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초임계이산화탄소 내에서 고이온주입된 포토레지스트 제거에 유용한 초음파 세정 시스템

기술번호 : KST2015014501
담당센터 : 부산기술혁신센터
전화번호 : 051-606-6561

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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약	본 발명은 환경친화적인 초임계이산화탄소 내에서 고이온주입된 포토레지스트를 효과적으로 제거하는데 유용한 초음파 세정 시스템에 관한 것이다. 구체적으로, 본 발명은 초음파 장비를 고압 반응기 내부에 장착하고 두 개 이상이거나 웨이퍼 전면에 균일하게 처리될 수 있는 단면적의 초음파 혼으로 구성되어 초음파가 상기 고압 반응기 내부에서 중첩되고 세정조 내에 있는 피세정물인 지지체 표면에 고르게 분포되어, 지지체 표면의 미세 패턴에 손상을 최소한으로 줄이고 고이온주입된 포토레지스트를 효과적으로 제거할 수 있는 초임계이산화탄소 내에서 초음파 장치를 이용한 초음파 세정 시스템 장치에 관한 것이다. 초임계이산화탄소, 초음파, 혼, 패턴 세정, 고이온주입된 포토레지스트
Int. CL	H01L 21/304 (2006.01.01)
CPC
출원번호/일자	1020080048349 (2008.05.26)
출원인	부경대학교 산학협력단
등록번호/일자	10-1003206-0000 (2010.12.15)
공개번호/일자	10-2009-0122500 (2009.12.01) 문서열기
공고번호/일자	(20101221) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태	소멸
심사진행상태	수리
심판사항	심판사항
구분	신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자	Y (2008.05.26)
심사청구항수	4

출원인

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번호	이름	국적	주소
1	부경대학교 산학협력단	대한민국	부산광역시 남구

발명자

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번호	이름	국적	주소
1	임권택	대한민국	부산광역시 부산진구
2	이민영	대한민국	부산광역시 해운대구
3	김승호	대한민국	부산광역시 부산진구

대리인

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번호	이름	국적	주소
대리인 정보가 없습니다

최종권리자

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번호	이름	국적	주소
1	부경대학교 산학협력단	대한민국	부산광역시 남구

번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호	서류명	접수/발송일자	처리상태	접수/발송번호
1	[특허출원]특허출원서 [Patent Application] Patent Application	2008.05.26	수리 (Accepted)	1-1-2008-0369761-04
2	선행기술조사의뢰서 Request for Prior Art Search	2009.05.19	수리 (Accepted)	9-1-9999-9999999-89
3	선행기술조사보고서 Report of Prior Art Search	2009.06.12	수리 (Accepted)	9-1-2009-0035170-29
4	의견제출통지서 Notification of reason for refusal	2009.10.13	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2009-0421815-62
5	[명세서등 보정]보정서 [Amendment to Description, etc.] Amendment	2009.12.14	보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment)	1-1-2009-0769248-09
6	[거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 [Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)	2009.12.14	수리 (Accepted)	1-1-2009-0769236-51
7	거절결정서 Decision to Refuse a Patent	2010.04.07	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2010-0146225-29
8	명세서 등 보정서(심사전치) Amendment to Description, etc(Reexamination)	2010.05.03	보정승인 (Acceptance of amendment)	7-1-2010-0018773-52
9	의견제출통지서 Notification of reason for refusal	2010.06.09	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2010-0245241-05
10	[명세서등 보정]보정서 [Amendment to Description, etc.] Amendment	2010.07.06	보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment)	1-1-2010-0434597-74
11	[거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 [Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)	2010.07.06	수리 (Accepted)	1-1-2010-0434592-46
12	등록결정서 Decision to grant	2010.11.29	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2010-0543793-97
13	출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information	2019.07.04	수리 (Accepted)	4-1-2019-5132722-09
14	출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information	2019.08.13	수리 (Accepted)	4-1-2019-5161225-98
15	출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information	2019.12.31	수리 (Accepted)	4-1-2019-5277245-32
16	출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information	2020.07.31	수리 (Accepted)	4-1-2020-5172403-90

