 상기 버티컬 구동부는:상기 버티컬 무빙 블록의 하면에 고정 배치되고 외주에 전기적 신호의 입력이 이루어지는 버티컬 구동 코일이 권취되는 링 타입의 버티컬 구동 코일부와,상기 스테이지 베이스부에 위치 고정되어 배치되는 버티컬 구동 내부 요크와, 상기 버티컬 구동 내부 요크보다 큰 반경을 구비하되 상기 버티컬 구동 내부 요크와 동심 배치되어 상기 버티컬 구동 코일부의 가동을 허용하는 상기 버티컬 구동 외부 요크와,상기 버티컬 구동 외부 요크에 배치되고 상기 버티컬 구동 코일부와 이격 배치되는 버티컬 구동 마그넷을 구비하는 것을 특징으로 하는 정밀 이송 스테이지 유니트

순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번	연구부처	주관기관	연구사업	연구과제
1	교육과학 기술부	고려대학교 산학협력단	기초연구사업	마이크로 시스템의 형상 측정을 위한 나노 프로브 시스템
2	교육과학 기술부	고려대학교 산학협력단	기초연구사업	소형 나노 모션 플랫폼의 댐핑 계획 근사 시간 최적 제어 기법 연구

본 등록정보는 참고용으로 법적증빙자료로 사용할 수 없습니다.
데이터 이관에 따른 소요기간(1일)으로 인하여 등록원부와 일부 차이가 발생할 수 있으며, 일부 정보(부기, 상세 주소 등)를 제공하지 않고 있습니다.
법적증빙자료로 활용하시거나 더 자세한 정보를 보시려면 등록원부를 발급받아 사용하시기 바랍니다.

이전대상기술 뷰 페이지 등록사항 > 특허 등록번호 표입니다.
특허 등록번호	10-1399830-0000

권리란

표시번호, 사항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 등록사항 > 권리란 표입니다.
표시번호	사항
1	출원 연월일 : 20120621 출원 번호 : 1020120067012 공고 연월일 : 20140527 공고 번호 : 특허결정(심결)연월일 : 20140513 청구범위의 항수 : 9 유별 : B23Q 3/18 발명의 명칭 : 정밀 이송 스테이지 유니트 존속기간(예정)만료일 :

특허권자란

순위번호, 사항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 등록사항 > 특허권자란 표입니다.
순위번호	사항
1	(권리자) 고려대학교 산학협력단 서울특별시 성북구...
2	(권리자) 고려대학교 세종산학협력단 세종특별자치시...
2	(의무자) 고려대학교 산학협력단 서울특별시 성북구...

등록료란

순위번호, 사항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 등록사항 > 등록료란 표입니다.
제 1 - 3 년분	금 액	198,000 원	2014년 05월 20일	납입
제 4 년분	금 액	166,600 원	2017년 03월 28일	납입
제 5 년분	금 액	119,000 원	2018년 04월 06일	납입
제 6 년분	금 액	119,000 원	2019년 03월 25일	납입
제 7 년분	금 액	221,000 원	2020년 04월 13일	납입

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해당 서비스는 점검으로 인해 매주 일요일 00:00 ~ 02:00까지 이용이 중단됩니다.

번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송번호의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 통합행정정보 > 등록료란 표입니다.
번호	서류명	접수/발송일자	처리상태	접수/발송번호
1	[특허출원]특허출원서	2012.06.21	수리 (Accepted)	1-1-2012-0496530-37
2	보정요구서	2012.07.04	발송처리완료 (Completion of Transmission)	1-5-2012-0084614-60
3	[출원서등 보정]보정서	2012.07.11	수리 (Accepted)	1-1-2012-0555491-62
4	선행기술조사의뢰서	2013.05.31	수리 (Accepted)	9-1-9999-9999999-89
5	선행기술조사보고서	2013.07.02	수리 (Accepted)	9-1-2013-0050440-87
6	의견제출통지서	2013.10.19	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2013-0718024-79
7	[지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서	2013.12.19	수리 (Accepted)	1-1-2013-1163528-93
8	[지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서	2014.01.20	수리 (Accepted)	1-1-2014-0056088-28
9	출원인정보변경(경정)신고서	2014.02.11	수리 (Accepted)	4-1-2014-5018243-16
10	[명세서등 보정]보정서	2014.02.19	보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment)	1-1-2014-0161366-57
11	[거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서	2014.02.19	수리 (Accepted)	1-1-2014-0161367-03
12	출원인정보변경(경정)신고서	2014.04.22	수리 (Accepted)	4-1-2014-5049934-62
13	등록결정서	2014.05.13	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2014-0323039-34
14	출원인정보변경(경정)신고서	2019.10.10	수리 (Accepted)	4-1-2019-5210941-09


기술번호	KST2015011512
자료제공기관	NTB
기술공급기관	고려대학교
기술명	정밀 이송 스테이지 유니트
기술개요	본 발명은, 기계 장비에 구비되는 정밀 이송 스테이지 유니트로서, 기계 장비에 장착되어 위치 고정되는 스테이지 베이스부와, 상기 스테이지 베이스부에 상대 가동 가능하게 연결되는 스테이지 무빙부와, 상기 스테이지 무빙부를 구동시키는 스테이지 구동부를 구비하고, 상기 스테이지 무빙부는: 상기 스테이지 베이스부의 일면이 이루는 평면 상에서 가동 가능하도록 상기 스테이지 베이스부에 형성되는 베이스 관통구의 내측에 연결되는 플레인 무빙 블록과, 상기 스테이지 베이스부의 일면이 이루는 평면에 대하여 상기 플레인 무빙 블록과 상대 이동되지 않도록 상기 플레인 무빙 블록의 일면 상에 장착되고, 일면 상에 배치되는 시편이 상기 스테이지 베이스부의 일면이 이루는 평면에 수직 가동 가능하게 형성되는 버티컬 무빙 블록을 포함하는 것을 특징으로 하는 정밀 이송 스테이지 유니트를 제공한다.
개발상태	기술개발진행중
기술의 우수성
응용분야	정밀기계
시장규모 및 동향
희망거래유형	기술매매,라이센스,기술협력,기술지도,
사업화적용실적
도입시고려사항


과제고유번호	1345156278
세부과제번호	2009-0067920
연구과제명	소형 나노 모션 플랫폼의 댐핑 계획 근사 시간 최적 제어 기법 연구
성과구분	출원
부처명	교육과학기술부
연구관리전문기관명	한국연구재단
연구주관기관명	고려대학교 산학협력단
성과제출연도	2011
연구기간	200905~201204
기여율	0.5
연구개발단계명	기초연구
6T분류명	IT(정보기술)


과제고유번호	1345176806
세부과제번호	2010-0023337
연구과제명	마이크로 시스템의 형상 측정을 위한 나노 프로브 시스템
성과구분	출원
부처명	교육과학기술부
연구관리전문기관명	한국연구재단
연구주관기관명	고려대학교
성과제출연도	2012
연구기간	201009~201508
기여율	0.5
연구개발단계명	기초연구
6T분류명	NT(나노기술)

특허성과

[1020120067012]	정밀 이송 스테이지 유니트	새창보기
[1020110131629]	강성을 가지는 2차 기계 시스템을 위한 위치 제어 시스템, 방법, 및 상기 방법을 실행시키기 위한 컴퓨터 판독 가능한 프로그램을 기록한 매체	새창보기
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