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열 분해로 본체;상기 열 분해로 본체의 외주부에 형성되며 상기 열 분해로 본체의 온도를 조절하는 가열부; 상기 열 분해로 본체 내에 소스 가스 등을 공급하는 적어도 하나 이상의 가스 공급관; 및 상기 열 분해로 본체 내에 장착되어 상기 열분해로 본체 내에 공급되는 소스 가스 등의 흐름을 조절하는 유로 조절부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 유로 조절부를 포함하는 열 분해로
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제 1항에 있어서, 상기 열 분해로 본체는, 상기 공급 가스가 예열되는 램핑 영역; 및 상기 소스 가스가 열 분해되는 열 분해 영역;으로 나뉘어지는 것을 특징으로 하는 유로 조절부를 포함하는 열 분해로
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제 2항에 있어서, 상기 유로 조절부는, 상기 램핑 영역에 장착된 것을 특징으로 하는 유로 조절부를 포함하는 열 분해로
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제 3항에 있어서, 상기 유로 조절부 및 상기 열 분해로 본체의 내벽 사이로 소스 가스가 상기 열 분해 영역으로 공급될 수 있도록 상기 유로 조절부 및 상기 열 분해로의 내벽 사이에 가스 유로가 형성된 것을 특징으로 하는 유로 조절부를 포함하는 열 분해로
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제 4항에 있어서, 상기 유로 조절부는 상기 열분해로 내에서 위치 조절이 가능하도록 상기 유로 조절부 및 상기 열 분해로의 측부와 연결된 이동 지지부에 의해 지지된 것을 특징으로 하는 유로 조절부를 포함하는 열 분해로
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제 3항에 있어서, 상기 유로 조절부의 외주부는 상기 열분해로의 내벽에 접촉하여 형성되며, 상기 유로 조절부 내에는 상기 소스 가스 등을 상기 열 분해 영역으로 이동할 수 있는 하나 이상의 유로가 형성된 것을 특징으로 하는 유로 조절부를 포함하는 열 분해로
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제 6항에 있어서, 상기 유로는 상기 유로 조절부를 관통하여 형성된 관통 홀;인 것을 특징으로 하는 유로 조절부를 포함하는 열 분해로
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제 7항에 있어서, 상기 관통 홀은 상기 열 분해로의 내벽에 가까워질 수록 그 직경이 증가하는 것을 특징으로 하는 유로 조절부를 포함하는 열 분해로
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제 1항 내지 제 8항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 유로 조절부는 상기 열 분해로와 동일한 물질로 형성된 것을 특징으로 하는 유로 조절부를 포함하는 열 분해로
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제 1항 내지 제 8항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 유로 조절부는 Quartz를 포함하여 형성된 것을 특징으로 하는 유로 조절부를 포함하는 열 분해로
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제 1항 내지 제 8항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 유로 조절부는 Quartz를 포함하여 형성된 것을 특징으로 하는 유로 조절부를 포함하는 열 분해로
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