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PED패턴 획득을 용이하게 하는 TEM의 렌즈제어장치

  • 기술번호 : KST2015014127
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은, 복수개의 전자렌즈 및 각 전자렌즈에 부속하는 다수의 조정코일에 인가되는 전원의 특성을 제어하는 렌즈제어부를 가지는 TEM의 렌즈제어장치로서, (A) 전자렌즈에 인가되는 전원의 특성을 제어하는 전자렌즈제어부와; (B) 상기 조정코일에 연결된 전원특성조정유닛을 통하여 조정코일에 인가되는 전원의 주파수값 및 전류값을 제어하는 조정코일제어부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 PED패턴 획득을 용이하게 하는 TEM의 렌즈제어장치이다.본 발명에 의한 장치를 적용하면, TEM에서 전자빔 회전각 및 회전속도를 정밀하게 제어하고 제어결과를 표시할 수 있기 때문에 한 번의 시료장착으로 물질의 3차원 구조를 빠르고 정확하게 해석할 수 있게 된다.
Int. CL H01J 37/10 (2006.01) H01J 37/26 (2006.01)
CPC
출원번호/일자 1020127012728 (2012.05.17)
출원인 한국기초과학지원연구원
등록번호/일자 10-1332277-0000 (2013.11.18)
공개번호/일자 10-2012-0088748 (2012.08.08) 문서열기
공고번호/일자 (20131122) 문서열기
국제출원번호/일자 PCT/KR2010/009529 (2010.12.29)
국제공개번호/일자 WO2011081463 (2011.07.07)
우선권정보 대한민국  |   1020090132804   |   2009.12.29
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 국제출원
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2012.05.17)
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국기초과학지원연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 정종만 대한민국 대전 유성구
2 김윤중 대한민국 대전 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김원준 대한민국 대전광역시 서구 둔산대로***번길 **, 골드벤처타워***호 타임국제특허법률사무소 (만년동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국기초과학지원연구원 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허법 제203조에 따른 서면
[Patent Application] Document according to the Article 203 of Patent Act
2012.05.17 수리 (Accepted) 1-1-2012-0394500-19
2 수리안내서
Notice of Acceptance
2012.06.04 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2012-0068398-16
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2012.08.31 수리 (Accepted) 4-1-2012-5184293-13
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2012.08.31 수리 (Accepted) 4-1-2012-5184331-50
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2013.04.15 수리 (Accepted) 4-1-2013-5058386-17
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2013.04.15 수리 (Accepted) 4-1-2013-5058545-81
7 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2013.06.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0442217-33
8 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2013.08.26 수리 (Accepted) 1-1-2013-0772469-81
9 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2013.09.26 수리 (Accepted) 1-1-2013-0871226-48
10 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2013.10.21 수리 (Accepted) 1-1-2013-0945616-10
11 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2013.10.21 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2013-0945621-38
12 등록결정서
Decision to grant
2013.10.31 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0755321-36
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.06.22 수리 (Accepted) 4-1-2020-5135881-88
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
복수개의 전자렌즈 및 각 전자렌즈에 부속하는 다수의 조정코일에 인가되는 전원의 특성을 제어하는 TEM의 렌즈제어장치에 있어서,상기 렌즈제어장치는 (A) 전자렌즈에 인가되는 전원의 특성을 제어하는 전자렌즈제어부;(B) 상기 각 조정코일에 연결된 전원특성조정유닛;과 (C) 상기 전원특성조정유닛을 통하여 조정코일에 인가되는 전원의 주파수값 및 전류값을 제어하는 조정코일제어부;로 이루어진 것을 특징으로 하는 PED패턴 획득을 용이하게 하는 TEM의 렌즈제어장치
2 2
제 1 항에 있어서,상기 전원특성조정유닛은 각각의 조정코일마다 연결되어 있는 것을 특징으로 하는 PED패턴 획득을 용이하게 하는 TEM의 렌즈제어장치
3 3
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,상기 조정코일제어부는(a) 조정 대상인 조정코일, 상기 조정코일에 인가될 전원의 주파수값 및 전류값을 입력받는 입력유닛; 및(b) 상기 입력유닛에서 입력된 조정코일을 선택하고, 상기 선택된 조정코일에 입력되는 전원의 주파수값 및 전류값을 제어신호로 변환하여 전원특성조정유닛으로 전송하는 연산/전송유닛;을 포함하는 것을 특징으로 하는 PED패턴 획득을 용이하게 하는 TEM의 렌즈제어장치
4 4
제 3 항에 있어서,상기 조정코일제어부는(c) 상기 입력유닛에 입력된 조정 대상 조정코일, 상기 조정코일에 인가되는 전원의 주파수값과 전류값 및 입력에 따라 제어된 전자빔의 회전각도 및 회전속도값을 계산하여 출력하는 표시유닛을 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 PED패턴 획득을 용이하게 하는 TEM의 렌즈제어장치
5 5
삭제
6 6
제 3 항에 있어서,상기 연산/전송유닛은 각각의 조정코일, 상기 조정코일에 공급되는 전원의 주파수값과 전류값에 대응되는 전자빔의 회전각도 및 회전속도값이 저장된 입출력값DB를 가지며,상기 입력유닛은 전자빔의 희망 회전각도 및 희망 회전속도값을 입력받고,상기 연산/전송유닛은 상기 입출력값DB를 조회하여 희망 회전각도 및 희망 회전속도값에 대응되는 조정코일과 상기 조정코일에 인가되는 전원의 주파수값 및 전류값을 추출하고 제어신호로 변환하여 해당 전원특성조정유닛으로 전송하는 것을 특징으로 하는 PED패턴 획득을 용이하게 하는 TEM의 렌즈제어장치
7 7
제 3 항에 있어서,상기 렌즈제어장치의 입력유닛 및 연산/전송유닛은,제어프로그램이 설치된 컴퓨터인 것을 특징으로 하는 PED패턴 획득을 용이하게 하는 TEM의 렌즈제어장치
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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 KR101167565 KR 대한민국 FAMILY
2 WO2011081463 WO 세계지적재산권기구(WIPO) FAMILY
3 WO2011081463 WO 세계지적재산권기구(WIPO) FAMILY

DOCDB 패밀리 정보

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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 KR101167565 KR 대한민국 DOCDBFAMILY
2 KR20110076844 KR 대한민국 DOCDBFAMILY
3 WO2011081463 WO 세계지적재산권기구(WIPO) DOCDBFAMILY
4 WO2011081463 WO 세계지적재산권기구(WIPO) DOCDBFAMILY
국가 R&D 정보가 없습니다.