번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호	청구항
1	1 초임계이산화탄소 내에서 오염물질을 효과적으로 제거하는데 유용한 초음파 장비 및 이를 이용하여 초임계이산화탄소 내에서 오염물질을 효과적으로 제거하는 방법에 있어서, 이산화탄소 고압 반응기 셀 내부에 장착될 수 있는 덮게(2)와 상기 덮게 내부에 다양하게 위치되어 초임계유체와 세정액에 초음파를 전달하여 상기 세정액을 진동시키는 다수의 진동전달부재(3)와 상기 진동 전달부재를 발진시키는 진동 발생부재(20)를 포함하고, 상기 세정액은 소이산화탄소(친수성 또는 친유성) 부분과 친이산화탄소 부분으로 구성된 양쪽성 계면활성제; 극성용매(N-메틸피릴리돈(NMP), 디메틸 설폭시드 (DMSO), 디메틸아세트아미드 (DMAc), 디메틸포름아미드(DMF), 테트라히드로푸란(THF), 아세톤(Acetone)) 또는 알콜류(이소프로판올(IPA), 에탄올, 프로판올, 디에틸렌글리콜) 중에서 하나 이상을 포함하는 공용매; 및 테트라알킬암모늄하이드록사이드, 포르말린, 포름산, 아세트산, 아미노산, 옥살산 중 하나 이상의 첨가제;를 포함하며, 상기 진동전달부재(3)는 고압 반응기 내부에 장착하고 한 개 이상으로 웨이퍼 전면에 균일하게 처리될 수 있는 단면적의 초음파 혼으로 구성되어 초음파가 상기 고압 반응기 내부에서 중첩되고 세정조 내에 있는 피세정물인 지지체 표면에 고르게 분포되어, 지지체 표면의 미세 패턴에 손상을 최소한으로 줄이고 고이온주입된 포토레지스트를 효과적으로 제거할 수 있는 초임계이산화탄소 내에서 초음파 장치를 이용한 초음파 세정 시스템 장치
2	2 삭제
3	3 제1항에 있어서, 상기 진동전달부재는 지지체 상에 로딩되는 경우 상기 지지체의 전면에 초음파가 집중되지 않고 고르게 전달될 수 있도록 하나 이상을 포함하는 것을 특징으로 하는 초음파 세정 시스템 장치
4	4 제3항에 있어서, 상기 진동전달부재는 횡과 종으로 이격되어 형성되어 상기 지지체의 전면에 초음파가 집중되지 않고 고르게 전달될 수 있도록 하는 것을 특징으로 하는 초음파 세정 시스템 장치
5	5 제3항에 있어서, 상기 진동전달부재는 횡 또는 종으로 이격되어 다중배열되어 상기 지지체의 전면에 초음파가 집중되지 않고 고르게 전달될 수 있도록 하는 것을 특징으로 하는 초음파 세정 시스템 장치
6	6 삭제
7	7 삭제
8	8 삭제
9	9 삭제
10	10 삭제

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순번	패밀리번호	국가코드	국가명	종류
1	US20090288689	US	미국	FAMILY

DOCDB 패밀리 정보

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순번	패밀리번호	국가코드	국가명	종류
1	US2009288689	US	미국	DOCDBFAMILY

본 등록정보는 참고용으로 법적증빙자료로 사용할 수 없습니다.
데이터 이관에 따른 소요기간(1일)으로 인하여 등록원부와 일부 차이가 발생할 수 있으며, 일부 정보(부기, 상세 주소 등)를 제공하지 않고 있습니다.
법적증빙자료로 활용하시거나 더 자세한 정보를 보시려면 등록원부를 발급받아 사용하시기 바랍니다.

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특허 등록번호	10-1003206-0000

권리란

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표시번호	사항
1	출원 연월일 : 20080526 출원 번호 : 1020080048349 공고 연월일 : 20101221 공고 번호 : 특허결정(심결)연월일 : 20101129 청구범위의 항수 : 4 유별 : H01L 21/304 발명의 명칭 : 초임계이산화탄소 내에서 고이온주입된 포토레지스트제거에 유용한 초음파 세정 시스템 존속기간(예정)만료일 : 20161216

특허권자란

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순위번호	사항
1	(권리자) 부경대학교 산학협력단 부산광역시 남구...

등록료란

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제 1 - 3 년분	금 액	100,500 원	2010년 12월 15일	납입
제 4 년분	금 액	128,000 원	2013년 12월 12일	납입
제 5 년분	금 액	89,600 원	2014년 11월 27일	납입
제 6 년분	금 액	89,600 원	2015년 12월 01일	납입

