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하우징(140);상기 하우징(140) 내부에 구비되어 기판을 안착시키는 스핀 척(110);상기 스핀 척(110)의 하부에 결합되어 모터 구동에 의한 회전력을 상기 스핀 척에 전달하는 구동 축(120);상기 구동 축(120)의 외부를 감싸도록 형성되며 원통 형상의 완충 부재를 포함하는 진동 흡수부; 및상기 하우징(140)의 내벽에 구비되어 상기 스핀 척(110)을 진동시키는 하나 이상의 초음파 발생 장치(130);를 포함하되,상기 하우징(140)은 곡면 형상이며 금속재질로 구비되고,상기 초음파 발생 장치(130)는 상기 하우징(140) 내면에 1 액성 접착제로 부착되는 것을 특징으로 하는 것을 특징으로 하는, 스핀 코터
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제1항에 있어서, 상기 초음파 발생 장치(130)가 상기 스핀 척(110)의 중심으로부터 5cm 내지 10cm 이격된, 스핀 코터
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제1항에 있어서, 상기 하우징(140)의 내벽에 구비된 상기 초음파 발생 장치(130)의 수가 2개 내지 10개인, 스핀 코터
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제3항에 있어서, 각각의 상기 초음파 발생 장치(130)가 일정한 각 거리(angular distance)로 이격된, 스핀 코터
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스핀 코터(100)를 이용하여 스핀 코팅을 수행하는 방법에 있어서,스핀 척(110) 상에 기판(210)을 안착시키는 단계(S110);상기 기판(210) 상에 제1 코팅 용액을 적가(dropping)하는 단계(S120);하우징(140)의 내벽에 구비된 초음파 발생 장치(130)를 이용하여 상기 스핀 척(110) 상에 안착된 상기 기판(210)을 진동시키는 단계(S130); 및상기 스핀 척(110)을 회전시켜 상기 기판 상에 상기 제1 코팅 용액을 코팅한 후, 열 처리하여 제1 박막층(220)을 형성시키는 단계(S140);를 포함하되,상기 스핀 코터(100)는 구동 축(120)의 외부를 감싸도록 형성되며 원통 형상의 완충 부재를 구비하고,상기 하우징(140)은 곡면 형상이며 금속재질로 구비되고,상기 초음파 발생 장치(130)는 상기 하우징(140) 내면에 1 액성 접착제로 부착되는 것을 특징으로 하는 것을 특징으로 하는, 스핀 코팅 방법
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제5항에 있어서, 상기 제1 박막층 상에 제2 코팅 용액을 적가하는 단계(S150); 및상기 스핀 척(110)을 회전시켜 상기 제1 박막층(220) 상에 상기 제2 코팅 용액을 코팅한 후, 열 처리하여 제2 박막층을 형성시키는 단계;를 더 포함하는, 스핀 코팅 방법
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제5항에 있어서, 상기 기판(210)을 진동시키는 단계가 20초 내지 40초 간 수행되는, 스핀 코팅 방법
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제5항 또는 제6항에 있어서, 상기 스핀 척(110)의 회전 속도가 1,000rpm 내지 4,000rpm인, 스핀 코팅 방법
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제5항 또는 제6항에 있어서, 상기 열 처리가 200 내지 500에서 수행되는, 스핀 코팅 방법
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