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니켈-텅스텐 박막 및 니켈-텅스텐 박막 형성방법

  • 기술번호 : KST2015014262
  • 담당센터 : 대구기술혁신센터
  • 전화번호 : 053-550-1450
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 니켈-텅스텐 박막 및 그 형성방법에 관한 것이다. 본 발명의 니켈-텅스텐 박막은, 상기한 방법으로 형성되어 박막의 수직방향으로 니켈-텅스텐의 조성이 변화된 것을 특징으로 한다.또 본 발명의 니켈-텅스텐 박막 형성 방법은, 전기 도금 공정으로 니켈-텅스텐 박막을 형성하는 방법으로서, 전기 도금 과정에서의 전류밀도를 조절하여 박막 내에 형성된 니켈-텅스텐의 조성을 변경하는 것을 특징으로 한다.본 발명은, 동일한 도금용액을 이용하기 때문에 추가적인 공정 없이 하나의 전기도금 공정에서 전류밀도를 조절하는 것만으로 수직방향으로 니켈-텅스텐의 조성이 다른 다층의 박막을 제조할 수 있는 효과가 있다.또한, 본 발명의 니켈-텅스텐 박막은 단일의 박막 내에 연성이 뛰어난 조성의 니켈-텅스텐 층과 강도가 뛰어난 조성의 니켈-텅스텐 층이 수직방향으로 분포됨으로써, 연성과 강성이 조합되어 뛰어난 물성을 가지는 니켈-텅스텐 박막을 제공할 수 있다.
Int. CL C25D 5/10 (2006.01) C22C 19/03 (2006.01) C25D 3/56 (2006.01)
CPC C25D 7/12(2013.01) C25D 7/12(2013.01) C25D 7/12(2013.01) C25D 7/12(2013.01) C25D 7/12(2013.01) C25D 7/12(2013.01)
출원번호/일자 1020130088349 (2013.07.25)
출원인 한양대학교 에리카산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2014-0016178 (2014.02.07) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보 대한민국  |   1020120080933   |   2012.07.25
법적상태 거절
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2013.07.25)
심사청구항수 4

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한양대학교 에리카산학협력단 대한민국 경기도 안산시 상록구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 유봉영 대한민국 경기 성남시 분당구
2 최민영 대한민국 경기 김포시 김포한강*로*
3 이상현 대한민국 경기 안산시 상록구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인다울 대한민국 서울 강남구 봉은사로 ***, ***호(역삼동, 혜전빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2013.07.25 수리 (Accepted) 1-1-2013-0675773-58
2 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2013.07.26 수리 (Accepted) 1-1-2013-0677837-28
3 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2013.09.26 수리 (Accepted) 1-1-2013-0872943-34
4 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2013.09.26 수리 (Accepted) 1-1-2013-0873363-31
5 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2014.04.04 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
6 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2014.05.13 수리 (Accepted) 9-1-2014-0036326-96
7 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2015.02.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0142029-77
8 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2015.04.27 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2015-0408585-55
9 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2015.04.27 수리 (Accepted) 1-1-2015-0408586-01
10 보정요구서
Request for Amendment
2015.05.04 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2015-0078387-18
11 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2015.05.06 수리 (Accepted) 1-1-2015-0433448-95
12 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2015.05.21 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0340999-17
13 [법정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Extension of Legal Period] Request for Extension of Period (Reduction, Expiry Reconsideration)
2015.06.22 무효 (Invalidation) 7-1-2015-0028150-91
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
박막의 수직방향으로 니켈-텅스텐의 조성이 변화된 것을 특징으로 하는 니켈-텅스텐 박막
2 2
청구항 1에 있어서,상기 박막의 수직방향으로 니켈-텅스텐의 조성이 다른 다층구조로 구성된 것을 특징으로 하는 니켈-텅스텐 박막
3 3
청구항 2에 있어서,상기 다층구조의 니켈-텅스텐 박막은, 텅스텐의 함량이 상대적으로 적어서 연성이 뛰어난 니켈-텅스텐 층과 텅스텐 함량이 상대적으로 많아서 강도가 뛰어난 니켈-텅스텐 층이 교번하여 적층된 것을 특징으로 하는 니켈-텅스텐 박막
4 4
청구항 3에 있어서,니켈-텅스텐 박막을 전기 도금하는 기재의 강도에 따라서, 상기 연성이 뛰어난 니켈-텅스텐 층 또는 상기 강도가 뛰어난 니켈-텅스텐 층을 기재 표면에 위치시킨 것을 특징으로 하는 니켈-텅스텐 박막
5 5
청구항 4에 있어서,니켈-텅스텐 박막을 전기 도금하는 기재의 강도가 높은 경우에 상기 연성이 뛰어난 니켈-텅스텐 층을 최하층에 위치시킨 것을 특징으로 하는 니켈-텅스텐 박막
6 6
청구항 3에 있어서,니켈-텅스텐 박막의 표면에 요구되는 물성에 따라서, 상기 연성이 뛰어난 니켈-텅스텐 층 또는 상기 강도가 뛰어난 니켈-텅스텐 층을 최상층에 위치시킨 것을 특징으로 하는 니켈-텅스텐 박막
7 7
청구항 3에 있어서,니켈-텅스텐 박막의 위에 코팅이 형성되며, 상기 기재의 강도에 따라서, 상기 연성이 뛰어난 니켈-텅스텐 층 또는 상기 강도가 뛰어난 니켈-텅스텐 층을 최상층에 위치시킨 것을 특징으로 하는 니켈-텅스텐 박막
8 8
전기 도금 공정으로 니켈-텅스텐 박막을 형성하는 방법으로서,전기 도금 공정에서의 전류밀도를 조절하여 박막 내에 형성된 니켈-텅스텐의 조성을 변경하는 것을 특징으로 하는 니켈-텅스텐 박막 형성방법
9 9
청구항 8에 있어서,상기 전류밀도가 상기 전기 도금 공정 동안에 1회 이상 변경되는 것을 특징으로 하는 니켈-텅스텐 박막 형성방법
10 10
청구항 8에 있어서,상기 도금 공정에 사용되는 도금용액의 pH가 6 내지 8인 것을 특징으로 하는 니켈-텅스텐 박막 형성방법
11 11
청구항 8에 있어서,상기 도금 공정에서 사용되는 도금용액이 니켈 공급원인 NiSO4-6H2O와 텅스텐 공급원인 Na2WO4-2H2O 및 첨가제로서 C6H5Na3O7-2H2O를 포함하는 것을 특징으로 하는 니켈-텅스텐 박막 형성방법
12 12
청구항 11에 있어서,상기 도금용액의 pH가 6이고, 상기 NiSO4-6H2O의 농도가 0
13 13
청구항 12에 있어서,상기 전기 도금 공정에서 인가되는 전류가 직류 전류이고, 직류 전류 밀도가 10mA/cm2인 경우와 직류 전류 밀도가 40mA/cm2인 경우를 교대로 수행하여 다층의 니켈-텅스텐 박막을 형성하는 것을 특징으로 하는 니켈-텅스텐 박막 형성방법
14 14
청구항 12에 있어서,상기 전기 도금 공정에서 인가되는 전류가 듀티 사이클이 0
15 15
청구항 8 내지 청구항 12 중에 하나의 방법으로 제조된 것을 특징으로 하는 니켈-텅스텐 박막
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 지식경제부(산업통상자원부) 한양대학교 에리카산학협력단 에너지기술개발사업 변환 효율 20%달성을 위한 두께 20um급 플라즈모닉 초박형 실리콘-금속 이종접합 태양전지 개발