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TEM의 3차원 회절패턴분석을 위한 정밀 제어용 전자빔의 회전각도 및 회전속도 제어-표시 시스템

  • 기술번호 : KST2015014166
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 전자빔의 회절현상을 이용한 3차원 구조 분석을 위한 전자빔 회전각도 및 회전속도를 제어하고, 제어된 양을 사용자가 확인할 수 있도록 표시할 수 있게 한 것으로써, 외부입력장치를 통해 입력된 전자빔 회전각도 및 회전속도 제어명령에 대응하여 펄스제어신호 및 전류제어신호를 계산하여 출력하는 연산모듈; 상기 연산모듈로부터 출력되는 펄스제어신호에 따라 전자빔 회전각도 및 회전속도 전기신호 값에 대응되는 기준펄스를 생성하는 기준펄스생성부; 및 상기 연산모듈로부터 출력되는 전류제어신호를 증폭하는 신호증폭부; 를 포함하는 것을 특징으로 한다.
Int. CL H01J 37/26 (2006.01)
CPC
출원번호/일자 1020100138271 (2010.12.29)
출원인 한국기초과학지원연구원
등록번호/일자 10-1167565-0000 (2012.07.16)
공개번호/일자 10-2011-0076844 (2011.07.06) 문서열기
공고번호/일자 (20120727) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보 대한민국  |   1020090132804   |   2009.12.29
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2010.12.29)
심사청구항수 4

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국기초과학지원연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 정종만 대한민국 대전광역시 유성구
2 김윤중 대한민국 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김원준 대한민국 대전광역시 서구 둔산대로***번길 **, 골드벤처타워***호 타임국제특허법률사무소 (만년동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국기초과학지원연구원 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2010.12.29 수리 (Accepted) 1-1-2010-0873709-21
2 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2010.12.30 수리 (Accepted) 1-1-2010-0874853-66
3 보정요구서
Request for Amendment
2011.01.06 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2011-0001902-02
4 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2011.01.07 수리 (Accepted) 1-1-2011-0013823-25
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.10.21 수리 (Accepted) 4-1-2011-5212108-42
6 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2011.11.10 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
7 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2011.12.14 수리 (Accepted) 9-1-2011-0094598-21
8 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2012.01.04 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0006852-66
9 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2012.03.02 수리 (Accepted) 1-1-2012-0172948-08
10 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2012.03.02 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2012-0172965-74
11 등록결정서
Decision to grant
2012.05.18 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0293336-72
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2012.08.31 수리 (Accepted) 4-1-2012-5184331-50
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2012.08.31 수리 (Accepted) 4-1-2012-5184293-13
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2013.04.15 수리 (Accepted) 4-1-2013-5058386-17
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2013.04.15 수리 (Accepted) 4-1-2013-5058545-81
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.06.22 수리 (Accepted) 4-1-2020-5135881-88
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
복수개의 렌즈와 상기 각 렌즈에 부속하는 다수의 조정코일에 공급되는 전원을 제어하는 렌즈제어부, 상기 렌즈제어부에 제어명령을 입력하는 외부입력장치를 포함하는 TEM에서, 상기 외부입력장치를 통해 입력된 전자빔 회전각도 및 회전속도 제어명령에 대응하여 펄스제어신호 및 전류제어신호를 계산하여 출력하는 연산모듈; 상기 연산모듈로부터 출력되는 펄스제어신호에 따라 전자빔 회전각도 및 회전속도 전기신호 값에 대응되는 기준펄스를 생성하는 기준펄스생성부; 및 상기 연산모듈로부터 출력되는 전류제어신호를 증폭하는 신호증폭부; 를 포함하는 조정코일제어부를 구비하는 것을 특징으로 하는 TEM의 3차원 회절패턴분석을 위한 정밀 제어용 전자빔의 회전각도 및 회전속도 제어-표시 시스템
2 2
제 1 항에 있어서, 상기 연산모듈은 출력되는 제어신호(펄스제어신호와 전류제어신호)에 대응하는 전자빔 회전각도 및 회전속도값을 계산하는 기능을 더 포함하고, 상기 연산모듈에서 계산된 전자빔 회전각도 및 회전속도값을 표시하는 표시장치가 추가되는 것을 특징으로 하는 TEM의 3차원 회절패턴분석을 위한 정밀 제어용 전자빔의 회전각도 및 회전속도 제어-표시 시스템
3 3
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,상기 조정코일제어부는 제어프로그램이 설치된 컴퓨터인 것을 특징으로 하는 TEM의 3차원 회절패턴분석을 위한 정밀 제어용 전자빔의 회전각도 및 회전속도 제어-표시 시스템
4 4
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,상기 조정코일제어부는 연산모듈에서 계산된 전자빔 회전각도 및 회전속도값을 저장하는 메모리를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 TEM의 3차원 회절패턴분석을 위한 정밀 제어용 전자빔의 회전각도 및 회전속도 제어-표시 시스템
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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 KR101332277 KR 대한민국 FAMILY
2 WO2011081463 WO 세계지적재산권기구(WIPO) FAMILY
3 WO2011081463 WO 세계지적재산권기구(WIPO) FAMILY

DOCDB 패밀리 정보

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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 KR101332277 KR 대한민국 DOCDBFAMILY
2 KR20120088748 KR 대한민국 DOCDBFAMILY
3 WO2011081463 WO 세계지적재산권기구(WIPO) DOCDBFAMILY
4 WO2011081463 WO 세계지적재산권기구(WIPO) DOCDBFAMILY
국가 R&D 정보가 없습니다.