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마이크로 액츄에이터 및 이를 채용한 디스크 드라이브의 헤드 서스펜션 조립체 및 그 제조방법{Micro-actuator and head suspension assembly installed the same for disk drive and manufacturing method of the assembly}
- 기술번호 : KST2015021771
- 담당센터 :
- 전화번호 :
| 요약 | 베이스부재와; 베이스부재의 주변에 설치되며, 베이스부재에 대해 상대적으로 소정 트랙방향으로 왕복이동가능한 가동부재와; 가동부재와 베이스부재 각각에 연결되며, 트랙방향으로 수축/이완가능한 판스프링; 및 가동부재와 베이스부재 사이에 자기력을 발생시켜 가동부재를 트랙방향으로 미세이동시키는 자기수단;을 포함하여, 자기수단에 의한 자기력에 의해 가동부재는 판스프링을 수축/이완시키면서 트랙방향으로 미세이동되는 것을 특징으로 하는 마이크로 액츄에이터 및 이를 채용한 디스크 드라이브의 헤드 서스펜션 조립체 및 그 제조방법이 개시된다. |
|---|---|
| Int. CL | G11B 7/08 (2006.01) |
| CPC | G11B 5/484(2013.01) G11B 5/484(2013.01) G11B 5/484(2013.01) |
| 출원번호/일자 | 1019990045852 (1999.10.21) |
| 출원인 | 삼성전자주식회사 |
| 등록번호/일자 | 10-0636104-0000 (2006.10.12) |
| 공개번호/일자 | 10-2001-0038045 (2001.05.15) 문서열기 |
| 공고번호/일자 | (20061019) 문서열기 |
| 국제출원번호/일자 | |
| 국제공개번호/일자 | |
| 우선권정보 | |
| 법적상태 | 소멸 |
| 심사진행상태 | 수리 |
| 심판사항 | |
| 구분 | |
| 원출원번호/일자 | |
| 관련 출원번호 | |
| 심사청구여부/일자 | Y (2004.09.15) |
| 심사청구항수 | 22 |
출원인
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 삼성전자주식회사 | 대한민국 | 경기도 수원시 영통구 |
발명자
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 김석중 | 대한민국 | 경기도수원시팔달구 |
| 2 | 이용훈 | 대한민국 | 경기도수원시팔달구 |
대리인
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 리앤목특허법인 | 대한민국 | 서울 강남구 언주로 **길 **, *층, **층, **층, **층(도곡동, 대림아크로텔) |
최종권리자
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 삼성전자주식회사 | 대한민국 | 경기도 수원시 영통구 |
| 번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | 특허출원서 Patent Application |
1999.10.21 | 수리 (Accepted) | 1-1-1999-0134199-74 |
| 2 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2000.08.09 | 수리 (Accepted) | 4-1-2000-0106069-21 |
| 3 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2002.04.30 | 수리 (Accepted) | 4-1-2002-0039038-35 |
| 4 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2002.10.11 | 수리 (Accepted) | 4-1-2002-0079231-78 |
| 5 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2003.01.07 | 수리 (Accepted) | 4-1-2003-0000806-26 |
| 6 | 대리인사임신고서 Notification of resignation of agent |
2003.08.01 | 수리 (Accepted) | 1-1-2003-5149678-63 |
| 7 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2003.12.02 | 수리 (Accepted) | 4-1-2003-5079986-93 |
