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투과전자현미경(TEM)에서 스트레인 실험을 위한 금속시편의 구조 및 그 제작방법

  • 기술번호 : KST2015014097
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은, 양쪽의 단부에 고정용홀이 각각 형성되어 있고, 중앙에는 길이방향으로 형성된 관찰부(A)과, 상기 관찰부(A)과 슬롯에 의해 이격되어 있으며 관찰부(A)를 보호하고 형태를 유지시켜주는 길이방향의 지지부(B)를 가지는, TEM에서 스트레인 실험을 위한 시편에 있어서, ① 상기 지지부(B)는 상기 관찰부(A)의 일측면에만 형성되어 있고, ② 상기 관찰부(A) 중앙의 지지부(B) 반대쪽 측단면부에는 미세박판 영역이 형성되어 있는 시편 및 이의 제조방법에 관한 것이다.본 발명에 의하면 시료의 모양이나 시료의 특정부위에 대한 제약이 없이 관찰부(A)에만 균일한 미세박판이 형성된 금속 시편을 제작할 수 있게 된다.
Int. CL G01N 1/28 (2006.01) H01J 37/26 (2006.01)
CPC G01N 1/28(2013.01) G01N 1/28(2013.01) G01N 1/28(2013.01)
출원번호/일자 1020110059729 (2011.06.20)
출원인 한국기초과학지원연구원
등록번호/일자 10-1259772-0000 (2013.04.25)
공개번호/일자 10-2012-0140086 (2012.12.28) 문서열기
공고번호/일자 (20130502) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2011.06.20)
심사청구항수 5

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국기초과학지원연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 정종만 대한민국 대전광역시 유성구
2 문원진 대한민국 광주광역시 북구
3 권희석 대한민국 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김원준 대한민국 대전광역시 서구 둔산대로***번길 **, 골드벤처타워***호 타임국제특허법률사무소 (만년동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국기초과학지원연구원 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2011.06.20 수리 (Accepted) 1-1-2011-0467004-29
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.10.21 수리 (Accepted) 4-1-2011-5212108-42
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2012.08.23 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2012.08.31 수리 (Accepted) 4-1-2012-5184293-13
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2012.08.31 수리 (Accepted) 4-1-2012-5184331-50
6 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2012.10.04 수리 (Accepted) 9-1-2012-0076458-61
7 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2012.12.18 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0767451-54
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2012.12.20 수리 (Accepted) 1-1-2012-1057100-12
9 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2012.12.20 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2012-1057097-62
10 등록결정서
Decision to grant
2013.03.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0212654-99
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2013.04.15 수리 (Accepted) 4-1-2013-5058386-17
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2013.04.15 수리 (Accepted) 4-1-2013-5058545-81
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.06.22 수리 (Accepted) 4-1-2020-5135881-88
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
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양쪽의 단부에 고정용홀이 각각 형성되어 있고, 중앙에는 길이방향으로 형성된 관찰부(A)과, 상기 관찰부(A)과 슬롯에 의해 이격되어 있으며 관찰부(A)를 보호하고 형태를 유지시켜주는 길이방향의 지지부(B)를 가지는, TEM에서 스트레인 실험을 위한 시편에 있어서,상기 지지부(B)는 상기 관찰부(A)의 일측면에만 형성되어 있고, 상기 관찰부(A) 중앙의 지지부(B) 반대쪽 측단면부에는 미세박판 영역이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 TEM에서 스트레인 실험을 위한 시편
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제 1 항에 있어서,상기 미세박판 영역의 두께는 70㎚ 이하인 것을 특징으로 하는 TEM에서 스트레인 실험을 위한 시편
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제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,상기 지지부(B)의 측단면부에는 하나 또는 둘 이상의 파단용홈이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 TEM에서 스트레인 실험을 위한 시편
4 4
제 3 항에 있어서,상기 파단용홈은 쐐기형 또는 반원형인 것을 특징으로 하는 TEM에서 스트레인 실험을 위한 시편
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제1항에 의한 스트레인 실험을 위한 시편 제작방법으로서,① 양쪽의 단부에 고정용홀이 각각 형성되어 있고, 상기 지지부(B)가 상기 관찰부(A)의 일측면에만 형성되어 있는 pre-시편을 얻는 단계; 및 ② 상기 pre-시편의 관찰부(A)의 지지부(B) 반대쪽 중앙의 측단면부를 FIB(focus ion beam)로 처리하여 소정두께의 미세박판 영역을 형성하는 관찰부(A) 가공단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 TEM에서 스트레인 실험을 위한 시편 제작방법
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 교육과학기술부 한국기초과학지원연구원 초고전압 전자현미경 운영 초고전압 전자현미경 운영-장비운영