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케이스(20)의 내부에 수납된 베드(10);
상기 베드(10)의 상부면에 Y축 방향으로 길게 설치되어서 이에 설치된 Y축슬라이드베이스(31)를 왕복이송시키는 판이동용 Y축이송로봇(30);
상기 판이동용 Y축이송로봇(30)의 Y축슬라이드베이스(31)에 설치되고 상부면에 스크린판(1)이 고정되며 스크린판(1)과 함께 Y축 방향으로 이송되는 판거치테이블(40);
상기 판거치테이블(40)에 설치되어서 그 상부면에 안착된 스크린판(1)의 위치를 보정하고 고정시키는 스크린판고정부(50);
상기 베드(10)의 상부면에 X축 방향으로 길게 설치되어서 이에 설치된 X축슬라이드베이스(61)를 왕복이송시키고 상기 Y축이송로봇(30)의 상부에 이와 직교하도록 위치되는 광원이동용 X축이송로봇(60);
상기 X축이송로봇(60)의 X축슬라이드베이스(61)에 설치되어서 이를 따라 X축 방향으로 이송되고 스크린판(1)에 빛을 조사하는 광조사헤드(70);
상기 X축이송로봇(60)의 X축슬라이드베이스(61)와 광조사헤드(70) 사이에 설치되어서 상기 광조사헤드(70) 및 스크린판(1) 사이의 수직 간격을 조절하는 광조사거리조절부(80);
상기 베드(10)의 상부면에 설치되고 상기 광조사헤드(70)에 연결되어서 이에 빛을 전달하는 광조사장치(90);
상기 케이스(20)에 설치되고 상기 광조사장치(90) 및 X축이송로봇(60), Y축이송로봇(30)에 연결되며 입력된 패턴에 따라 상기 광조사장치(90) 및 X축이송로봇(60), Y축이송로봇(30)을 제어하는 터치패널(100);
상기 터치패널(100)에 연결되고 스크린 제판의 패턴이 수치적인 신호로 입력되며 입력된 신호를 상기 터치패널(100)로 전송하는 패턴입력프로그램부(110);를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 포토마스크리스 노광장치
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제1항에 있어서, 상기 케이스(20)에는,
그 내부를 개폐하고 닫힌 상태에서 내부를 투시할 수 있도록 투명재의 커버(21)가 설치되어 있고,
상기 스크린판(1)에 도포된 레지스트 중의 용제가 증발될 시 이를 외부로 배출시킬 수 있도록 케이스(20)의 상부 및 측면에 상부배기팬(24) 및 측면배기팬(25)이 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 포토마스크리스 노광장치
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제1항에 있어서, 상기 스크린판고정부(50)는,
스크린판(1)의 테두리가 지지되도록 상기 판거치테이블(40)의 둘레에 설치되는 스토퍼(51)들과,
상기 판거치테이블(40)에 안착된 상기 스크린판(1)을 X축방향으로 밀어서 상기 스크린판(1)의 일측면이 대응 스토퍼(51)에 밀착되도록 상기 스토퍼(51)에 설치되는 X축클램프(52)와,
상기 판거치테이블(40)에 안착된 상기 스크린판(1)을 Y축방향으로 밀어서 상기 스크린판(1)의 다른 측면이 대응 스토퍼(51)에 밀착되도록 상기 스토퍼(51)에 설치되는 Y축클램프(53)로 이루어진 것을 특징으로 하는 포토마스크리스 노광장치
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제1항에 있어서, 상기 광조사헤드(70)는,
상기 광조사장치(90)로부터 조사된 빛을 안내하는 광파이버라이트가이드(71)와,
상기 광파이버라이트가이드(71) 내에 설치되어서 안내된 빛을 집광시키는 집광랜즈(72)와,
상기 집광랜즈(72) 하부의 광파이버라이드가이드(84)에 결합되고 집광된 빛이 일정한 크기로 조사되도록 빛의 일부를 차단하여서 일정한 크기의 빛만 통과시키는 슬릿(73)으로 이루어진 것을 특징으로 하는 포토마스크리스 노광장치
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제1항에 있어서, 상기 광조사거리조절부(80)는,
상기 Y축이송로봇(30)의 Y축슬라이드베이스(31)에 고정되어서 이와 함께 Y축 방향으로 왕복이송되고 상기 광조사헤드(70)가 Z축방향으로 이송되도록 안내하며 Z축 방향의 가이드홈(82)이 형성된 Z축고정테이블(81)과,
상기 광조사헤드(70)가 설치되고 상기 Z축고정테이블(81)의 가이드홈(82)에 슬라이드 결합되도록 가이드(84)가 형성되며 가이드(84)의 일면에 랙기어(85)가 형성된 랜즈홀더(83)와,
상기 Z축고정테이블(81)에 시계방향 또는 반시계방향으로 회전되도록 설치되고 둘레에 상기 가이드(84)의 랙기어(85)에 치합되도록 피니언기어(87)가 형성되며 시계방향 또는 반시계방향으로 회전시킬 시 상기 랜즈홀더(83)가 상기 Z축고정테이블(81)을 따라 Z축 방향으로 이송되도록 하는 조절나사(86)로 이루어진 것을 특징으로 하는 포토마스크리스 노광장치
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제1항에 있어서, 상기 광조사장치(90)는,
열발생이 없고 순간 점등 및 소등이 가능하며 365nm 파장의 광원을 광의 확산없이 조사 가능한 UV LED 광원으로 이루어진 것을 특징으로 하는 포토마스크리스 노광장치
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