| 8 | 대리인사임신고서 Notification of resignation of agent |
2003.12.10 | 수리 (Accepted) | 1-1-2003-5235184-61 |
| 9 | 출원심사청구서 Request for Examination |
2004.09.15 | 수리 (Accepted) | 1-1-2004-0418028-45 |
| 10 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2005.07.15 | 수리 (Accepted) | 4-1-2005-5072608-11 |
| 11 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2005.08.02 | 수리 (Accepted) | 4-1-2005-5079334-14 |
| 12 | 선행기술조사의뢰서 Request for Prior Art Search |
2006.01.26 | 수리 (Accepted) | 9-1-9999-9999999-89 |
| 13 | 선행기술조사보고서 Report of Prior Art Search |
2006.02.10 | 수리 (Accepted) | 9-1-2006-0006806-86 |
| 14 | 의견제출통지서 Notification of reason for refusal |
2006.04.05 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2006-0198056-34 |
| 15 | 의견서 Written Opinion |
2006.06.05 | 수리 (Accepted) | 1-1-2006-0397021-68 |
| 16 | 명세서등보정서 Amendment to Description, etc. |
2006.06.05 | 보정승인 (Acceptance of amendment) | 1-1-2006-0397022-14 |
| 17 | 등록결정서 Decision to grant |
2006.08.03 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2006-0453191-50 |
| 18 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2012.06.21 | 수리 (Accepted) | 4-1-2012-5132663-40 |
| 번호 | 청구항 |
|---|---|
| 1 |
1 베이스부재와;상기 베이스부재의 주변에 설치되며, 상기 베이스부재에 대해 상대적으로 소정 트랙방향으로 왕복이동가능한 가동부재와;상기 가동부재와 상기 베이스부재 각각에 연결되며, 상기 트랙방향으로 수축/이완가능한 판스프링; 및상기 가동부재와 상기 베이스부재 사이에 자기력을 발생시켜 상기 가동부재를 상기 트랙방향으로 미세이동시키는 자기수단;을 포함하여,상기 자기수단은,상기 가동부재에 설치되는 제1자기코어와;상기 제1자기코어에 소정갭을 유지하여 마주하며, 상기 트랙방향에 직각인 자기방향에 대한 중심이 상기 제1자기코어의 중심과 어긋나도록 상기 베이스부재에 설치된 제2자기코어; 및상기 제1자기코어 및/또는 상기 제2자기코어의 외측에 권선되며, 전류인가시 상기 자기방향으로 자기력을 발생시키는 자기코일;를 포함하며,상기 자기수단에 의한 자기력에 의해 상기 가동부재는 상기 판스프링을 수축/이완시키면서 상기 트랙방향으로 미세이동되는 것을 특징으로 하는 마이크로 액츄에이터 |
| 2 |
2 삭제 |
| 3 |
3 제1항에 있어서, 상기 가동부재는,상기 제1자기코어의 외측을 감싸도록 상하로 결합되는 한 쌍의 제1실리콘기판;을 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로 액츄에이터 |
| 4 |
4 제3항에 있어서, 상기 자기코일은 상기 제1실리콘기판의 내측에 금을 도금함에 의해 형성된 것을 특징으로 하는 마이크로 액츄에이터 |
| 5 |
5 제3항에 있어서, 상기 한 쌍의 제1실리콘기판은 고온에서 실리콘 접합법에 의해 결합된 것을 특징으로 하는 마이크로 액츄에이터 |
| 6 |
6 제3항에 있어서, 상기 판스프링은 실리콘 재질로서 상기 제1실리콘기판과 일체로 형성된 것을 특징으로 하는 마이크로 액츄에이터 |
| 7 |
7 제3항에 있어서, 상기 판스프링은 상기 트랙방향보다 상기 자기방향으로 큰 강성계수값을 가지도록 상기 트랙방향으로 연속해서 'ㄹ'자형으로 굴절형성된 것을 특징으로 하는 마이크로 액츄에이터 |
