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상부로 갈수록 높이가 높은 상부면을 구성하는 계단식 구조의 웨이퍼;상기 웨이퍼를 수용할 수 있도록 형성된 반전된 계단식 구조로, 상기 웨이퍼의 상부에 상기 웨이퍼와 이격된 상태로 배치되며, 외력에 의하여 상기 웨이퍼에 접근하는 방향으로 변형가능한 변형웨이퍼;상기 웨이퍼와 상기 변형웨이퍼 사이에 배치되어, 절연물질로 구성되며, 상기 웨이퍼와 상기 변형웨이퍼 사이의 거리를 유지시키는 보호필름; 을 포함하고,상기 웨이퍼는,최상부면에 상기 변형웨이퍼와 일정 거리를 두고 형성되어, 저압의 측정을 위한 전극을 형성하는 제1 전극부와;상기 제1 전극부의 양끝단으로부터 하부에 위치하는 상부면에 형성되고, 고압의 측정을 위한 전극을 형성하는 제2 전극부;상기 변형웨이퍼는,상기 제1 전극부와 마주하는 하부면에 형성되어, 저압의 측정을 위한 전극을 형성하는 제3 전극부;상기 제2 전극부와 마주하는 하부면에 형성되어, 고압의 측정을 위한 전극을 형성하는 제4 전극부; 를 포함하고,상기 웨이퍼와 상기 변형웨이퍼는 자체적으로 도체의 역할을 하기 위하여 저저항웨이퍼를 사용하는 것을 특징으로 하는 압력센서
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제1 항에 있어서,상기 보호필름은 상기 웨이퍼와 상기 변형웨이퍼가 마주하는 영역의 가장 바깥쪽에 형성되어, 상기 웨이퍼와 상기 변형웨이퍼 사이의 거리를 유지시키는 것을 특징으로 하는 압력센서
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제1 항에 있어서,상기 제3 전극부는 상기 변형웨이퍼의 상부면에 가해지는 압력이 높아짐에 따라 상기 제1 전극부에 접근하는 것을 특징으로 하는 압력센서
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제1 항에 있어서,상기 제4 전극부는 상기 변형웨이퍼의 상부면에 가해지는 압력이 높아짐에 따라 상기 제3 전극부가 상기 제1 전극부에 완전히 밀착한 후에, 상기 제2 전극부에 접근하는 것을 특징으로 하는 압력센서
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상부로 갈수록 높이가 높은 상부면을 구성하는 계단식 구조의 웨이퍼;상기 웨이퍼를 수용할 수 있도록 형성된 반전된 계단식 구조로, 상기 웨이퍼의 상부에 상기 웨이퍼와 이격된 상태로 배치되며, 외력에 의하여 상기 웨이퍼에 접근하는 방향으로 변형가능한 변형웨이퍼;상기 웨이퍼와 상기 변형웨이퍼 사이에 배치되어, 절연물질로 구성되며, 상기 웨이퍼와 상기 변형웨이퍼 사이의 거리를 유지시키는 보호필름;상기 변형웨이퍼 상부면의 중심부로부터 외주면까지 직선상에 연장되어 있는 스트레인게이지; 를 포함하고,상기 웨이퍼는,최상부면에 상기 변형웨이퍼와 일정 거리를 두고 형성되어, 저압의 측정을 위한 전극을 형성하는 제1 전극부와;상기 제1 전극부의 양끝단으로부터 하부에 위치하는 상부면에 형성되고, 고압의 측정을 위한 전극을 형성하는 제2 전극부;상기 변형웨이퍼는,상기 제1 전극부와 마주하는 하부면에 형성되어, 저압의 측정을 위한 전극을 형성하는 제3 전극부;상기 제2 전극부와 마주하는 하부면에 형성되어, 고압의 측정을 위한 전극을 형성하는 제4 전극부; 를 포함하고,상기 웨이퍼와 상기 변형웨이퍼는 자체적으로 도체의 역할을 하기 위하여 저저항웨이퍼를 사용하는 것을 특징으로 하는 압력센서
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