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공급되는 전류에 의해 발열하며 발열 상태에서 가스 접촉시 연소가 일어나도록 유도되는 감지소자와;상기 감지소자의 양 측면에 형성되며, 상기 감지소자로 전류를 공급하는 전극과;상기 감지소자와 전극의 하단에 형성된 멤브레인; 및상기 멤브레인의 하단에 형성되며, 일부가 식각된 실리콘 기판;을 포함함을 특징으로 하는 접촉 연소식 가스센서
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제 1항에 있어서, 상기 감지소자는 SnO2, WO2, TiO2 중 어느 하나로 구성되며, 상기 전극은 Cr과 Au으로 구성된 합금 또는 Ti과 Pt로 구성된 합금 중 어느 하나임을 특징으로 하는 접촉 연소식 가스센서
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제 2항에 있어서, 상기 멤브레인의 재질은 SiNx임을 특징으로 하는 접촉 연소식 가스센서
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제 3항에 있어서, 상기 전극으로 전류를 공급하며, 상기 감지소자에 접촉하는 가스의 연소 시 발생하는 열용량의 변화를 이용하여 접촉하는 가스의 종류 및 농도를 측정함을 특징으로 하는 접촉 연소식 가스센서
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실리콘 기판의 양단에 SiNx를 증착하는 단계;상기 양단에 증착된 SiNx 중 어느 한 면에 증착된 SiNx의 상단에 SnO2, WO2, TiO2 중 어느 하나를 적층하여 감지소자를 형성하는 단계;적층한 상기 SnO2, WO2, TiO2 의 양단에 Cr과 Au으로 구성된 합금 또는 Ti과 Pt로 합금 중 어느 하나의 합금으로 전극을 형성하는 단계; 및상기 실리콘 기판의 일부를 식각하는 단계를 포함함을 특징으로 하는 접촉 연소식 가스센서 제조 방법
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제 5항에 있어서, 상기 감지소자를 형성하는 단계는,스크린 프린팅 공정 또는 나노선 성장 공정, 반도체 식각 공정 중 어느 하나의 공정을 이용하며,상기 감지소자는 전극으로부터 제공받은 전력에 의해 발열하며, 접촉하는 가스를 감지함을 특징으로 하는 접촉 연소식 가스센서 제조 방법
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