| 8 |
8 제1항에 있어서, 상기 자기수단은,상기 제2자기코어의 외측을 감싸도록 지지하며, 상기 베이스부재에 설치되는 고정부재;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로 액츄에이터 |
| 9 |
9 제8항에 있어서, 상기 고정부재는 상기 제2자기코어를 감싸도록 상하로 결합되며, 그 내측에는 상기 자기코일이 금을 도금함에 의해 마련된 한 쌍의 제2실리콘기판;을 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로 액츄에이터 |
| 10 |
10 제1항에 있어서, 상기 베이스부재는 상기 가동부재를 움직임 가능하게 수용하기 위해 관통형성된 관통부를 구비하며, 상기 판스프링은 상기 관통부의 내측과 상기 가동부재의 측면 각각에 연결된 것을 특징으로하는 마이크로 액츄에이터 |
| 11 |
11 디스크의 트랙에 정보를 기록/재생하기 위한 헤드를 지지하여 상기 트랙을 가로지르는 트랙방향으로 이동시키기 위한 것으로, 상기 트랙방향으로 회동가능한 액츄에이터아암의 단부에 로드빔을 설치하는 단계와; 상기 로드빔의 단부에 설치되며 상기 헤드를 상기 트랙방향으로 미세 왕복이동 가능하게 지지하는 마이크로 액츄에이터를 준비하는 단계;를 포함하는 디스크 드라이브의 헤드 서스펜션 조립체 제조방법에 있어서,상기 마이크로 액츄에이터 준비단계는,상기 디스크의 표면상에서 상기 트랙방향으로 슬라이딩 이동되도록 상기 로드빔의 단부에 설치되는 슬라이더를 준비하는 단계와;상기 헤드를 지지하는 가동부재를 상기 슬라이더에 대해 상기 트랙방향으로 탄력적으로 왕복이동 가능하게 설치하는 단계와;상기 가동부재와 상기 슬라이더 사이에 자기력을 발생시켜 상기 가동부재를 상기 트랙방향으로 미세 왕복이동시킬 수 있는 자기수단을 상기 슬라이더와 상기 가동부재에 설치하는 단계;를 포함하며,상기 자기수단 설치단계는,상기 가동부재에 제1자기코어를 설치하는 단계와;상기 제1자기코어와의 사이에 전자기력을 발생시키는 제2자기코어를 상기 제1자기코어와 소정갭을 유지하여 마주하며, 상기 트랙방향에 직각인 자기방향에 대한 중심이 상기 제1자기코어의 중심과 어긋나도록 상기 슬라이더에 설치하는 단계와;전류인가시 상기 각 자기코어 사이에 자기력이 발생하도록 상기 제1자기코어 및/또는 상기 제2자기코어의 외측에 자기코일을 권선시키는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 디스크 드라이브의 헤드 서스펜션 조립체 제조방법 |
| 12 |
12 삭제 |
| 13 |
13 제11항에 있어서, 상기 가동부재는 상기 제1자기코어의 외측을 감싸도록 상하로 결합되며 상기 헤드를 지지하는 한 쌍의 제1실리콘기판을 포함하며,상기 권선시키는 단계는,상기 각 제1실리콘기판의 접합면에 상기 제1자기코어를 수용하기 위한 수용부를 소정깊이와 폭으로 비등방성 식각법에 의해 형성시키는 단계와;상기 수용부를 형성시킨 후에 상기 제1실리콘기판 각각의 접합면 및 수용부에 도랑을 상호 비대칭되게 식각하는 단계와;상기 도랑에 금을 도금하여 예비코일을 형성시키는 단계; 및상기 수용부에 상기 제1자기코어가 개재되도록 상기 각 제1실리콘기판을 결합하여 각 제1실리콘기판에 도금된 예비코일이 상호 연결되어 상기 제1자기코어에 권선되도록 하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 디스크 드라이브의 헤드 서스펜션 조립체 제조방법 |
| 14 |
14 제13항에 있어서, 권선시키는 단계는, 상기 각 실리콘기판의 결합시 범프가 형성될 수 있도록 상기 금 도금 단계 후에 상기 각 실리콘기판의 접합면에 구리를 도금하는 단계;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 디스크 드라이브의 헤드 서스펜션 조립체 제조방법 |
| 15 |
15 제11항에 있어서, 상기 가동부재 설치단계는 상기 트랙방향으로 탄성변형 가능한 판스프링을 상기 슬라이더와 상기 가동부재에 연결시켜 이루어지는 것을 특징으로 하는 디스크 드라이브의 헤드 서스펜션 조립체 제조방법 |
| 16 |
