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플라즈마파 트랜지스터 성능 평가 방법

  • 기술번호 : KST2015020874
  • 담당센터 : 부산기술혁신센터
  • 전화번호 : 051-606-6561
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 플라즈마파 트랜지스터의 성능을 평가하는 방법은, 게이트 오버드라이브 전압(gate over drive voltage)에 의해 조정되는 플라즈마파 속도(plasma wave velocity)를 제 1 축으로 설정하고, 드레인-소스 전압(drain-to-source voltage)에 의해 조정되는 전자 표류 속도(electron drift velocity)를 제 2 축으로 설정하고, 채널 길이(Channel length)를 제 3 축으로 설정하며, 제 1 축, 제 2 축 및 제 3 축 간의 관계식에 기반하여 상기 플라즈마파 트랜지스터의 성능 파라미터 값의 변화에 따라 플라즈마파 트랜지스터가 테라헤르츠 이미터(terahertz emitter)로서 동작하는지 여부를 검사한다.
Int. CL H01L 21/66 (2006.01)
CPC
출원번호/일자 1020140021365 (2014.02.24)
출원인 울산과학기술원 산학협력단
등록번호/일자 10-1521116-0000 (2015.05.12)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20150519) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2014.02.24)
심사청구항수 10

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 울산과학기술원 산학협력단 대한민국 울산광역시 울주군

