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테라헤르츠파가 통과하는 테라헤르츠파 평행 도파관 센서에 있어서, 상부 금속판의 평행면과 하부 금속판의 평행면이 서로 대향 배치되는 한 쌍의 금속판; 상기 한 쌍의 금속판 사이 공간에 상기 상부 금속판의 평행면 및 상기 하부 금속판의 평행면과 평행하게 이격 형성되는 시트; 상기 평행면과 대향하는 위치의 상기 시트에 형성되는 슬릿; 및 상기 한 쌍의 금속판 중 적어도 하나의 평행면에 형성되는 절연 필름을 포함하고, 상기 테라헤르츠파가 상기 슬릿에 의해 분리되고, 분리된 상기 테라헤르츠파 중 하나가 상기 절연 필름을 통과하도록 상기 테라헤르츠파의 진행 방향 기준으로 상기 절연 필름은 상기 슬릿의 후측에 배치되며, 상기 절연 필름에 의해 발생되는 분리된 상기 테라헤르츠파의 상부 및 하부 채널의 경로차를 이용하여 높은 Q-팩터 공진(High Q-factor Resonance) 발생에 사용하거나, 분리된 경로에 물질의 경로 변화를 통해 공진(Resonance)의 움직임 또는 시간영역 파의 시간 지연을 감지하고, 상부 및 하부 채널 중 하나의 채널을 개방하는 경우, 상기 시트는 상기 테라헤르츠파가 입력되는 일측이 상기 시트를 기준으로 상부 또는 하부로 만곡되어, 상기 테라헤르츠파가 상기 시트를 기준으로 상부 또는 하부 중 선택적으로 입력되도록 하여, 상부 또는 하부 채널 중 하나의 채널 개방을 통해 공진(Resonance) 이동 방향을 제어하고, 얇은 박막 또는 미량 샘플을 상기 테라헤르츠파를 이용하여 검출하며, 상기 절연 필름은, 길이, 두께, 굴절률, 코팅 재질, 및 위치 중 적어도 어느 하나 이상에 의해 공진 주파수 위치가 변화되어, 코팅된 상기 절연 필름의 경우 코팅 물질을 검출 가능하며, 측정되는 공진 주파수의 위치에 따라 상기 절연 필름의 길이, 두께, 굴절률, 코팅 재질, 및 위치 중 적어도 어느 하나 이상을 유추 가능한 것을 특징으로 하는 테라헤르츠파 평행 도파관 센서
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제1항에 있어서,상기 한 쌍의 금속판 사이 공간을 따라 상기 테라헤르츠파가 통과하는 것을 특징으로 하는 테라헤르츠파 평행 도파관 센서
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제1항에 있어서,상기 한 쌍의 금속판은, 상기 상부 금속판과 상기 하부 금속판의 사이 공간의 간격이 상기 평행면의 단부까지 점진적으로 감소하는 경사면으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 테라헤르츠파 평행 도파관 센서
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제3항에 있어서, 상기 한 쌍의 금속판은 상기 평행면과 상기 경사면 사이의 경계는 곡면으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 테라헤르츠파 평행 도파관 센서
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제1항에 있어서,상기 한 쌍의 금속판의 사이 공간의 일측에는 상기 테라헤르츠파가 입력되는 입력단이 형성되고, 타측에는 상기 테라헤르츠파가 출력되는 출력단이 형성되어, 상기 테라헤르츠파가 상기 한 쌍의 금속판의 사이 공간을 일방향으로 통과하는 것을 특징으로 하는 테라헤르츠파 평행 도파관 센서
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제5항에 있어서,상기 시트는 경사면으로 이루어진 상기 입력단과 상기 출력단까지 돌출된 길이를 갖는 것을 특징으로 하는 테라헤르츠파 평행 도파관 센서
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제1항에 있어서,상기 시트는 금속 재질로 이루어지는 것을 특징으로 하는 테라헤르츠파 평행 도파관 센서
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제1항에 있어서,상기 슬릿은 상기 한 쌍의 금속판의 상기 평행면의 중심 위치와 대향하는 지점에 형성되는 것을 특징으로 하는 테라헤르츠파 평행 도파관 센서
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제1항에 있어서, 상기 시트에는 하나의 단일 슬릿이 형성되어, 특정 주파수 대역을 차단하는 노치 필터로 사용되는 것을 특징으로 하는 테라헤르츠파 평행 도파관 센서
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제1항에 있어서, 상기 시트는 상기 상부 금속판의 평행면과 상기 하부 금속판의 평행면 사이의 중간 지점에 평행하게 위치시키는 것을 특징으로 하는 테라헤르츠파 평행 도파관 센서
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제1항에 있어서, 상기 시트는 상기 상부 금속판의 평행면과 상기 하부 금속판 사이의 비대칭 지점에 평행하게 위치시키는 것을 특징으로 하는 테라헤르츠파 평행 도파관 센서
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제12항 또는 제13항에 있어서, 상기 한 쌍의 금속판의 상기 평행면과 상기 시트 사이 공간의 거리인 에어 갭의 간격을 변화시켜 노치 필터의 공진 주파수를 조절하는 것을 특징으로 하는 테라헤르츠파 평행 도파관 센서
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제1항에 있어서, 상기 상부 평행면과 하부 평행면 사이에 존재하는 매질의 굴절률을 변화시켜 노치 필터의 공진 주파수를 조절하는 것을 특징으로 하는 테라헤르츠파 평행 도파관 센서
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제1항에 있어서, 상기 슬릿의 길이와 슬릿의 폭을 변화시켜 노치 필터의 공진 주파수를 조절하는 것을 특징으로 하는 테라헤르츠파 평행 도파관 센서
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