16 제11항에 있어서, 상기 권선시키는 단계는,상기 제2자기코어를 감싸도록 결합되는 한 쌍의 제2실리콘기판의 접합면에 상기 제2자기코어를 수용하는 수용부를 식각하여 형성시키는 단계와;상기 제2실리콘기판 각각의 수용부와 접합면에 도랑을 상호 비대칭되게 식각하는 단계와;상기 도랑에 금을 도금하여 예비코일을 형성시키는 단계; 및상기 각 제2실리콘기판 사이에 상기 제2자기코어를 개재시킨 상태로 접합시켜 상기 도금된 예비코일이 연결되어 상기 제2자기코일에 권선되도록 하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 디스크 드라이브의 헤드 서스펜션 조립체 제조방법 |
| 17 |
17 디스크의 트랙에 정보를 기록/재생하기 위한 헤드를 지지하여 상기 트랙을 가로지르는 트랙방향으로 이동시키기 위한 것으로, 상기 트랙방향으로 회동가능한 액츄에이터아암의 단부에 결합된 로드빔과; 상기 로드빔의 단부에 설치되어 상기 헤드를 상기 트랙방향으로 미세 왕복이동시킬 수 있는 마이크로 액츄에이터;를 포함하는 디스크 드라이브의 헤드 서스펜션 조립체에 있어서,상기 마이크로 액츄에이터는,상기 디스크의 표면상에서 상기 트랙방향으로 슬라이딩 가능하도록 상기 로드빔의 단부에 설치되는 슬라이더와;상기 헤드를 지지하며 상기 슬라이더의 주위에 상기 트랙방향으로 상대적으로 움직임 가능하게 배치되는 가동부재와;상기 슬라이더와 상기 가동부재를 연결하며, 상기 트랙방향으로 탄성변형 가능한 판스프링; 및상기 가동부재와 상기 슬라이더 사이에 자기력을 발생시켜 상기 가동부재를 상기 트랙방향으로 미세 왕복이동시키도록 상기 가동부재와 상기 슬라이더에 설치되는 자기수단;을 포함하며,상기 자기수단은,상기 가동부재에 설치되는 제1자기코어와;상기 제1자기코어에 소정갭을 유지하여 마주하며, 상기 트랙방향에 직각인 자기방향에 대한 중심이 상기 제1자기코어의 중심과 어긋나도록 상기 슬라이더에 설치된 제2자기코어; 및상기 제1자기코어 및/또는 상기 제2자기코어의 외측에 권선되며, 전류인가시 상기 자기방향으로 자기력을 발생시키는 자기코일;를 포함하는 것을 특징으로 하는 디스크 드라이브의 헤드 서스펜션 조립체 |
| 18 |
18 삭제 |
| 19 |
19 제17항에 있어서, 상기 가동부재는,상기 제1자기코어의 외측을 감싸도록 상하로 결합되는 한 쌍의 제1실리콘기판;을 포함하는 것을 특징으로 하는 디스크 드라이브의 헤드 서스펜션 조립체 |
| 20 |
20 제19항에 있어서, 상기 자기코일은 상기 제1실리콘기판의 내측에 금을 도금함에 의해 형성된 것을 특징으로 하는 디스크 드라이브의 헤드 서스펜션 조립체 |
| 21 |
21 제19항에 있어서, 상기 판스프링은 실리콘 재질로서 상기 제1실리콘기판과 일체로 형성된 것을 특징으로 하는 디스크 드라이브의 헤드 서스펜션 조립체 |
| 22 |
22 제19항에 있어서, 상기 판스프링은 상기 트랙방향보다 상기 자기방향으로 큰 강성계수값을 가지도록 상기 트랙방향으로 연속해서 'ㄹ'자형으로 굴절형성된 것을 특징으로 하는 디스크 드라이브의 헤드 서스펜션 조립체 |
| 23 |
23 제17항에 있어서, 상기 자기수단은,상기 제2자기코어의 외측을 감싸도록 지지하며, 상기 슬라이더에 설치되는 고정부재;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 디스크 드라이브의 헤드 서스펜션 조립체 |
| 24 |
24 제23항에 있어서, 상기 고정부재는 상기 제2자기코어를 감싸도록 상하로 결합되며, 그 내측에는 상기 자기코일이 금을 도금함에 의해 마련된 한 쌍의 제2실리콘기판;을 포함하는 것을 특징으로 하는 디스크 드라이브의 헤드 서스펜션 조립체 |
| 25 |
25 제17항에 있어서, 상기 슬라이더는 상기 가동부재를 움직임 가능하게 수용하기 위해 관통형성된 관통부를 구비하며, 상기 판스프링은 상기 관통부의 내측과 상기 가동부재의 측면 각각에 연결된 것을 특징으로 하는 디스크 드라이브의 헤드 서스펜션 조립체 |
| 26 |
25 제17항에 있어서, 상기 슬라이더는 상기 가동부재를 움직임 가능하게 수용하기 위해 관통형성된 관통부를 구비하며, 상기 판스프링은 상기 관통부의 내측과 상기 가동부재의 측면 각각에 연결된 것을 특징으로 하는 디스크 드라이브의 헤드 서스펜션 조립체 |
| 지정국 정보가 없습니다 |
|---|
| 패밀리정보가 없습니다 |
|---|
| 국가 R&D 정보가 없습니다. |
|---|
- 본 등록정보는 참고용으로 법적증빙자료로 사용할 수 없습니다.
- 데이터 이관에 따른 소요기간(1일)으로 인하여 등록원부와 일부 차이가 발생할 수 있으며, 일부 정보(부기, 상세 주소 등)를 제공하지 않고 있습니다.