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김경록 대한민국 . 울산광역시 울주군
2 박종률 대한민국 서울특별시 강남구
3 김성호 대한민국 대전광역시 서구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인충현 대한민국 서울특별시 서초구 동산로 **, *층(양재동, 베델회관)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 울산과학기술원 울산광역시 울주군
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2014.02.24 수리 (Accepted) 1-1-2014-0179284-77
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2014.10.06 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2014.11.03 수리 (Accepted) 9-1-2014-0085521-20
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2014.11.14 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0778000-14
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2015.01.14 수리 (Accepted) 1-1-2015-0038416-24
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2015.01.14 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2015-0038428-72
7 등록결정서
Decision to grant
2015.05.06 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0301910-17
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.12.31 수리 (Accepted) 4-1-2015-5176347-51
9 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)
2016.05.12 수리 (Accepted) 1-1-2016-0452212-52
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번호 청구항
1 1
플라즈마파 트랜지스터(plasma wave transistor, PWT)의 성능을 평가하는 방법에 있어서,게이트 오버드라이브 전압(gate over drive voltage)에 의해 조정되는 플라즈마파 속도(plasma wave velocity)를 제 1 축으로 설정하는 단계;드레인-소스 전압(drain-to-source voltage)에 의해 조정되는 전자 표류 속도(electron drift velocity)를 제 2 축으로 설정하는 단계; 및상기 제 1 축 및 상기 제 2 축 간의 관계식을 포함하는 디자인 윈도우(design window)를 생성함으로써, 테라헤르츠 이미터의 채널 내부에서 고려하여야 하는 물리 조건(physical condition)을 나타내는 상기 플라즈마파 트랜지스터의 성능 파라미터 값의 변화에 따라 상기 플라즈마파 트랜지스터가 테라헤르츠 이미터(terahertz emitter)로서 동작하는지 여부를 검사하는 단계;를 포함하는 방법
2 2
제 1 항에 있어서,상기 디자인 윈도우는,채널 이동도(channel mobility) 또는 채널 길이(channel length)의 변화에 따라 이미션 경계가 변화하며,사용자의 입력에 따라 이미션(emission) 경계 지점을 획득하고, 획득된 경계 지점에 해당하는 성능 파라미터를 상기 관계식에 입력함으로써 생성되는 것을 특징으로 하는 방법
3 3
제 1 항에 있어서,상기 디자인 윈도우는,운동량 완화 시간(momentum relaxation time)에 따라 이미션 경계가 변화하고,상기 플라즈마파 속도 및 상기 전자 표류 속도에 대한 플라즈마파 증가(plasma wave increment)를 이용하여 이미션 경계를 결정하며,테라헤르츠 이미터로서의 기능이 보장되는 최대 채널 길이를 산출하는 것을 특징으로 하는 방법
4 4
제 3 항에 있어서,상기 디자인 윈도우에서 이미션 가능한 최소 마하 수(minimum Mach number)를 나타내는 그래프 모서리를 이용하여 상기 이미션 경계를 도출하는 것을 특징으로 하는 방법
5 5
플라즈마파 트랜지스터의 성능을 평가하는 방법에 있어서,게이트 오버드라이브 전압에 의해 조정되는 플라즈마파 속도를 제 1 축으로 설정하는 단계;드레인-소스 전압에 의해 조정되는 전자 표류 속도를 제 2 축으로 설정하는 단계;채널 길이(channel length)를 제 3 축으로 설정하는 단계; 및상기 제 1 축, 상기 제 2 축 및 상기 제 3 축 간의 관계식을 포함하는 디자인 윈도우를 생성함으로써, 테라헤르츠 이미터의 채널 내부에서 고려하여야 하는 물리 조건(physical condition)을 나타내는 상기 플라즈마파 트랜지스터의 성능 파라미터 값의 변화에 따라 상기 플라즈마파 트랜지스터가 테라헤르츠 이미터로서 동작하는지 여부를 검사하는 단계;를 포함하는 방법
6 6
제 5 항에 있어서,상기 디자인 윈도우는, 채널 이동도 및 채널 길이의 변화에 따른 이미션 경계의 변화를 3차원(3-dimension)으로 동시에 표현함으로써, 테라헤르츠 이미터로서의 기능이 보장되는 채널 길이, 플라즈마파 속도 및 전자 표류 속도의 범위를 결정하는 것을 특징으로 하는 방법
7 7
제 5 항에 있어서,상기 디자인 윈도우는,플라즈마파의 움직임은 업스트림(upstream)과 다운스트림(downstream) 성분으로 나뉘고, 테라헤르츠 이미터의 이미션은 다중 반사(multiple reflection)에 의해 발생한다는 성질을 이용하여, 다음의 수학식을 만족하는 물리 조건을 포함하도록 설계된 것을 특징으로 하는 방법
8 8
플라즈마파 트랜지스터의 성능을 평가하는 방법에 있어서,테라헤르츠 이미터의 채널 내부에서 고려하여야 하는 물리 조건(physical condition)을 미리 선정하여 디자인 윈도우의 성능 파라미터로 입력하는 단계;플라즈마파 트랜지스터 소자를 위한 복수의 물질별로 상기 성능 파라미터의 변화에 따른 시각적인 이미션 양상을 3차원 플롯(plot)을 통해 생성하는 단계; 및상기 복수의 물질별로 생성된 이미션 양상을 비교하여 디스플레이 수단 상에 표시하는 단계;를 포함하되,상기 디자인 윈도우는,게이트 오버드라이브 전압에 의해 조정되는 플라즈마파 속도를 제 1 축으로 설정하고, 드레인-소스 전압에 의해 조정되는 전자 표류 속도를 제 2 축으로 설정하고, 채널 길이를 제 3 축으로 설정하며,상기 제 1 축, 상기 제 2 축 및 상기 제 3 축 간의 관계식에 기반하여 상기 플라즈마파 트랜지스터의 성능 파라미터 값의 변화에 따라 상기 플라즈마파 트랜지스터가 테라헤르츠 이미터로서 동작하는지 여부를 표시하는 것을 특징으로 하는 방법
9 9
제 8 항에 있어서,상기 디자인 윈도우는, 채널 이동도 및 채널 길이의 변화에 따른 이미션 경계의 변화를 3차원으로 동시에 표현함으로써, 테라헤르츠 이미터로서의 기능이 보장되는 채널 길이, 플라즈마파 속도 및 전자 표류 속도의 범위를 결정하는 것을 특징으로 하는 방법
10 10
제 8 항에 있어서,상기 디자인 윈도우는,플라즈마파의 움직임은 업스트림과 다운스트림 성분으로 나뉘고, 테라헤르츠 이미터의 이미션은 다중 반사에 의해 발생한다는 성질을 이용하여, 다음의 수학식을 만족하는 물리 조건을 포함하도록 설계된 것을 특징으로 하는 방법
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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 JP06324527 JP 일본 FAMILY
2 JP29510067 JP 일본 FAMILY
3 US09869711 US 미국 FAMILY
4 US20170010317 US 미국 FAMILY
5 WO2015126005 WO 세계지적재산권기구(WIPO) FAMILY

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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 JP2017510067 JP 일본 DOCDBFAMILY
2 JP6324527 JP 일본 DOCDBFAMILY
3 US2017010317 US 미국 DOCDBFAMILY
4 US9869711 US 미국 DOCDBFAMILY
5 WO2015126005 WO 세계지적재산권기구(WIPO) DOCDBFAMILY
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 미래창조과학부 국립대학법인 울산과학기술대학교 산학협력단 미래융합파이오니아사업 나노-상보형금속산화반도체 기반 테라헤르츠 플라즈마파 트랜지스터 기술 연구