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원통 형상의 내부 구조체; 및상기 내부 구조체의 외주면에 서로 이격하여 배열되는 복수 개의 코일을 포함하는 폴 자석부를 포함하되,상기 복수 개의 코일 각각은 선재가 복수 개의 단으로 권취되어 형성되며, 상기 복수 개의 단은, 상기 복수 개의 단 중 가장 아래의 단이 상기 내부 구조체와 가장 인접하여 위치하며 아랫단으로부터 윗단을 향할수록 각 단의 권선수가 증가하는 계단형 구조를 갖는 것을 특징으로 하는 전자 맴돌이 공명 이온원 장치용 자석
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제 1항에 있어서,상기 복수 개의 코일은 상기 내부 구조체의 외주면에 일정한 간격으로 배열된 6개의 코일을 포함하는 것을 것을 특징으로 하는 전자 맴돌이 공명 이온원 장치용 자석
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제 1항에 있어서,상기 폴 자석부의 외주면을 둘러싸도록 배치된 솔레노이드 자석부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 전자 맴돌이 공명 이온원 장치용 자석
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제 1항에 있어서,상기 복수 개의 코일 각각에 위치하는 보강재를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 전자 맴돌이 공명 이온원 장치용 자석
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원통 형상의 내부 구조체를 제공하는 단계; 및상기 내부 구조체의 외주면에 서로 이격하여 배열되는 복수 개의 코일을 형성하는 단계를 포함하되,상기 복수 개의 코일 각각은 선재가 복수 개의 단으로 권취되어 형성되며, 상기 복수 개의 단은, 상기 복수 개의 단 중 가장 아래의 단이 상기 내부 구조체와 가장 인접하여 위치하며 아랫단으로부터 윗단을 향할수록 각 단의 권선수가 증가하는 계단형 구조를 갖는 것을 특징으로 하는 전자 맴돌이 공명 이온원 장치용 자석의 제조 방법
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제 5항에 있어서,상기 코일을 형성하는 단계는, 상기 계단형 구조의 각 단에 대응되는 권선을 형성하는 단계; 및상기 각 단에 대응되는 권선상에 보강재를 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 전자 맴돌이 공명 이온원 장치용 자석의 제조 방법
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제 5항에 있어서,상기 복수 개의 코일은 상기 내부 구조체의 외주면에 일정한 간격으로 배열된 6개의 코일을 포함하는 것을 것을 특징으로 하는 전자 맴돌이 공명 이온원 장치용 자석의 제조 방법
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제 5항에 있어서,상기 내부 구조체 및 상기 복수 개의 코일을 둘러싸는 솔레노이드 자석을 형성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 전자 맴돌이 공명 이온원 장치용 자석의 제조 방법
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