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채널(channel) 내부를 통해 미세입자가 유동할 수 있는 구조의 미세유동 채널(microfluidic channel)로서, 상기 채널(212)의 폭(W1)은 300 내지 700 ㎛이고, 상기 채널(212)의 높이(H)는 50 내지 300 ㎛이며, 상기 채널(212)은 하나 이상의 변곡점 또는 절곡점(213)을 포함하고, 상기 변곡점 및 절곡점(213)의 인접부에 하나 이상의 열발생부재(224)가 장착되는 것을 특징으로 하는 미세유동 채널
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제 1 항에 있어서, 상기 열발생부재(224)는, 상기 변곡점 또는 절곡점(2131, 2132)을 중심으로 하고, 채널(212)의 폭(W1)을 반지름으로 하는 원(A1, A2)의 내부에 위치하는 것을 특징으로 하는 미세유동 채널
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제 1 항에 있어서, 상기 열발생부재(224)는, 30 내지 200 ℃의 온도로 가열될 수 있는 것을 특징으로 하는 미세유동 채널
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제 1 항에 있어서, 상기 열발생부재(224)는, 열전소자(thermo-electronic module), 구리저항선 또는 마이크로 히터(micro heater)인 것을 특징으로 하는 미세유동 채널
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제 4 항에 있어서, 상기 마이크로 히터의 열선 폭(W2)은 30 내지 100 ㎛인 것을 특징으로 하는 미세유동 채널
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제 4 항에 있어서, 상기 마이크로 히터의 열선 폭(W2)은 50 ㎛인 것을 특징으로 하는 미세유동 채널
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제 1 항 내지 제 6 항 중 어느 한 항에 따른 미세유동 채널을 포함하는 미세입자 모니터링 장치(400)로서, 입자의 크기에 따라 미세입자를 분류하는 마이크로 버츄얼 임팩터(micro virtual impactor, 410); 미세입자에 전기적 충전을 가하는 마이크로 코로나 디스챠져(micro corona discharger, 420); 및 미세입자가 증착되어 미세입자의 농도를 측정하는 파티클 콜렉션 플레이트(particle collection plate, 430);를 포함하는 것을 특징으로 하는 미세입자 모니터링 장치
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제 7 항에 있어서, 상기 마이크로 버츄얼 임팩터(410), 마이크로 코로나 디스챠져(420) 및 파티클 콜렉션 플레이트(430)는, 상기 미세유동 채널(200)에 의해 서로 연통되어 있는 것을 특징으로 하는 미세입자 모니터링 장치
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제 7 항에 있어서, 상기 마이크로 버츄얼 임팩터(410)는, 190 nm 이상의 직경을 갖는 미세입자를 외부로 방출하는 것을 특징으로 하는 미세입자 모니터링 장치
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제 7 항에 있어서, 상기 마이크로 버츄얼 임팩터(410), 마이크로 코로나 디스챠져(420) 및 파티클 콜렉션 플레이트(430)는, 하나의 판상형 플레이트(plate, 401) 상에 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 미세입자 모니터링 장치
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제 10 항에 있어서, 상기 판상형 플레이트(401) 상부에, 미세입자 유입구(510) 및 미세입자 배출구(520)를 포함하는 미세입자 가이드 부재(500)가 더 탑재되는 것을 특징으로 하는 미세입자 모니터링 장치
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제 7 항에 따른 미세입자 모니터링 장치를 하나 이상 포함하는 것을 특징으로 하는 미세입자 모니터링 시스템
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