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광 리소그라피에 기반한 극저밀도 금속의 제조 방법

  • 기술번호 : KST2015016825
  • 담당센터 : 광주기술혁신센터
  • 전화번호 : 062-360-4654
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 광 리소그래피에 기초한 극저밀도 3차원 박막 구조체의 제조방법에 관한 것이다. 상기 제조방법은, 고체 박막으로 이루어진 극저밀도 3차원 박막 구조체를 형성하는 방법으로서, 액상의 감광성 수지 벌크에 각각 정해진 방향으로 서로 다른 패턴의 자외선을 조사하여 상기 수지 벌크의 일부를 경화시키는 단계; 경화되지 않은 액상의 감광성 수지를 제거함으로써 고상의 감광성 수지 구조체를 형성하는 단계; 상기 고상의 감광성 수지 구조체의 표면에 박막을 코팅시키는 단계; 상기 수지 벌크의 맨 바깥쪽 표면에 형성된 상기 박막을 제거하여 고상의 감광성 수지를 노출시키는 단계; 및 고상의 감광성 수지 구조체를 제거하는 단계를 포함하며, 상기 서로 다른 패턴 각각은 소정의 다각형 형상이 인접하여 교대로 배치되는 구조이고, 상기 고상의 감광성 수지 구조체는 복수의 각주가 교차하는 구조를 가지며, 상기 고체 박막으로 이루어진 극저밀도 3차원 박막 구조체는 표면에 평면 요소를 갖는 중공 다면체 단위 셀이 상호 연결되어 반복적으로 형성된 구조로서 상기 고상의 감광성 수지 구조체에 대해 음각 방식으로 형성되는 것을 특징으로 한다.
Int. CL G03F 7/26 (2006.01) H01L 21/027 (2006.01) G03F 7/20 (2006.01)
CPC G03F 7/2051(2013.01) G03F 7/2051(2013.01) G03F 7/2051(2013.01) G03F 7/2051(2013.01) G03F 7/2051(2013.01) G03F 7/2051(2013.01) G03F 7/2051(2013.01) G03F 7/2051(2013.01) G03F 7/2051(2013.01)
출원번호/일자 1020120136917 (2012.11.29)
출원인 전남대학교산학협력단
등록번호/일자 10-1341216-0000 (2013.12.06)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20140107) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2012.11.29)
심사청구항수 12

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 전남대학교산학협력단 대한민국 광주광역시 북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 강기주 대한민국 전라남도 담양군
2 한승철 대한민국 광주 서구
3 이민근 대한민국 전라북도 부안군

