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시료대, 시료지지봉, 단열이중용기부 및 에어밸브가 장착된 배기포트를 포함하여 구성되는 크라이오 이송 홀더(cryo transfer holder)의 전처리, 또는 히팅홀더를 이용한 열처리 테스트를 위한 장치로서 진공펌프, 진공챔버, 진공포트용 에어밸브가 장착된 진공포트(이때 진공포트는 실린더를 매개로 상기 진공챔버에 연결됨), 상기 크라이오 이송 홀더 또는 히팅홀더가 삽입-장착되는 홀더장착대, 각 부분의 상태를 감지하고 작동을 제어하는 제어부를 포함하는 진공펌프 시스템(Dry pumping system, DPS)에 있어서,상기 진공챔버 내부공간은 게이트밸브에 의해 제1진공챔버와 제2진공챔버로 구획되고, 상기 제1진공챔버 또는 제1진공챔버와 제2진공챔버는 상기 진공펌프에 의해 배기되며, 상기 진공포트 및 진공포트용 에어밸브는 제2진공챔버에 장착되어 있는 것을 특징으로 하는 DPS
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제 1 항에 있어서,상기 제1진공챔버 또는 제1진공챔버와 제2진공챔버에는이중용기구조로 되어 있고, 외부용기와 내부용기 사이의 공간은 상기 진공챔버와 연결되어 있고, 내부용기에는 액체질소가 채워지는, 보조냉각용기가 추가로 장착된 것을 특징으로 하는 DPS
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제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,상기 홀더장착대에는, 상기 크라이오 이송 홀더 또는 히팅홀더가 완전하게 장착되었는지를 감지하는 장착확인센서가 설치되어 있고,상기 제어부는 상기 장착확인센서로부터의 장착완료 신호를 입력받은 경우에만 상기 진공펌프를 작동시키는 것을 특징으로 하는 DPS
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제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,상기 크라이오 이송 홀더 또는 히팅홀더의 시료지지봉 일측에는 가이드 핀이 설치되고, 상기 시료지지봉의 삽입-탈삽입 과정에서 상기 가이드 핀의 동선이 되는 상기 홀더장착대의 양측에는 가이드 핀의 이동을 감지하는 최소한 두 쌍의 이동감지센서가 설치되어 있으며,상기 제어부는 상기 이동감지센서로부터 시료지지봉 삽입신호를 입력받으면 상기 진공펌프를 작동시키고, 시료지지봉 탈삽입신호를 입력받으면 상기 게이트밸브를 닫는 것을 특징으로 하는 DPS
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제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,상기 제어부는 비정상 상황시 상기 진공포트용 에어밸브를 자동으로 닫는 것을 특징으로 하는 DPS
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제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,상기 진공포트는, 챔버연결실린더, 포트연결실린더 및 상기 챔버연결실린더 및 포트연결실린더를 밀폐 연결시키면서 연결길이를 조절할 수 있는 조절실린더로 구성되는 것을 특징으로 하는 DPS
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제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,상기 홀더장착대는,상기 히팅홀더가 삽입-장착되면 히팅홀더의 시료대가 위치하는 부위에, 내부관찰을 위한 하나 이상의 투시창을 가진 캐비티를 포함하는 것을 특징으로 하는 DPS
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제 7 항에 있어서,상기 투시창은 적외선투과성 재질이며, 투시창 외부에 열화상카메라가 장착되는 것을 특징으로 하는 DPS
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