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상부가 개방되어 실리콘 원료가 장입되고, 외측벽이 유도 코일에 의해 둘러싸이는 원통형 구조를 갖는 흑연 재질의 도가니로서,
상기 도가니 외측벽과 내측벽을 관통하는 연직방향의 복수의 제1슬릿이 형성되어 있으며,
원판형인 도가니 바닥부의 가장자리로부터 중심방향으로 연직방향의 복수의 제2슬릿이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 실리콘 전자기 유도 용융용 흑연 도가니
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2
제1항에 있어서, 상기 복수의 제2슬릿은
상기 도가니 바닥부의 가장자리로부터 상기 도가니 바닥부의 중심까지 형성되어 있되, 상기 도가니 바닥부의 중심에서는 단락되어 있는 것을 특징으로 하는 실리콘 전자기 유도 용융용 흑연 도가니
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3
제1항에 있어서, 상기 복수의 제1슬릿은
상기 도가니 상부로부터 상기 도가니의 내부의 바닥면 부분까지 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 실리콘 전자기 유도 용융용 흑연 도가니
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4
제1항에 있어서, 상기 복수의 제1슬릿 및 상기 복수의 제2슬릿은
일정한 간격으로 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 실리콘 전자기 유도 용융용 흑연 도가니
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5
제1항에 있어서, 상기 복수의 제1슬릿은
상기 도가니 내부 중심방향으로 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 실리콘 전자기 유도 용융용 흑연 도가니
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6
제1항에 있어서, 상기 실리콘 원료는
유도 가열되는 상기 도가니에 의해 간접 용융되어 용탕을 형성하는 것을 특징으로 하는 실리콘 전자기 유도 용융용 흑연 도가니
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7
제6항에 있어서,
상기 유도코일에 흐르는 전류에 의해 발생하는 전자기력이 상기 도가니 내부 중심방향으로 작용하여, 상기 도가니 내부 중심방향으로 작용하는 전자기력에 의해 상기 형성된 용탕이 상기 도가니 내측벽에 접촉하지 않으면서 유도 용융되는 것을 특징으로 하는 실리콘 전자기 유도 용융용 흑연 도가니
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8
상부가 개방되어 있으며, 외측벽과 내측벽을 관통하는 연직방향의 복수의 제1슬릿 및 원판형인 도가니 바닥부의 가장자리로부터 중심방향으로 연직방향의 복수의 제2슬릿이 형성되어 있는 원통형 구조를 갖는 흑연 재질의 도가니; 및
상기 도가니의 외측벽을 둘러싸는 유도 코일을 포함하고,
상기 도가니 상부를 통해 장입되는 실리콘 원료가 간접 용융되어 형성되는 용탕이 도가니 내측벽 및 도가니 내부의 바닥면에 접촉하지 않으면서 유도 용융되는 것을 특징으로 하는 실리콘 용융 정련 장치
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9
제8항에 있어서, 상기 복수의 제2슬릿은
상기 도가니 바닥부의 가장자리로부터 상기 도가니 바닥부의 중심까지 형성되어 있되, 상기 도가니 바닥부의 중심에서는 단락되어 있는 것을 특징으로 하는 실리콘 용융 정련 장치
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10
제8항에 있어서, 상기 복수의 제1슬릿은
상기 도가니 상부로부터 상기 도가니의 내부의 바닥면 부분까지 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 실리콘 용융 정련 장치
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11
제8항에 있어서, 상기 복수의 제1슬릿 및 상기 복수의 제2슬릿은
일정한 간격으로 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 실리콘 용융 정련 장치
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12
제8항에 있어서, 상기 복수의 제1슬릿은
상기 도가니 내부 중심방향으로 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 실리콘 용융 정련 장치
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