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그래핀층 또는 탄소나노튜브층 상에 절연층을 형성하는 방법에 있어서,제1 기판상에 수용성 폴리머를 포함하는 희생층을 형성하는 단계;상기 희생층 상에 절연층을 형성하는 단계;상기 절연층 상에 상기 절연층을 지지하기 위한 지지층을 형성하는 단계;상기 희생층과 상기 절연층 및 상기 지지층이 형성된 상기 제1 기판을 물을 포함하는 액체에 침지하여 상기 희생층을 제거하는 단계; 및상기 제1 기판으로부터 분리된, 상기 지지층이 형성된 상기 절연층을 상기 그래핀층 또는 상기 탄소나노튜브층을 구비한 제2 기판으로 전사하는 단계를 포함하며,상기 지지층이 형성된 상기 절연층을 상기 그래핀층 또는 상기 탄소나노튜브층을 구비한 제2 기판으로 전사하는 단계는:상기 제1 기판으로부터 분리되어 상기 액체에 부유하는 상기 지지층 및 상기 절연층을 상기 제2 기판으로 떠내는 단계; 또는상기 지지층의 점성을 이용하여 롤(roll)에 상기 절연층과 상기 지지층을 붙힌 후, 롤에 부착된 상기 절연층과 상기 지지층을 가열된 상태의 상기 제2 기판으로 전사하는 단계를 포함하는 절연층 형성 방법
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제1 항에 있어서,상기 절연층 상에 형성된 상기 지지층을 지지층 제거액을 이용하여 제거하는 단계를 더 포함하는 절연층 형성 방법
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제2 항에 있어서,상기 지지층은,폴리메타크릴산메틸 수지를 포함하는 절연층 형성 방법
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제3 항에 있어서,상기 지지층 제거액은 아세톤을 포함하는 절연층 형성 방법
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제1 항에 있어서,상기 희생층은,상기 수용성 폴리머로서 폴리아크릴산을 포함하는 절연층 형성 방법
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제1 항에 있어서,상기 절연층은,산화 알루미늄 절연층을 포함하는 절연층 형성 방법
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제6 항에 있어서,상기 절연층을 형성하는 단계는,원자층 증착법을 이용하여 상기 희생층 상에 상기 산화 알루미늄 절연층을 형성하는 절연층 형성 방법
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삭제
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제1 항에 있어서,상기 제1 기판은,실리콘 기판인 절연층 형성 방법
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제1 항에 기재된 절연층 형성 방법에 의하여 제1 기판으로부터 그래핀층 또는 탄소나노튜브층을 구비한 제2 기판상으로 절연층을 전사하여 게이트 절연층을 형성하는 단계;상기 제2 기판상에 드레인 전극과 소스 전극을 형성하는 단계; 및상기 게이트 절연층 상에 게이트 전극을 형성하는 단계를 포함하는 전계효과 트랜지스터의 제조 방법
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제1 항에 기재된 절연층 형성 방법에 의하여 제1 기판으로부터, 제1 방향으로 인접하는 전계효과 트랜지스터의 전극 간을 연결하는 그래핀층을 구비한 제2 기판상으로 절연층을 전사하여 절연층을 형성하는 단계; 및상기 절연층 상에 상기 제1 방향과 수직한 제2 방향으로 인접하는 전계효과 트랜지스터의 전극 간을 연결하는 그래핀층을 형성하는 단계를 포함하는 디스플레이의 제조 방법
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