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[중대형 전력저장 이차전지 시스템 기술]니오브산 리튬 박막의 제조 방법

  • 기술번호 : KST2015020913
  • 담당센터 : 부산기술혁신센터
  • 전화번호 : 051-606-6561
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 결정성이 우수하고 발광 특성을 보이는 니오브산 리튬 박막을 제조하는 방법에 관한 것으로서, 니오브산 리튬 박막의 제조 방법으로서, 사파이어 기판을 마련하는 과정; 니오브산 리튬 타겟이 마련된 챔버에 상기 기판을 로딩하는 과정; 상기 챔버 내 분위기 및 기판 온도를 제어하는 과정; 및 상기 타겟에 레이저를 조사하고, 상기 기판에 니오브산 리튬 박막을 형성하는 과정;을 포함한다.
Int. CL C30B 25/04 (2006.01) C30B 29/30 (2006.01)
CPC C30B 25/04(2013.01) C30B 25/04(2013.01) C30B 25/04(2013.01) C30B 25/04(2013.01)
출원번호/일자 1020110072501 (2011.07.21)
출원인 동의대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1311762-0000 (2013.09.17)
공개번호/일자 10-2013-0011378 (2013.01.30) 문서열기
공고번호/일자 (20130926) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2011.07.21)
심사청구항수 7

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 동의대학교 산학협력단 대한민국 부산광역시 부산진구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이근형 대한민국 부산광역시 부산진구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 남승희 대한민국 서울특별시 강남구 역삼로 ***, *층(역삼동, 청보빌딩)(아인특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 동의대학교 산학협력단 부산광역시 부산진구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2011.07.21 수리 (Accepted) 1-1-2011-0564245-13
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2012.11.14 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2012.12.17 수리 (Accepted) 9-1-2012-0092427-21
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2013.04.19 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0266116-46
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2013.06.14 수리 (Accepted) 1-1-2013-0531551-97
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2013.06.14 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2013-0531550-41
7 등록결정서
Decision to grant
2013.09.05 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0631238-70
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.07.07 수리 (Accepted) 4-1-2014-5081860-22
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.02.26 수리 (Accepted) 4-1-2015-0010968-18
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
니오브산 리튬 박막의 제조 방법으로서, 사파이어 기판을 마련하는 과정;니오브산 리튬 타겟이 마련된 챔버에 상기 기판을 로딩하는 과정;상기 챔버 내 분위기 및 기판 온도를 제어하는 과정;상기 타겟에 레이저를 조사하고, 상기 기판에 니오브산 리튬 박막을 형성하는 과정; 및대기압하의 산소 분위기에서 상기 니오브산 리튬 박막을 어닐링하는 과정;을 포함하는 니오브산 리튬 박막의 제조 방법
2 2
청구항 1에 있어서,상기 챔버는 산소 분위기로 1 x 10-4 Torr 내지 1 Torr 범위로 제어되는 니오브산 리튬 박막의 제조 방법
3 3
청구항 2에 있어서,상기 기판 온도는 400 내지 800℃ 범위로 제어되는 니오브산 리튬 박막의 제조 방법
4 4
청구항 1 내지 청구항 3 중 적어도 한 항에 있어서,상기 사파이어 기판은 c면 또는 a면을 가지는 단결정 기판인 니오브산 리튬 박막의 제조 방법
5 5
삭제
6 6
청구항 1에 있어서,상기 어닐링은 700℃에서 수행되는 니오브산 리튬 박막의 제조 방법
7 7
청구항 1 내지 청구항 3 중 적어도 한 항에 있어서,상기 타겟은 콩그루언트 조성의 니오브산 리튬 단결정이며, 레이저는 KrF 엑시머 펄스 레이저를 사용하는 니오브산 리튬 박막의 제조 방법
8 8
청구항 1 내지 청구항 3 중 적어도 한 항에 있어서,상기 기판은 c면 사파이어 기판이고 그 위에 c축 우선방위로 니오브산 리튬 박막을 성장시키는 니오브산 리튬 박막의 제조 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.