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액적을 공급받아 건조 및 열분해 반응시키는 반응 챔버;
상기 반응 챔버에 액적을 공급하는 분무기;
상기 분무기에 용액을 공급하는 용액 공급부;
상기 분무기의 하부에 구비되고, 상기 분무기 내에 공급된 용액에 초음파를 전달하여 액적을 발생시키는 초음파 진동부;
상기 분무기에 운반가스를 공급하고 상기 분무기 내의 액적을 상기 반응 챔버로 운반하게 하는 운반가스 공급부; 및
상기 반응 챔버에서 열분해 반응된 반응 결과물을 포집하는 포집기를 포함하며,
상기 분무기의 상면 및 측면은 내화학성 및 내부식성을 갖는 테프론막으로 구비되고, 상기 초음파 진동부와 접하는 상기 분무기의 하면은 초음파 진동에 대한 전달 효율을 최대화하기 위하여 우레탄막으로 구비되며,
상기 포집기의 둘레에는 냉각 실린더가 구비되고, 냉각 실린더 내부를 냉각수가 순화되게 하여 반응 결과물이 응축되어 포집기에 달라붙어 포집되게 구비된 것을 특징으로 하는 초음파 분무 열분해 장치
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제1항에 있어서, 상기 초음파 진동부는 복수 개의 초음파 진동자가 일렬로 배열되어 열을 이루고, 복수 개의 열이 병렬로 배열된 구조를 이루며, 상기 초음파 진동부의 각 열에는 전압이 선택적으로 인가될 수 있게 구비되어 각 열 단위로 초음파 진동자가 선택적으로 동작할 수 있게 제어되고, 각 열에 배열된 복수 개의 초음파 진동자를 제어하는 제어 스위치가 병렬로 구비되어 각 열에 배열된 복수 개의 초음파 진동자를 선택적으로 제어할 수 있게 구비된 것을 특징으로 하는 초음파 분무 열분해 장치
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제2항에 있어서, 상기 초음파 진동부는,
6개의 초음파 진동자가 제1 열을 이루고, 5개의 초음파 진동자가 제2 열을 이루며, 6개의 초음파 진동자가 제3 열을 이루도록 배열되고, 상기 제1 열, 제2 열 및 제3 열은 병렬로 배열된 구조를 이루며, 각각의 열을 제어할 수 있는 전원 스위치가 열의 수만큼 구비되어 각 전원 스위치의 온 또는 오프에 따라 대응되는 열의 초음파 진동자가 선택되어 동작하는 것을 특징으로 하는 초음파 분무 열분해 장치
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제1항에 있어서, 상기 반응 챔버는 내열 충격성을 갖는 석영(quartz)으로 이루어지고, 반응 챔버 둘레에는 가열 수단이 구비되어 있는 것을 특징으로 하는 초음파 분무 열분해 장치
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제1항에 있어서, 상기 반응 챔버는 복수 개의 가열 수단에 의해 3단 가열영역으로 구분되고, 상기 분무기와 연결되는 하단 부분은 제1 가열 수단에 의해 가열되는 제1 가열 영역을 이루고, 상기 반응 챔버의 중간 부분은 제2 가열 수단에 의해 가열되는 제2 가열 영역을 이루며, 상기 포집기에 연결되는 상단 부분은 제3 가열 수단에 의해 가열되는 제3 가열 영역을 이루며, 제1 내지 제3 가열 영역은 제1 내지 제3 가열 수단에 의해 각각 독립적인 온도 조절이 가능하게 구비된 것을 특징으로 하는 초음파 분무 열분해 장치
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제1항에 있어서, 상기 포집기는 내열성과 내화학성을 갖는 스테인레스로 된 원통 형상의 필터로 이루어진 것을 특징으로 하는 초음파 분무 열분해 장치
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제1항에 있어서, 상기 반응 챔버와 상기 포집기를 진공 상태로 만들고 상기 반응 챔버에서 합성된 반응 결과물이 상기 포집기로 흐르도록 유도하는 펌핑부를 더 포함하는 초음파 분무 열분해 장치
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