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MEMS(Micro-ElectroMechanical System) 구조물의 상대 운동을 하는 두 면 사이에 장착되어 두 면 간의 마찰과 마모를 방지하는 마이크로 가이드(micro guide, 400)로서, 구 형상의 베어링 볼(bearing ball, 100); 일방향으로 정렬되어 서로 인접하여 형성된 다수의 그루브(groove, 210)를 일면에 구비하는 상판(200); 및 상기 상판(200)과 대응되는 면에 상기 그루브(210)와 동일한 크기와 형상의 그루브(310)를 구비하는 하판(300);을 포함하고,상기 베어링 볼(100)은 상판(200)의 그루브(210)와 하판(300)의 그루브(310) 사이에 위치하여, 상판(200)과 하판(300)의 마찰을 감소하는 베어링 역할을 수행하고,상기 그루브(210, 310)의 인접한 그루브 간의 피치(pitch, p)는, 베어링 볼(100)의 직경(D)을 기준으로 105 내지 175 % 이며,상기 다수의 그루브들(210, 310) 사이에 형성되는 산의 산마루 평탄면(211, 311)의 측면상 길이(L)는, 베어링 볼(100)의 직경(D)을 기준으로 25 % 이하인 것을 특징으로 하는 마이크로 가이드
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제 1 항에 있어서, 상기 베어링 볼(100)의 직경(D)은 10 내지 100 ㎛인 것을 특징으로 하는 마이크로 가이드
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제 1 항에 있어서, 상기 상판(200) 및 하판(300)은 실리콘 소재로 구성된 실리콘 웨이퍼(silicon wafer)인 것을 특징으로 하는 마이크로 가이드
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제 1 항에 있어서, 상기 그루브(210, 310)의 깊이(d)는, 상기 베어링 볼(100)의 직경(D)을 기준으로 50 내지 300 %의 깊이인 것을 특징으로 하는 마이크로 가이드
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제 1 항에 있어서, 상기 그루브(210, 310)는 측면상 V 자형 그루브 형상이고, V 자형 그루브의 사이각(a)은 20 내지 110 도인 것을 특징으로 하는 마이크로 가이드
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제 1 항에 있어서, 상기 마이크로 가이드(400)는 선형 가이드(linear guide) 또는 회전 가이드(rotating guide)인 것을 특징으로 하는 마이크로 가이드
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제1, 2, 4 내지 6 및 9항 중 어느 한 항에 따른 마이크로 가이드(400)를 포함하는 것을 특징으로 하는 MEMS 구조물
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제1, 2, 4 내지 6 및 9항 중 어느 한 항에 따른 마이크로 가이드(400)를 제작하는 방법으로서, (a) 상판, 하판 및 베어링 볼을 준비하는 단계(S110); (b) 인접하여 형성된 V 그루브 패턴(V-groove pattern)을 상판 및 하판의 각 대응면에 형성시키는 단계(S120); (c) 베어링 볼을 하판의 V 그루브 패턴이 형성된 일면 상에 흩어 뿌리는 단계(S130); 및 (d) 상판을 하판에 대응시켜 겹쳐 소정 크기의 압력으로 가압한 상태에서 그루브의 형성 길이 방향으로 소정 길이만큼 왕복 운동시켜 산마루 평탄면(311)에 위치된 베어링 볼(100)을 그루브(210, 310)에 안착시키는 단계(S140);를 포함하고,상기 베어링 볼(100)은 상판(200)의 그루브(210)와 하판(300)의 그루브(310) 사이에 위치하여, 상판(200)과 하판(300)의 마찰을 감소하는 베어링 역할을 수행하고,상기 그루브(210, 310)의 인접한 그루브 간의 피치(pitch, p)는, 베어링 볼(100)의 직경(D)을 기준으로 105 내지 175 % 이며,상기 다수의 그루브들(210, 310) 사이에 형성되는 산의 산마루 평탄면(211, 311)의 측면상 길이(L)는, 베어링 볼(100)의 직경(D)을 기준으로 25 % 이하인 것을 특징으로 하는 마이크로 가이드 제작방법
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