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정확한 서류를 확인하시려면 해당 웹사이트에서 조회하시기 바랍니다. (특허로 바로가기: http://www.patent.go.kr)
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번호	서류명	접수/발송일자	처리상태	접수/발송번호
1	[특허출원]특허출원서	2008.05.26	수리 (Accepted)	1-1-2008-0369761-04
2	선행기술조사의뢰서	2009.05.19	수리 (Accepted)	9-1-9999-9999999-89
3	선행기술조사보고서	2009.06.12	수리 (Accepted)	9-1-2009-0035170-29
4	의견제출통지서	2009.10.13	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2009-0421815-62
5	[명세서등 보정]보정서	2009.12.14	보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment)	1-1-2009-0769248-09
6	[거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서	2009.12.14	수리 (Accepted)	1-1-2009-0769236-51
7	거절결정서	2010.04.07	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2010-0146225-29
8	명세서 등 보정서(심사전치)	2010.05.03	보정승인 (Acceptance of amendment)	7-1-2010-0018773-52
9	의견제출통지서	2010.06.09	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2010-0245241-05
10	[명세서등 보정]보정서	2010.07.06	보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment)	1-1-2010-0434597-74
11	[거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서	2010.07.06	수리 (Accepted)	1-1-2010-0434592-46
12	등록결정서	2010.11.29	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2010-0543793-97
13	출원인정보변경(경정)신고서	2019.07.04	수리 (Accepted)	4-1-2019-5132722-09
14	출원인정보변경(경정)신고서	2019.08.13	수리 (Accepted)	4-1-2019-5161225-98
15	출원인정보변경(경정)신고서	2019.12.31	수리 (Accepted)	4-1-2019-5277245-32
16	출원인정보변경(경정)신고서	2020.07.31	수리 (Accepted)	4-1-2020-5172403-90


기술번호	KST2015014501
자료제공기관	NTB
기술공급기관	부경대학교
기술명	초임계이산화탄소 내에서 고이온주입된 포토레지스트 제거에 유용한 초음파 세정 시스템
기술개요	본 발명은 환경친화적인 초임계이산화탄소 내에서 고이온주입된 포토레지스트를 효과적으로 제거하는데 유용한 초음파 세정 시스템에 관한 것이다. 구체적으로, 본 발명은 초음파 장비를 고압 반응기 내부에 장착하고 두 개 이상이거나 웨이퍼 전면에 균일하게 처리될 수 있는 단면적의 초음파 혼으로 구성되어 초음파가 상기 고압 반응기 내부에서 중첩되고 세정조 내에 있는 피세정물인 지지체 표면에 고르게 분포되어, 지지체 표면의 미세 패턴에 손상을 최소한으로 줄이고 고이온주입된 포토레지스트를 효과적으로 제거할 수 있는 초임계이산화탄소 내에서 초음파 장치를 이용한 초음파 세정 시스템 장치에 관한 것이다. 초임계이산화탄소, 초음파, 혼, 패턴 세정, 고이온주입된 포토레지스트
개발상태	기술개발완료
기술의 우수성
응용분야	포토레지스트 세정 분야(액정 디스플레이(LCD) 장치용 유리기판, 반도체 웨이퍼, 데이터 저장 등을 위한 자기 디스크)
시장규모 및 동향
희망거래유형	기술매매,기술협력,기술지도,
사업화적용실적
도입시고려사항


과제고유번호	1345071571
세부과제번호	핵06B3707
연구과제명	환경친화적디스플레이소재및인력개발사업팀
성과구분	출원
부처명	교육과학기술부
연구관리전문기관명	한국학술진흥재단
연구주관기관명	부경대학교
성과제출연도	2008
연구기간	200603~201302
기여율	1
연구개발단계명	응용연구
6T분류명	기타


과제고유번호	1415108071
세부과제번호	10032162
연구과제명	45nm 초임계유체 세정 모듈 개발
성과구분	등록
부처명	지식경제부
연구관리전문기관명	한국산업기술평가관리원
연구주관기관명	(주)일신오토클레이브
성과제출연도	2010
연구기간	200811~201110
기여율	1
연구개발단계명	기초연구
6T분류명	NT(나노기술)

특허성과

[1020080119244]	초임계 유체 프로세서에 의해 탄소섬유 제조용 폴리아크릴로니트릴계 전구체섬유의 제조방법	새창보기
[1020080091629]	초임계이산화탄소 내에서 손상된 낮은 유전 상수의 오가노실리케이트 필름의 소수성을 복원하는 방법	새창보기
[1020080048349]	초임계이산화탄소 내에서 고이온주입된 포토레지스트 제거에 유용한 초음파 세정 시스템	새창보기
[1020080009860]	초임계이산화탄소 내에서 초음파를 이용한 오염물질의 제거방법	새창보기
[1020070092869]	습식 에칭 후 초임계이산화탄소 내에서의 계면활성제를 이용한 반도체 기판 건조 방법	새창보기
[1020070013477]	초임계이산화탄소를 이용한 나노컴포지트의 제조방법	새창보기
[1020070013476]	초임계 이산화탄소를 이용하는 폴리 아크릴로일 베타알라닌 고분자 나노입자 제조기술	새창보기
[1020050076103]	초임계 이산화탄소에 적용되는 계면활성제, 이를 활용하여이산화탄소 유체에 의한 각종 전자 기판의 세정 효율을향상시키는 방법	새창보기

번호	심판번호(숫자)	심판번호(문자)	사건의표시	청구일	심결일자
1	2010101003285	2010원3285	2008년 특허출원 제0048349호 거절결정불복	2010.05.03	2010.11.29

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