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소재에 전류를 인가하여 가공하는 통전가공장치용 금형에 있어서,상기 소재를 가공하는 틀부재; 및상기 소재에 인가된 전류가 상기 틀부재로 누설되는 것을 방지하도록 상기 틀부재의 표면에 적층되는 절연층;을 포함하고,상기 절연층은 플라즈마를 이용한 PE-CVD 공법으로 증착되고,상기 PE-CVD 공법은 진공챔버 내의 주입가스로 HMDSO(Hexamethyldisiloxane)와 탄화수소를 사용하는 것을 특징으로 하는 통전가공장치용 금형
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제 1 항에 있어서, 상기 탄화수소는 C2H2인 것을 특징으로 하는 통전가공장치용 금형
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제 1 항에 있어서, 상기 HMDSO의 주입량은 70sccm 이상 90 sccm 이하이고, 상기 탄화수소의 주입량은 190sccm 이상 210sccm 이하인 것을 특징으로 하는 통전가공장치용 금형
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제 1 항에 있어서, 상기 틀부재와 상기 절연층 사이에 개재되어 상기 틀부재와 상기 절연층의 밀착력을 강화시키는 제 1 버퍼층;을 더 포함하는 통전가공장치용 금형
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제 6 항에 있어서, 상기 제 1 버퍼층은,플라즈마를 이용한 PE-CVD 공법으로 증착되는 것을 특징으로 하는 통전가공자치의 금형
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제 1 항에 있어서, 상기 소재 가공 시 가해지는 충격을 흡수하도록 상기 절연층 위에 적층되는 제 2 버퍼층;을 더 포함하는 통전가공장치용 금형
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제 8 항에 있어서, 상기 제 2 버퍼층은,플라즈마를 이용한 PE-CVD 공법으로 증착되는 것을 특징으로 하는 통전가공자치의 금형
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제 7 항 또는 제 9 항에 있어서,상기 PE-CVD 공법은 진공챔버 내의 주입가스로 HMDSO를 사용하는 것을 특징으로 하는 통전가공장치용 금형
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제 1 항에 있어서, 상기 틀부재는, 냉간금형용공구강을 열처리한 것을 특징으로 하는 통전가공장치용 금형
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제 11 항에 있어서,상기 열처리는 섭씨 500도 이상 550도 이하로 수행되는 것을 특징으로 하는 통전가공장치용 금형
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제 12 항에 있어서,상기 열처리는 2 시간동안 수행되되, 자성이 발생하는 경우 탈자 과정을 더 거치는 것을 특징으로 하는 통전가공장치용 금형
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소재에 전류를 인가하여 가공하는 통전가공장치용 금형의 제조방법에 있어서,냉간금형용공구강을 열처리하여 틀부재를 제조하는 준비단계;상기 준비단계에서 얻어진 상기 틀부재의 표면에 주입가스로 HMDSO를 사용한 PE-CVD 공법으로 제 1 버퍼층을 증착 형성하는 제 1 코팅단계;상기 제 1 코팅단계에서 형성된 상기 제 1 버퍼층 위에 주입가스로 HMDSO 및 탄화수소를 사용한 PE-CVD 공법으로 절연층을 증착 형성하는 제 2 코팅단계; 및 상기 제 2 코팅단계에서 얻어진 상기 절연층 위에 주입가스로 HMDSO를 사용한 PE-CVD 공법으로 제 2 버퍼층을 증착 형성하는 제 3 코팅단계;를 포함하는 통전가공장치용 금형의 제조방법
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