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 이숙열 대한민국 경기도 성남시 분당구 백현로(리오특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 전남대학교산학협력단 광주광역시 북구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2012.11.29 수리 (Accepted) 1-1-2012-0990116-03
2 등록결정서
Decision to grant
2013.11.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0818314-27
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.01.02 수리 (Accepted) 4-1-2014-0000058-61
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.06.08 수리 (Accepted) 4-1-2015-5076218-57
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2016.07.07 수리 (Accepted) 4-1-2016-5093177-51
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.03.30 수리 (Accepted) 4-1-2018-5056463-72
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번호 청구항
1 1
고체 박막으로 이루어진 극저밀도 3차원 박막 구조체를 형성하는 방법으로서,액상의 감광성 수지 벌크에 각각 정해진 방향으로 서로 다른 패턴의 자외선을 조사하여 상기 수지 벌크의 일부를 경화시키는 단계; 경화되지 않은 액상의 감광성 수지를 제거함으로써 고상의 감광성 수지 구조체를 형성하는 단계; 상기 고상의 감광성 수지 구조체의 표면에 박막을 코팅시키는 단계; 상기 수지 벌크의 맨 바깥쪽 표면에 형성된 상기 박막을 제거하여 고상의 감광성 수지를 노출시키는 단계; 및 고상의 감광성 수지 구조체를 제거하는 단계를 포함하며, 상기 서로 다른 패턴 각각은 소정의 다각형 형상이 인접하여 교대로 배치되는 구조이고, 상기 고상의 감광성 수지 구조체는 복수의 각주가 교차하는 구조를 가지며, 상기 고체 박막으로 이루어진 극저밀도 3차원 박막 구조체는 표면에 평면 요소를 갖는 중공 다면체 단위 셀이 상호 연결되어 반복적으로 형성된 구조로서 상기 고상의 감광성 수지 구조체에 대해 음각 방식으로 형성되는 것을 특징으로 하는, 극저밀도 3차원 박막 구조체의 제조방법
2 2
제1항에 있어서, 상기 자외선 조사는 서로 다른 패턴을 갖는 하나 이상의 마스크를 이용하는 것을 특징으로 하는, 극저밀도 3차원 박막 구조체의 제조방법
3 3
제1항에 있어서, 상기 자외선 조사는 마스크리스 리소크래피법을 이용하는 것을 특징으로 하는, 극저밀도 3차원 박막 구조체의 제조방법
4 4
제1항에 있어서, 상기 자외선 조사는 상기 액상의 감광성 수지 벌크의 특정면에서만, 각각의 패턴에 따라 각각의 정해진 방향에서 수행되는 것을 특징으로 하는, 극저밀도 3차원 박막 구조체의 제조방법
5 5
제1항에 있어서, 상기 자외선 조사는 상기 액상의 감광성 수지 벌크의 2 이상의 면에서, 각각의 패턴에 따라 각각의 정행진 방향에서 수행되는 것을 특징으로 하는, 극저밀도 3차원 박막 구조체의 제조방법
6 6
제1항에 있어서, 상기 박막은 금속, 세라믹 또는 폴리머인 것을 특징으로 하는, 극저밀도 3차원 박막 구조체의 제조방법
7 7
제1항에 있어서, 상기 고상의 감광성 수지 구조체의 표면에 박막을 코팅시키는 단계는 동종 또는 이종의 재료를 반복하여 수행하여 복층의 박막을 형성하는 것을 특징으로 하는, 극저밀도 3차원 박막 구조체의 제조방법
8 8
제7항에 있어서, 상기 복층의 박막을 형성한 후, 층간의 응력을 완화하거나 박리를 억제하기 위한 화학적, 물리적 또는 열적인인 후처리 과정을 더 포함하는 것을 특징으로 하는, 극저밀도 3차원 박막 구조체의 제조 방법
9 9
제1항에 있어서, 상기 중공 다면체 단위 셀이 점유하는 내부 공간 또는 그 외부 공간 중 어느 하나 또는 양자 모두를 발포성 재료로 충진하는 것을 특징으로 하는, 극저밀도 3차원 박막 구조체의 제조방법
10 10
제1항에 있어서, 상기 수지 벌크 맨 바깥쪽 표면에 형성된 박막의 제거는 기계적 연마, 전해 연마 또는 화학적 에칭 방식으로 수행되는 것을 특징으로 하는, 극저밀도 3차원 박막 구조체의 제조방법
11 11
제1항에 있어서, 상기 고상 감광성 수지 구조체의 제거는 화학적, 물리적, 열적 또는 광학적인 방법 중 어느 하나의 방식으로 수행되는 것을 특징으로 하는, 극저밀도 3차원 박막 구조체의 제조방법
12 12
제1항에 있어서, 상기 단위셀은 Tetrahedron, Cube, Octahedron, Vector Equilibrium, Rhombic dodecahedron 및Kagome 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는, 극저밀도 3차원 금속 구조체의 제조방법
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1 US09878472 US 미국 FAMILY
2 US20150306794 US 미국 FAMILY
3 WO2014084447 WO 세계지적재산권기구(WIPO) FAMILY

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1 US2015306794 US 미국 DOCDBFAMILY
2 US9878472 US 미국 DOCDBFAMILY
3 WO2014084447 WO 세계지적재산권기구(WIPO) DOCDBFAMILY
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 교육과학기술부 전남대학교 중견연구자지원사업(도전) 멀티스케일 초경량 금속의 제조법