- 법적증빙자료로 활용하시거나 더 자세한 정보를 보시려면 등록원부를 발급받아 사용하시기 바랍니다.
| 특허 등록번호 | 10-0636104-0000 |
|---|
권리란
| 표시번호 | 사항 |
|---|---|
| 1 |
출원 연월일 : 19991021 출원 번호 : 1019990045852 공고 연월일 : 20061019 공고 번호 : 특허결정(심결)연월일 : 20060803 청구범위의 항수 : 22 유별 : G11B 7/08 발명의 명칭 : 마이크로 액츄에이터 및 이를 채용한 디스크 드라이브의 헤드 서스펜션 조립체 및 그 제조방법 존속기간(예정)만료일 : 20151013 |
특허권자란
| 순위번호 | 사항 |
|---|---|
| 1 |
(권리자) 삼성전자주식회사 경기도 수원시 영통구... |
등록료란
| 제 1 - 3 년분 | 금 액 | 1,269,000 원 | 2006년 10월 13일 | 납입 |
| 제 4 년분 | 금 액 | 524,000 원 | 2009년 09월 29일 | 납입 |
| 제 5 년분 | 금 액 | 524,000 원 | 2010년 09월 29일 | 납입 |
| 제 6 년분 | 금 액 | 524,000 원 | 2011년 09월 29일 | 납입 |
| 제 7 년분 | 금 액 | 936,000 원 | 2012년 09월 27일 | 납입 |
| 제 8 년분 | 금 액 | 936,000 원 | 2013년 09월 27일 | 납입 |
| 제 9 년분 | 금 액 | 936,000 원 | 2014년 09월 29일 | 납입 |
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| 번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | 특허출원서 | 1999.10.21 | 수리 (Accepted) | 1-1-1999-0134199-74 |
| 2 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2000.08.09 | 수리 (Accepted) | 4-1-2000-0106069-21 |
| 3 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2002.04.30 | 수리 (Accepted) | 4-1-2002-0039038-35 |
| 4 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2002.10.11 | 수리 (Accepted) | 4-1-2002-0079231-78 |
| 5 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2003.01.07 | 수리 (Accepted) | 4-1-2003-0000806-26 |
| 6 | 대리인사임신고서 | 2003.08.01 | 수리 (Accepted) | 1-1-2003-5149678-63 |
| 7 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2003.12.02 | 수리 (Accepted) | 4-1-2003-5079986-93 |
| 8 | 대리인사임신고서 | 2003.12.10 | 수리 (Accepted) | 1-1-2003-5235184-61 |
| 9 | 출원심사청구서 | 2004.09.15 | 수리 (Accepted) | 1-1-2004-0418028-45 |
| 10 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2005.07.15 | 수리 (Accepted) | 4-1-2005-5072608-11 |
| 11 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2005.08.02 | 수리 (Accepted) | 4-1-2005-5079334-14 |
| 12 | 선행기술조사의뢰서 | 2006.01.26 | 수리 (Accepted) | 9-1-9999-9999999-89 |
| 13 | 선행기술조사보고서 | 2006.02.10 | 수리 (Accepted) | 9-1-2006-0006806-86 |
| 14 | 의견제출통지서 | 2006.04.05 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2006-0198056-34 |
| 15 | 의견서 | 2006.06.05 | 수리 (Accepted) | 1-1-2006-0397021-68 |
| 16 | 명세서등보정서 | 2006.06.05 | 보정승인 (Acceptance of amendment) | 1-1-2006-0397022-14 |
| 17 | 등록결정서 | 2006.08.03 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2006-0453191-50 |
| 18 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2012.06.21 | 수리 (Accepted) | 4-1-2012-5132663-40 |
| 기술번호 | KST2015021771 |
|---|---|
| 자료제공기관 | NTB |
| 기술공급기관 | |
| 기술명 | 마이크로 액츄에이터 및 이를 채용한 디스크 드라이브의 헤드 서스펜션 조립체 및 그 제조방법{Micro-actuator and head suspension assembly installed the same for disk drive and manufacturing method of the assembly} |
| 기술개요 |
베이스부재와; 베이스부재의 주변에 설치되며, 베이스부재에 대해 상대적으로 소정 트랙방향으로 왕복이동가능한 가동부재와; 가동부재와 베이스부재 각각에 연결되며, 트랙방향으로 수축/이완가능한 판스프링; 및 가동부재와 베이스부재 사이에 자기력을 발생시켜 가동부재를 트랙방향으로 미세이동시키는 자기수단;을 포함하여, 자기수단에 의한 자기력에 의해 가동부재는 판스프링을 수축/이완시키면서 트랙방향으로 미세이동되는 것을 특징으로 하는 마이크로 액츄에이터 및 이를 채용한 디스크 드라이브의 헤드 서스펜션 조립체 및 그 제조방법이 개시된다. |
| 개발상태 | |
| 기술의 우수성 | |
| 응용분야 | |
| 시장규모 및 동향 | |
| 희망거래유형 | |
| 사업화적용실적 | |
| 도입시고려사항 |
| 과제정보가 없습니다 |
|---|
중요키워드
| [KST2015021769][] | 광픽업 조립체{Optical pickup assembly} | 새창보기 |
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