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챔버;상기 챔버 내에 위치하고, 대상체가 탑재되며, 상기 대상체를 덮을 수 있도록 칼코겐 소스가 탑재되고, 상기 칼코겐 소스가 상기 대상체에 도달하도록 상기 칼코겐 소스가 통과하는 크기를 가지는 미세 기공을 가지는 층 형성부; 및상기 대상체와 상기 칼코겐 소스 간의 거리를 조절하도록 상기 대상체와 상기 칼코겐 소스 중 어느 하나 또는 모두를 이송시키는 이송부;를 포함하고,상기 미세 기공은 액상의 칼코겐 소스는 통과시키지 않고 기상의 칼코겐 소스는 통과시키는 크기를 가지는, 태양 전지 제조장치
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제1항에 있어서, 상기 층 형성부는,상기 대상체가 탑재되는 대상체 지지 부재; 및상기 대상체를 덮을 수 있도록 위치하고, 칼코겐 소스가 탑재되며, 상기 미세 기공을 포함하는 미세 기공체 부재;를 포함하는, 태양 전지 제조장치
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제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 챔버에 형성되는 개구를 개폐시키고, 상기 층 형성부가 설치됨으로써 상기 개구를 통해서 상기 층 형성부를 상기 챔버 내측으로 운반시키며, 상기 이송부가 설치되는 운반 커버;를 더 포함하는, 태양 전지 제조장치
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제2항에 있어서, 상기 챔버에 형성되는 개구를 개폐시키고, 상기 미세 기공체 부재가 고정되는 운반 커버를 더 포함하고,상기 이송부는,상기 미세 기공체 부재에 회전 가능하게 관통하여, 상기 미세 기공체 부재의 하측에 위치하는 상기 대상체 지지 부재에 나사 결합되는 이송축 부재; 및 상기 이송축 부재에 회전력을 제공할 수 있도록 상기 운반 커버에 설치되는 이송 모터;를 포함하는, 태양 전지 제조장치
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제4항에 있어서, 상기 이송 모터는 상기 운반 커버의 외측면에 설치되고, 회전축이 상기 운반 커버를 회전 가능하게 관통하고, 상기 이송축 부재는 상기 미세 기공체 부재를 관통하는 끝단이 제1 및 제2 베벨기어에 의해 상기 회전축에 연결되는, 태양 전지 제조장치
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6
제2항, 제4항 및 제5항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 층 형성부는,상기 미세 기공체 부재 상에 위치하고, 상기 칼코겐 소스가 외측으로 방출되는 것을 방지하는 윈도우 부재; 및상기 윈도우 부재를 상기 미세 기공체 부재에 고정시키는 고정 부재;를 더 포함하는, 태양 전지 제조장치
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제2항, 제4항 및 제5항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 미세 기공체 부재는 1
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제1항, 제2항, 제4항 및 제5항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 미세 기공은 하기의 식에 따른 반경을 가지는, 태양 전지 제조장치
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