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박막의 미세성장제어장치 및 제어방법

  • 기술번호 : KST2015014614
  • 담당센터 : 부산기술혁신센터
  • 전화번호 : 051-606-6561
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 기존의 박막성장장치의 구조를 그대로 이용하면서 박막의 두께를 제어할 수 있는 장치에 관한 것으로서, 덮개가 있는 시료 트레이를 사용함으로써 기판이 결정재료가 포함된 재료가스에 노출되는 시간을 조절하여 얇은 층 및 양자우물 구조등과 같이 박막의 미세한 두께 제어와 나노 막대, 나노 선, 나노 바늘의 성장이 가능한 장치 및 방법을 제공한다.
Int. CL C30B 25/16 (2006.01.01) C30B 25/14 (2006.01.01)
CPC C30B 25/16(2013.01) C30B 25/16(2013.01)
출원번호/일자 1020120045637 (2012.04.30)
출원인 부경대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1365224-0000 (2014.02.10)
공개번호/일자 10-2013-0122368 (2013.11.07) 문서열기
공고번호/일자 (20140219) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2012.04.30)
심사청구항수 2

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 부경대학교 산학협력단 대한민국 부산광역시 남구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이삼녕 대한민국 부산 수영구
2 양민 대한민국 부산 수영구
3 신기삼 대한민국 부산광역시 남구
4 안형수 대한민국 부산 금정구
5 이효종 대한민국 부산 북구
6 유영문 대한민국 서울 관악구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인 동원 대한민국 서울특별시 서초구 반포대로**길 **, ****호 (서초동, 현대전원오피스텔)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 부경대학교 산학협력단 부산광역시 남구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2012.04.30 수리 (Accepted) 1-1-2012-0346044-20
2 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2013.04.22 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0268558-59
3 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2013.06.21 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2013-0557230-44
4 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2013.06.21 수리 (Accepted) 1-1-2013-0557227-17
5 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2013.10.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0738407-10
6 [명세서등 보정]보정서(재심사)
Amendment to Description, etc(Reexamination)
2013.11.07 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2013-1016023-34
7 등록결정서
Decision to Grant Registration
2013.12.10 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0857125-53
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.07.04 수리 (Accepted) 4-1-2019-5132722-09
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.08.13 수리 (Accepted) 4-1-2019-5161225-98
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.12.31 수리 (Accepted) 4-1-2019-5277245-32
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.07.31 수리 (Accepted) 4-1-2020-5172403-90
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
박막성장장치;상기 박막성장장치 내에 기판이 놓여지는 트레이; 상기 트레이를 덮는 덮개;상기 덮개에 연결되어 덮개의 위치 조절이 가능한 막대;를 포함하며,상기 덮개가 상기 트레이 위를 슬라이딩하며,상기 막대가 상기 덮개를 당기거나 미는 것에 의해상기 트레이상의 기판이 개폐되는 것을 특징으로 하는박막의 미세성장제어장치
2 2
제1항에 있어서, 상기 박막성장장치가 배기장치를 포함하며,상기 막대가 상기 배기장치를 통해 외부에서 조절되는 것을 특징으로 하는 박막의 미세성장제어장치
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삭제
4 4
삭제
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.